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[实用新型]一种用于调节耦合线圈形状、高度、角度的线圈调节装置-CN202320915201.9有效
发明人：王俊;刘曌宇;张二辉 -专利权人：上海微芸半导体科技有限公司
申请日： 2023-04-21 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本实用新型还公开了一种用于调节耦合线圈形状、高度、角度的线圈调节装置，用于微调线圈形状，和整体调节线圈高度和角度的线圈调节装置；所述线圈调节装置包括调节耦合线圈形状的可控调节装置和调节耦合线圈高度和角度的空间调节装置。所述耦合线圈与可控调节装置连接，通过连接点的调节，能够可在一定范围内改变线圈形状；所述空间调节装置与腔体的固定点可通过伸缩结构调节以改变耦合线圈的高度和角度。本实用新型通过调整线圈的分布能改善等离子体生成的均匀性。同时线圈的分布能够在过程中随时调整，又可以避免长时间工作产生的不均匀情况。
一种用于调节耦合线圈形状高度角度装置

[实用新型]一种ICP等离子体刻蚀机用耦合线圈-CN202320915199.5有效
发明人：王俊;刘曌宇;王松满 -专利权人：上海微芸半导体科技有限公司
申请日： 2023-04-21 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种ICP等离子体刻蚀机用耦合线圈，所述耦合线圈包括至少一根线圈，从线圈中心开始，按螺旋形逐圈向外扩展，形成螺旋线型结构的耦合线圈；所述螺旋线型结构包括单平面螺旋结构、双平面螺旋结构、三平面螺旋结构或更多平面螺旋结构，不同的腔体结构需要适配不同的线圈。本实用新型通过调整线圈的分布能改善等离子体生成的均匀性。同时线圈的分布能够在过程中随时调整，又可以避免长时间工作产生的不均匀情况。
一种 icp 等离子体刻蚀耦合线圈

[实用新型]一种等离子体刻蚀机用多抽气环调节装置及等离子体刻蚀设备-CN202320925199.3有效
发明人： 刘曌宇;王俊;张二辉 -专利权人：上海微芸半导体科技有限公司
申请日： 2023-04-23 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种等离子体刻蚀机用多抽气环调节装置，包括抽气环结构、转动机构、控制机构；其中所述转动机构包括驱动装置、与驱动装置相连接的可伸缩装置；所述抽气环结构包括至少两个抽气环：上层抽气环及下层抽气环；所述抽气环设置于刻蚀腔的内部，上层抽气环与下层抽气环形成为上下堆叠结构；所述上层抽气环的结构包括水平的抽气环主体，与内衬形成一体式结构，通过内衬上端的安装部安装在刻蚀腔体上，所述上层抽气环内圈设置有向上延伸的弯折部；所述下层抽气环的结构包括抽气环主体，所述抽气环主体内圈和外圈设置有向上延伸的弯折部。
一种等离子体刻蚀机用多抽气环调节装置设备

[实用新型]一种等离子体刻蚀机用抽气环结构及等离子体刻蚀设备-CN202320925203.6有效
发明人：王俊;刘曌宇;张二辉 -专利权人：上海微芸半导体科技有限公司
申请日： 2023-04-23 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种等离子体刻蚀机用抽气环结构，包括至少两个抽气环：上层抽气环及下层抽气环；所述抽气环设置于刻蚀腔的内部，上层抽气环与下层抽气环形成为上下堆叠结构；所述上层抽气环的结构包括水平的抽气环主体，与内衬形成一体式结构，通过内衬上端的安装部安装在刻蚀腔体上，所述上层抽气环内圈设置有向上延伸的弯折部；所述下层抽气环的结构包括抽气环主体，所述抽气环主体内圈和外圈设置有向上延伸的弯折部。
一种等离子体刻蚀机用抽气环结构设备

[发明专利]一种等离子体刻蚀机用抽气环结构、调节装置及调节方法-CN202310439656.2在审
发明人： 刘曌宇;王俊;张二辉 -专利权人：上海微芸半导体科技有限公司
申请日： 2023-04-23 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明公开了一种等离子体刻蚀机用抽气环结构，包括至少两个抽气环：上层抽气环及下层抽气环；所述抽气环设置于刻蚀腔的内部，上层抽气环与下层抽气环形成为上下堆叠结构；所述上层抽气环的结构包括水平的抽气环主体，与内衬形成一体式结构，通过内衬上端的安装部安装在刻蚀腔体上，所述上层抽气环内圈设置有向上延伸的弯折部；所述下层抽气环的结构包括抽气环主体，所述抽气环主体内圈和外圈设置有向上延伸的弯折部。本发明还公开了一种等离子体刻蚀机用抽气环调节装置，包括抽气环结构、转动机构、控制系统。本发明还公开了一种等离子体刻蚀机用抽气环的调节方法。
一种等离子体刻蚀机用抽气环结构调节装置方法

[实用新型]一种用于真空烧结炉的脱脂装置-CN202121584126.X有效
发明人：张二辉;麦味;王俊;唐玄玄;钱晶晶;刘曌宇;封华;李健喆;章锦晶;龙旺平;吴晓雨 -专利权人：苏州复浩三维科技有限公司
申请日： 2021-07-13 - 公布日： 2022-01-25 - 主分类号： B22F12/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于真空烧结炉的脱脂装置，包括抽真空管路、气动截止阀、集脂装置、脱脂回收管、冷却装置；所述抽真空管路的出口、所述气动截止阀、所述集脂装置、所述脱脂回收管、所述冷却装置的入口依次通过管道连通；所述抽真空管路的出口、所述脱脂回收管和所述冷却装置均设置于所述集脂装置的上方；所述抽真空管路和所述气动截止阀的外表面均包裹有加热装置；所述抽真空管路的入口与真空烧结炉的内抽管相连通，用于抽取腔体内的氮气、氩气和其他气体；所述冷却装置的出口与真空泵相连通。本实用新型的有益效果为：本实用新型所述的真空烧结炉的脱脂装置结构简单，使用方便适用于小型烧结炉脱脂；且方便对集脂装置清理。
一种用于真空烧结炉脱脂装置

[实用新型]一种用于高温酸性环境的旋转密封腔体-CN202121585273.9有效
发明人：朱胜;王俊;张二辉;麦味;刘曌宇;封华;李健喆;章锦晶;龙旺平;吴晓雨 -专利权人：苏州复浩三维科技有限公司
申请日： 2021-07-13 - 公布日： 2022-01-04 - 主分类号： B22F3/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于高温酸性环境的旋转密封腔体，包括腔体本体、安装板、轴承座、耐高温轴承、固定支座、隔离器、旋转主轴；所述安装板设置于所述腔体本体的顶面，所述旋转主轴依次穿过安装板和腔体本体的进料口延伸进腔体本体内；从腔体本体的进料口至腔体本体的底部在旋转主轴上依次套设有耐高温轴承、轴承座、隔离器、固定支座。本实用新型的有益效果为：本实用新型所述的用于高温酸性环境的旋转密封腔体解决了密封腔体在高温、微正压以及高浓度草酸环境下风机旋转轴处的密封问题。
一种用于高温酸性环境旋转密封

[实用新型]一种金属3D打印脱脂设备供酸雾装置-CN202120535990.4有效
发明人： 刘曌宇;王俊;朱胜;张二辉;唐玄玄;封华;李健喆;章锦晶;龙旺平;吴晓雨 -专利权人：苏州复浩三维科技有限公司
申请日： 2021-03-15 - 公布日： 2021-11-02 - 主分类号： B22F12/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种金属3D打印脱脂设备供酸雾装置，包括供酸装置、供保护气体装置、雾化腔室；所述雾化腔室的底部设置有储酸箱；所述供酸装置通过第一供酸管道与储酸箱相连通；所述供保护气体装置的供气管道依次穿过雾化腔室的底部和供酸箱，并延伸出供酸箱；位于雾化腔室内的供气管道上套设有第二供酸管道，所述供气管道的顶部与所述第二供酸管道的顶部位于同一水平面上；所述供气管道顶部的上方设置有挡板。本实用新型的有益效果为：本实用新型所述金属3D打印脱脂设备供酸雾装置，能使酸和保护气在通入3D打印装置的脱脂腔前混合均匀且加热到可反应温度，这样脱脂腔内只需提供合适的保温温度即可，避免了脱脂腔温度过高造成能量浪费的温度。
一种金属打印脱脂设备供酸雾装置

[发明专利]应用于金属材料的3D打印方法及装置-CN202010908658.8有效
发明人：王俊;刘曌宇;王瀚申;封华;李健喆;章锦晶;龙旺平;吴晓雨 -专利权人：苏州复浩三维科技有限公司
申请日： 2020-09-03 - 公布日： 2021-04-30 - 主分类号： B22F10/20 文献下载
摘要：本申请公开了一种应用于金属材料的3D打印方法及装置，本申请的方法包括获取当前层的前一层的打印方向，所述当前层为根据工件的3D切片模型进行逐层3D打印时的打印层；根据当前层的前一层的打印方向调整当前层的打印方向；根据调整后的打印方向生成控制指令，以控制打印喷头执行当前层的打印。本申请是为了改善现有基于FDM技术进行金属3D打印时存在的一些影响工件成品质量的问题。
应用于金属材料打印方法装置

[发明专利]用于3D打印的仿真方法、装置、存储介质及服务器-CN202010262549.3在审
发明人：王俊;刘曌宇;封华;李健喆;章锦晶;吴晓雨;龙旺平 -专利权人：苏州复浩三维科技有限公司
申请日： 2020-04-03 - 公布日： 2020-07-31 - 主分类号： G06F30/20 文献下载
摘要：本申请公开了一种用于3D打印的仿真方法。该仿真方法包括：生成待模拟工件的网格模型；接收配置的所述网格模型的形变关联数据；根据所述形变关联数据对所述网格模型进行脱脂过程的形变模拟，得到第一模拟结果；根据所述形变关联数据和第一模拟结果对所述网格模型进行烧结过程的形变模拟，得到第二模拟结果。本申请解决了由于缺少可靠的脱脂、烧结结果预测手段，造成的无法准确预测最终工件尺寸的技术问题。
用于打印仿真方法装置存储介质服务器

[发明专利]3D模型打印密实方法-CN202010302449.9在审
发明人：王俊;胡经纬;刘曌宇;封华;李健喆;章锦晶;吴晓雨;龙旺平 -专利权人：苏州复浩三维科技有限公司
申请日： 2020-04-16 - 公布日： 2020-07-28 - 主分类号： B22F3/02 文献下载
摘要：本发明申请公开了一种3D模型打印密实方法，包括压力密实、密度检测、脱脂烧结处理，将不同密度的所述预制的金属3D打印工件置入脱脂炉中进行脱脂处理得到生坯，并对所述生胚进行烧结处理；数据采集，对所述脱脂烧结处理过程中的所述不同密度的所述预制的金属3D打印工件的处理数据进行统计，生成记录表格；适配参数选取，根据所述记录表格和目标金属3D打印工件的性能要求，拟定所述目标金属3D打印工件出的制备参数。本发明申请解决了由于现有的金属3D打印方法的成型方式通常为逐层堆积，形成的模型不可避免地会出现缝隙，通过参数改进无法持续提高密度，且操作复杂，导致打印烧结成型的工件无法达到同种金属材料铸造件的密度的技术问题。
模型打印密实方法

[发明专利]3D打印支撑去除方法-CN202010179210.7在审
发明人：王俊;刘曌宇;王瀚申;封华;李健喆;章锦晶;吴晓雨;龙旺平 -专利权人：苏州复浩三维科技有限公司
申请日： 2020-03-17 - 公布日： 2020-07-03 - 主分类号： B22F3/105 文献下载
摘要：本申请公开了一种3D打印支撑去除方法，包括如下步骤：(1)采用双喷头打印系统，主喷头供给主体材料，副喷头供给隔离层材料，所述隔离层材料采用酸溶性氧化物、酸溶性无机盐、水溶性材料、溶于有机溶剂的材料中的至少一种与含有聚甲醛的有机高分子溶剂共同混炼制成；(2)控制主喷头打印支撑结构；(3)支撑结构打印完后控制副喷头在支撑结构上打印隔离层；(4)控制主喷头打印主体构件；(5)主体构件打印完成之后，将主体构件和支撑结构取下进行脱脂处理和烧结处理；(6)对步骤(5)中得到产品进行隔离层降解处理，并使隔离层溶解，主体构件与支撑结构分离。本申请解决了3D打印产品的支撑去除效率低下，极易对工件本身造成伤害的问题。
打印支撑去除方法

[实用新型]一种分体式U型中冷器-CN201620075373.X有效
发明人：陈卫玲;王群;王凯;张晓钢;刘曌宇;熊永家;王岩喜 -专利权人：浙江银轮机械股份有限公司
申请日： 2016-01-26 - 公布日： 2016-08-31 - 主分类号： F28D1/053 文献下载
摘要：本实用新型属于散热器技术领域，特指一种分体式的U型中冷器，包括两个分体中冷器，每个分体中冷器包括间隔设置的上、下室体，其中一个分体中冷器的上室体包括有进气端，另一个分体中冷器的上室体包括有出气端，每个分体中冷器的上、下室体之间通过冷却管相连通，两个分体中冷器相互连接，且两分体中冷器的上室体不连通，下室体相互连通，增压空气从带有进气端的上室体进入经两个分体中冷器的下室体从带有出气端的上室体排出，其路径为U形；本实用新型通过将U型中冷器分割成两个独立的分体式中冷器，避免了温差大的两部分直接接触，在冷热交界处的冷却管极易开裂的问题，从根本上解决U型中冷器面临的可靠性问题。
一种体式型中冷器

[发明专利]一种分体式U型中冷器-CN201610052384.0在审
发明人：陈卫玲;王群;王凯;张晓钢;刘曌宇;熊永家;王岩喜 -专利权人：浙江银轮机械股份有限公司
申请日： 2016-01-26 - 公布日： 2016-04-27 - 主分类号： F28D1/053 文献下载
摘要：本发明属于散热器技术领域，特指一种分体式的U型中冷器，包括两个分体中冷器，每个分体中冷器包括间隔设置的上、下室体，其中一个分体中冷器的上室体包括有进气端，另一个分体中冷器的上室体包括有出气端，每个分体中冷器的上、下室体之间通过冷却管相连通，两个分体中冷器相互连接，且两分体中冷器的上室体不连通，下室体相互连通，增压空气从带有进气端的上室体进入经两个分体中冷器的下室体从带有出气端的上室体排出，其路径为U形；本发明通过将U型中冷器分割成两个独立的分体式中冷器，避免了温差大的两部分直接接触，在冷热交界处的冷却管极易开裂的问题，从根本上解决U型中冷器面临的可靠性问题。
一种体式型中冷器

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