专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]基于Cu膜退火和氯气反应的SiC衬底上制备石墨烯的方法-CN201310078857.0无效
  • 郭辉;凌显宝;张玉明;张晨旭;雷天民 - 西安电子科技大学
  • 2013-03-12 - 2013-07-03 - C04B41/50
  • 本发明公开了一种基于Cu膜退火和氯气反应的SiC衬底上制备石墨烯的方法,主要解决现有技术中制备的石墨烯面积小,不能用于规模化生产,层数不均匀,缺陷多,载流子迁移率不稳定的问题。其制作过程是:(1)对SiC样片进行清洗;(2)将清洗后的SiC样片置于石墨烯生长设备中,并对其进行氢刻蚀;(3)向反应室中通入Ar气和Cl2的混合气体,在700℃~1100℃下SiC与Cl2反应4min~10min,生成碳膜;(4)在生成的碳膜上镀一层Cu膜上;(5)再将镀有Cu膜的碳膜样片置于Ar气中,在温度为900℃~1200℃下退火15min~25min生成石墨烯;(5)将Cu膜从石墨烯样片上去除。本发明制备的石墨烯表面光滑,连续性好,孔隙率低,可用于生物、微电子、化学等许多领域。
  • 基于cu退火氯气反应sic衬底制备石墨方法
  • [发明专利]基于Ni膜退火和氯气反应的SiC衬底上制备石墨烯的方法-CN201310078910.7无效
  • 郭辉;凌显宝;张玉明;张晨旭;雷天民 - 西安电子科技大学
  • 2013-03-12 - 2013-07-03 - C01B31/04
  • 本发明公开了一种基于Ni膜退火和氯气反应的SiC衬底上制备石墨烯的方法,主要解决现有技术中制备的石墨烯连续性不好、表面不光滑的问题。其实现过程是:先对SiC衬底进行RCA清洗;对清洗后的SiC进行氢刻蚀,并去除刻蚀残留物;向石英管反应室中通入Ar气和Cl2的混合气体,在700℃~1100℃下SiC与Cl2反应3min~8min,生成碳膜;然后在碳膜上电子束沉积一层Ni膜;再将沉积有Ni膜的样片置于Ar气中,在温度为950℃~1150℃下退火10min~30min生成石墨烯;最后利用盐酸和硫酸铜的混合溶液将Ni膜从石墨烯样片上去除。本发明具有生成的石墨烯表面光滑,连续性好,孔隙率低的优点,可用于制作微电子器件,生物传感器或气体和液体的密封。
  • 基于ni退火氯气反应sic衬底制备石墨方法

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