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[实用新型]激光器的温度控制系统-CN201320218399.1有效
发明人： 冯泽斌;贺跃坡;王魁波;刘斌;沙鹏飞;韩晓泉;丁金滨;周翊 -专利权人：中国科学院光电研究院
申请日： 2013-04-26 - 公布日： 2013-11-20 - 主分类号： H01S3/041 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于激光器的温控系统，温控系统包括放电腔的腔体温控系统、磁压缩器的水冷装置、固体开关的水冷装置、主管道和多个支管道，所述腔体温控系统包括温度传感器、控制器和热交换器、热交换器的提供冷却水的管道以及设置于所述管道上的流量控制器；温度传感器实时监测所述放电腔内的气体温度，并把温度数据传送给所述控制器，控制器产生控制信号并将控制信号发送给所述流量控制器，流量控制器根据控制信号对冷却水流量进行自动调节，完成对所述放电腔内气体温度的控制。本实用新型能自动、精确的控制激光器各部件的温度，提高了激光器的能量转换效率、工作稳定性和使用寿命。
激光器温度控制系统

[发明专利]一种准分子激光器的温度控制系统-CN201310149256.4有效
发明人： 冯泽斌;贺跃坡;王魁波;刘斌;沙鹏飞;韩晓泉;丁金滨;周翊 -专利权人：中国科学院光电研究院
申请日： 2013-04-26 - 公布日： 2013-07-24 - 主分类号： H01S3/041 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于准分子激光器的温控系统，温控系统包括放电腔的腔体温控系统、磁压缩器的水冷装置、固体开关的水冷装置、主管道和多个支管道，所述腔体温控系统包括温度传感器、控制器和热交换器、热交换器的提供冷却水的管道以及设置于所述管道上的流量控制器；温度传感器实时监测所述放电腔内的气体温度，并把温度数据传送给所述控制器，控制器产生控制信号并将控制信号发送给所述流量控制器，流量控制器根据控制信号对冷却水流量进行自动调节，完成对所述放电腔内气体温度的控制。本发明能自动、精确的控制激光器各部件的温度，提高了激光器的能量转换效率、工作稳定性和使用寿命。
一种准分子激光温度控制系统