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- [发明专利]一种室内气体处理设备-CN202011463428.1在审
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王贝易;孙涛;侯新建
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盛奕半导体科技(无锡)有限公司
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2020-12-14
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2022-06-14
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B01D53/78
- 本发明提供一种室内气体处理设备,用于解决现有湿法半导体设备对晶元加工时产生的挥发性气体的结晶问题;一种室内气体处理设备,包括腔体,进气入口,第一混合区,第一处理腔室,循环水箱,新水箱,第二混合区,第二处理腔室,气液分离器,排气出口;所述腔体包括两个混合区和两个处理腔室,用于收集和吸收废气;所述第一混合区为L型设置,所述第二混合区为直角Z型设置,所述第二处理腔室内部设置有第二针状填料,所述第二针状填料顶部设置有第二大流量喷淋器,所述循环水箱设置在腔体的底部,为吸收废气存储充足水量;所述新水箱设置在所述腔体一侧,本发明的有益效果:抑制厂务管道的结晶形成,减少废气排放。
- 一种室内气体处理设备
- [实用新型]一种室内气体处理设备-CN202022985013.2有效
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王贝易;孙涛;侯新建
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盛奕半导体科技(无锡)有限公司
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2020-12-14
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2022-01-04
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B01D53/78
- 本实用新型提供一种室内气体处理设备,用于解决现有湿法半导体设备对晶元加工时产生的挥发性气体的结晶问题;一种室内气体处理设备,包括腔体,进气入口,第一混合区,第一处理腔室,循环水箱,新水箱,第二混合区,第二处理腔室,气液分离器,排气出口;所述腔体包括两个混合区和两个处理腔室,用于收集和吸收废气;所述第一混合区为L型设置,所述第二混合区为直角Z型设置,所述第二处理腔室内部设置有第二针状填料,所述第二针状填料顶部设置有第二大流量喷淋器,所述循环水箱设置在腔体的底部,为吸收废气存储充足水量;所述新水箱设置在所述腔体一侧,本实用新型的有益效果:抑制厂务管道的结晶形成,减少废气排放。
- 一种室内气体处理设备
- [实用新型]一种双风扇风机过滤机组-CN202023277775.3有效
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王贝易;孙涛;侯新建
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盛奕半导体科技(无锡)有限公司
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2020-12-30
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2022-01-04
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F04D25/16
- 本实用新型提供一种双风扇风机过滤机组,用于提供新风给后续工艺使用;包括机壳组件,风机系统,初效过滤器,气流均布器,高效过滤器,控制系统;所述风机系统固定安装在所述机壳组件的腔体内;所述初效过滤器固定在所述风机系统顶部的机壳组件上;所述气流均布器设置在所述机壳组件底部,所述高效过滤器设置在所述气流均布器的底部;所述控制系统设置在所述初效过滤器的一侧,与所述风机系统电性连接;所述风机系统设置有两个风机,风机均与所述控制系统电性连接;本实用新型的有益效果:结构布局紧凑,克服两台风扇的动静负载和振动,使得单位空间供风量远大于单风扇FFU;配合风机到出风口的距离设计与均布器,使得风量满足工艺均一性要求。
- 一种风扇风机过滤机组
- [实用新型]一种基于风速均一化的ECS装置-CN202120892607.0有效
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王贝易;孙涛;侯新建
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盛奕半导体科技(无锡)有限公司
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2021-04-27
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2021-12-24
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B01D53/18
- 本实用新型涉及废气净化技术领域,尤其是一种基于风速均一化的ECS装置。其包括处理箱体,所述处理箱体内沿着废气处理方向依次设置第一隔板、第二隔板和第三隔板,所述第一隔板下端固定连接处理箱体下箱板,第一隔板上端固定连接处理箱体上箱板,第一隔板和处理箱体前端箱体之间形成废气的预处理室,第一隔板面向多个导风管进风口位置处设置多个相互平行的第一喷淋管,多个第一喷淋管分别固定在多个第一管架上,多个第一管架固定在第一隔板上。本实用新型通过喷淋的洗涤水能够有效吸收处理半导体清洗工艺过程中产生的废气中的有害物质;通过设置整流板,废气从第一整流板和第二整流板的整流孔通过时能够风速均一化,提高后续吸附效率。
- 一种基于风速均一ecs装置
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