专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种室内气体处理设备-CN202011463428.1在审
  • 王贝易;孙涛;侯新建 - 盛奕半导体科技(无锡)有限公司
  • 2020-12-14 - 2022-06-14 - B01D53/78
  • 本发明提供一种室内气体处理设备,用于解决现有湿法半导体设备对晶元加工时产生的挥发性气体的结晶问题;一种室内气体处理设备,包括腔体,进气入口,第一混合区,第一处理腔室,循环水箱,新水箱,第二混合区,第二处理腔室,气液分离器,排气出口;所述腔体包括两个混合区和两个处理腔室,用于收集和吸收废气;所述第一混合区为L型设置,所述第二混合区为直角Z型设置,所述第二处理腔室内部设置有第二针状填料,所述第二针状填料顶部设置有第二大流量喷淋器,所述循环水箱设置在腔体的底部,为吸收废气存储充足水量;所述新水箱设置在所述腔体一侧,本发明的有益效果:抑制厂务管道的结晶形成,减少废气排放。
  • 一种室内气体处理设备
  • [实用新型]一种室内气体处理设备-CN202022985013.2有效
  • 王贝易;孙涛;侯新建 - 盛奕半导体科技(无锡)有限公司
  • 2020-12-14 - 2022-01-04 - B01D53/78
  • 本实用新型提供一种室内气体处理设备,用于解决现有湿法半导体设备对晶元加工时产生的挥发性气体的结晶问题;一种室内气体处理设备,包括腔体,进气入口,第一混合区,第一处理腔室,循环水箱,新水箱,第二混合区,第二处理腔室,气液分离器,排气出口;所述腔体包括两个混合区和两个处理腔室,用于收集和吸收废气;所述第一混合区为L型设置,所述第二混合区为直角Z型设置,所述第二处理腔室内部设置有第二针状填料,所述第二针状填料顶部设置有第二大流量喷淋器,所述循环水箱设置在腔体的底部,为吸收废气存储充足水量;所述新水箱设置在所述腔体一侧,本实用新型的有益效果:抑制厂务管道的结晶形成,减少废气排放。
  • 一种室内气体处理设备
  • [实用新型]一种双风扇风机过滤机组-CN202023277775.3有效
  • 王贝易;孙涛;侯新建 - 盛奕半导体科技(无锡)有限公司
  • 2020-12-30 - 2022-01-04 - F04D25/16
  • 本实用新型提供一种双风扇风机过滤机组,用于提供新风给后续工艺使用;包括机壳组件,风机系统,初效过滤器,气流均布器,高效过滤器,控制系统;所述风机系统固定安装在所述机壳组件的腔体内;所述初效过滤器固定在所述风机系统顶部的机壳组件上;所述气流均布器设置在所述机壳组件底部,所述高效过滤器设置在所述气流均布器的底部;所述控制系统设置在所述初效过滤器的一侧,与所述风机系统电性连接;所述风机系统设置有两个风机,风机均与所述控制系统电性连接;本实用新型的有益效果:结构布局紧凑,克服两台风扇的动静负载和振动,使得单位空间供风量远大于单风扇FFU;配合风机到出风口的距离设计与均布器,使得风量满足工艺均一性要求。
  • 一种风扇风机过滤机组
  • [实用新型]一种能够去除金属离子的风机过滤装置-CN202120803242.X有效
  • 王贝易;孙涛;侯新建 - 盛奕半导体科技(无锡)有限公司
  • 2021-04-19 - 2021-12-24 - B01D46/00
  • 本实用新型涉及空气过滤技术领域,尤其是一种能够去除金属离子的风机过滤装置。其包括外壳体,所述外壳体上端面通过连接件可拆卸的连接两个上盖板,所述两个上盖板并排设置,两个上盖板上分别设置进风口,所述进风口处设置初效过滤器;两个所述初效过滤器正下方分别设置一个风扇组件,初效过滤器出风口和风扇组件进风口之间设置整流罩。本实用新型结通过设置化学过滤器,能够去除半导体生产环境中存在的酸碱气体和金属离子,减少工艺上的不良现象;两个并排设置的风扇组件之间相互独立工作,同时处理两个通道的空气;风扇组件的平衡支架和减震套的设置能够提高风扇组件工作稳定性,避免振动对气流的影响。
  • 一种能够去除金属离子风机过滤装置
  • [实用新型]一种FFU的抗变形过滤器框架结构-CN202120806045.3有效
  • 王贝易;孙涛;侯新建 - 盛奕半导体科技(无锡)有限公司
  • 2021-04-19 - 2021-12-24 - B01D46/00
  • 本实用新型涉及风机过滤机组技术领域,尤其是一种抗变形FFU过滤器框架结构。其包括外框体,所述外框体一侧设置外安装槽体,所述外安装槽体内设置内框体,外安装槽体的两个相对侧壁通过第一连接体、第二连接体分别连接内框体的两个相对外侧壁;所述外安装槽体内表面和内框体外表面之间形成变形空腔;所述内框体一侧设置内安装槽体,所述内安装槽体内胶固滤芯。本实用新型通过内外框体结构的设置对过滤器外表面进行隔热;同时,变形腔体能够容纳内框体的变形,从而改善过滤器外框体变形情况。
  • 一种ffu变形过滤器框架结构
  • [实用新型]一种抗腐蚀FFU装置-CN202120806113.6有效
  • 王贝易;孙涛;侯新建 - 盛奕半导体科技(无锡)有限公司
  • 2021-04-19 - 2021-12-24 - F24F8/108
  • 本实用新型涉及风机过滤设备技术领域,尤其是一种抗腐蚀FFU装置。Q其包括壳体,所述壳体上端面设置进风口,所述进风口处设置初效过滤器,壳体下端面设置出风口,所述出风口处设置高效过滤器,所述高效过滤器和壳体出风口之间设置气流分布器,气流分布器上设置多个气流分布孔;所述壳体内通过连接件可拆卸的连接风机组件,风机组件位于壳体进风口和出风口之间。本实用新型通过防腐蚀的初效过滤器和高效过滤器能够有效过滤酸碱气体中的颗粒物,同时能够防止被酸碱气体所腐蚀,避免产生影响后续工艺流程的离子,保证了过滤效果,提高了使用寿命。
  • 一种腐蚀ffu装置
  • [实用新型]一种基于风速均一化的ECS装置-CN202120892607.0有效
  • 王贝易;孙涛;侯新建 - 盛奕半导体科技(无锡)有限公司
  • 2021-04-27 - 2021-12-24 - B01D53/18
  • 本实用新型涉及废气净化技术领域,尤其是一种基于风速均一化的ECS装置。其包括处理箱体,所述处理箱体内沿着废气处理方向依次设置第一隔板、第二隔板和第三隔板,所述第一隔板下端固定连接处理箱体下箱板,第一隔板上端固定连接处理箱体上箱板,第一隔板和处理箱体前端箱体之间形成废气的预处理室,第一隔板面向多个导风管进风口位置处设置多个相互平行的第一喷淋管,多个第一喷淋管分别固定在多个第一管架上,多个第一管架固定在第一隔板上。本实用新型通过喷淋的洗涤水能够有效吸收处理半导体清洗工艺过程中产生的废气中的有害物质;通过设置整流板,废气从第一整流板和第二整流板的整流孔通过时能够风速均一化,提高后续吸附效率。
  • 一种基于风速均一ecs装置
  • [实用新型]带有压力控制功能的半导体清洗设备-CN202120894477.4有效
  • 王贝易;孙涛;侯新建 - 盛奕半导体科技(无锡)有限公司
  • 2021-04-27 - 2021-12-24 - B01D53/78
  • 本实用新型涉及半导体工艺废气清洗设备技术领域,尤其是一种带有压力控制功能的半导体清洗设备。其包括主机架,所述主机架内固定风道,所述风道上并排设置多个风道进风口,每个风道进风口上连接一个进风筒体出风端,所述进风筒体的进风端伸出主机架;所述进风筒体和风道之间设置压力控制单元,所述压力控制单元包括定筒,定筒出气端和风道进风口连通,定筒内通过轴承转动连接转筒,定筒上端通过连接件可拆卸的连接电机支架,电机支架上固定控制电机,控制电机输出端伸入定筒中并连接转筒。本实用新型的进风筒体内的喷淋嘴向进入进气法兰端面的废气喷淋洗涤液,从而净化废气中的有害物质;压力控制单元能够控制压力大小,稳定上级设备压力。
  • 带有压力控制功能半导体清洗设备
  • [实用新型]一种用于高压带液环境的气压取样设备-CN202023294949.7有效
  • 王贝易;孙涛;侯新建 - 盛奕半导体科技(无锡)有限公司
  • 2020-12-30 - 2021-09-10 - G01L19/06
  • 本实用新型提供一种用于高压带液环境的气压取样设备,用于ECS装置内部的高压带液环境中,避免积水造成堵塞而影响ECS设备调控的情况发生;包括气液分离装置,安装板,气管安装接头,控制系统;所述气液分离装置固定安装在所述安装板2的正下侧;所述气管安装接头固定设置在所述安装板的正上侧;所述控制系统与所述气管安装接头固定连接;所述控制系统包括主控端,压力调节装置及高精度压力传感器;所述主控端分别与压力调节装置及高精度压力传感器连接;所述气液分离装置上设置有上取样口;所述上取样口与所述气管安装接头配合;本实用新型的有益效果:改善了积水堵塞倒是ECS设备异常的情况,减小了检测气压的误差,保证了ECS设备的压力稳定。
  • 一种用于高压环境气压取样设备

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