[实用新型]一种基于风速均一化的ECS装置有效
| 申请号： | 202120892607.0 | 申请日： | 2021-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN215276528U | 公开（公告）日： | 2021-12-24 |
| 发明（设计）人： | 王贝易;孙涛;侯新建 | 申请（专利权）人： | 盛奕半导体科技（无锡）有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/18 | 分类号： | B01D53/18;B01D53/78 |
| 代理公司： | 无锡华源专利商标事务所(普通合伙) 32228 | 代理人： | 崔婕 |
| 地址： | 214000 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及废气净化技术领域，尤其是一种基于风速均一化的ECS装置。其包括处理箱体，所述处理箱体内沿着废气处理方向依次设置第一隔板、第二隔板和第三隔板，所述第一隔板下端固定连接处理箱体下箱板，第一隔板上端固定连接处理箱体上箱板，第一隔板和处理箱体前端箱体之间形成废气的预处理室，第一隔板面向多个导风管进风口位置处设置多个相互平行的第一喷淋管，多个第一喷淋管分别固定在多个第一管架上，多个第一管架固定在第一隔板上。本实用新型通过喷淋的洗涤水能够有效吸收处理半导体清洗工艺过程中产生的废气中的有害物质；通过设置整流板，废气从第一整流板和第二整流板的整流孔通过时能够风速均一化，提高后续吸附效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 风速 均一 ecs 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于盛奕半导体科技（无锡）有限公司，未经盛奕半导体科技（无锡）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202120892607.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：救护运送支援系统
- 下一篇：饰板结构、车身结构及汽车
