专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]一种用于在线式真空固晶炉的甲酸供给装置-CN202221016416.9有效
  • 方国银;仲伟余 - 康耐威(苏州)半导体科技有限公司
  • 2022-04-28 - 2022-10-28 - H01L21/67
  • 本实用新型公开了一种用于在线式真空固晶炉的甲酸供给装置,包括:甲酸压力桶、真空炉和惰性气体源,甲酸压力桶与惰性气体源通过第一通气管道相连接,第一通气管道一端位于甲酸压力桶内,并且与鼓泡器相连接;真空炉与甲酸压力桶通过第二通气管道相连接,第一通气管道上设置有电气比例阀。通过第一通气管道使惰性气体进入到装有甲酸液体的甲酸压力桶,通过鼓泡器发生鼓泡对甲酸液体进行搅拌,从而产生甲酸饱和气体,甲酸饱和气体通过第二通气管道进入真空炉,从而达到对真空炉内的金属氧化物还原的目的,电气比例阀根据控制信号的大小来调整阀芯的截面面积,从而达到对氮气流量的实时控制,以此来实时调节甲酸饱和气体的流量。
  • 一种用于在线真空固晶炉甲酸供给装置

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