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- [发明专利]压电驱动转台-CN202310863085.5在审
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张玉玲;徐金林;李洪涛;蒋晓磊
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松山湖材料实验室;东莞市卓聚科技有限公司
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2023-07-13
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2023-10-13
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H02N2/04
- 本申请提供了一种压电驱动转台,涉及压电驱动技术领域。压电驱动转台包括底座、两个压电驱动单元和旋转单元。两个压电驱动单元呈中心对称布置于底座,每个压电驱动单元包括惯性体、压电陶瓷和摩擦球,惯性体的上端为具有弹性的上板,惯性体与底座固定连接,压电陶瓷与惯性体的第一侧抵靠,压电陶瓷膨胀能够挤压惯性体以使上板的上表面固定的摩擦球沿膨胀方向运动。旋转单元包括旋转台和位于旋转台一侧的摩擦环,摩擦球与摩擦环配合,能够使摩擦环与旋转台同步转动。该压电驱动转台使用两个相同方向的“慢粘快滑”运动,可以提高转台的速度和带动负载能力。
- 压电驱动转台
- [发明专利]膜厚测量装置-CN202210247607.4在审
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陈瑶;徐金林;程元元;李智斌;周泳
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松山湖材料实验室;东莞市卓聚科技有限公司
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2022-03-14
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2023-04-28
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G01B21/08
- 本发明公开了一种膜厚测量装置,包括:减震台、测量装置本体;测量装置本体设于减震台上,测量装置本体包括基座、垂直显微镜、纳米微动力台、电动旋转样品台、移动扫描台、XY电动台;垂直显微镜、纳米微动力台、XY电动台均安装在基座上,移动扫描台设于XY电动台上,电动旋转样品台设于移动扫描台上,纳米微动力台与电动旋转样品台相对设置;纳米微动力台与探针相连,纳米微动力台用于控制探针的下压距离和力度;移动扫描台用于在确定好样品测试的位置且规划好扫描路径后,在扫描过程中带动电动旋转样品台移动。本发明能够保证检测过程中对探针位移控制与力控制的稳定性、以及样品台的平稳性。
- 测量装置
- [实用新型]石墨烯生物检测装置-CN202220696356.3有效
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张姗;许智;刘俊江;王艳丽;王焕明
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东莞市卓聚科技有限公司
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2022-03-28
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2022-10-28
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G01N33/48
- 本实用新型公开了一种石墨烯生物检测装置,包括:主外壳、传感器托、传感器保护壳和石墨烯生物传感器;主外壳内设有多通道数据接收器,主外壳的上表面设有显示控制装置,石墨烯生物传感器固定在传感器托上,传感器保护壳罩设在传感器托和石墨烯生物传感器上;主外壳的底部设有底板,底板上设有数据处理器和锁相放大器;石墨烯生物传感器用于插入多通道数据接收器中,以使石墨烯生物传感器与多通道数据接收器电性连接;多通道数据接收器、锁相放大器、数据处理器、显示控制装置依次电性连接。本实用新型实现了基于石墨烯生物传感器的石墨烯生物检测装置,可以实现多通道,灵敏,快速的病毒检测,为疫情防控做出了一份贡献。
- 石墨生物检测装置
- [发明专利]一种真空促动器-CN202210858083.2在审
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陈汉阳;许智;王水元
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东莞市卓聚科技有限公司
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2022-07-20
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2022-10-25
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G01N35/00
- 本发明公开了一种真空促动器,包括:真空促动器主腔、真空密封盖和电机,真空密封盖安装在真空促动器主腔和电机之间,电机与真空密封盖之间设有联轴器;真空促动器主腔内设有丝杆螺母、丝杆、第一轴承、第一光轴固定座、光轴、丝杆固定座、直线轴承、第二轴承、第二光轴固定座、第三轴承;真空促动器主腔远离真空密封盖一端的内部安装丝杆螺母,丝杆与丝杆螺母配合,且丝杆位于在真空促动器主腔的中心轴上,丝杆固定座安装在丝杆外侧;光轴位于丝杆与丝杆固定座之间,第一光轴固定座和第二光轴固定座安装在光轴的两端。本发明能够解决现有技术占用真空腔体的体积、需要另外设置多个接线器与真空腔体内的电机相连接的技术问题。
- 一种真空促动
- [发明专利]光刻系统及光刻方法-CN202210675289.1在审
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李智斌;蒋晓磊
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松山湖材料实验室;东莞市卓聚科技有限公司
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2022-06-15
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2022-09-16
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G03F7/20
- 本申请涉及一种光刻系统及光刻方法。所述系统包括:光束生成装置,用于生成第一光束和第二光束。相位调整装置,位于第一光束或第二光束的光路上,用于将光束的相位调整预设度数;反射镜组,位于第一光束和/或第二光束的光路上,用于调整第一光束和/或第二光束的光路,调整后的第一光束和第二光束发生交汇;第一分光镜,位于调整后的第一光束和第二光束的光路上,用于使第一光束和第二光束部分重叠,得到目标光束。从而目标光束曝光得到两边有图形,中间无图形的图像。其中,两边的图形的宽度,都仅是一束光的一部分光刻得到的,相比起未重叠抵消前的一束光光刻得到的图形的宽度更小,因此分辨率更高。从而使得光刻机能够刻出更加小的双沟道图形。
- 光刻系统方法
- [实用新型]一种温度控制系统-CN202221264823.1有效
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许志强;许智;周泳
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东莞市卓聚科技有限公司
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2022-05-24
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2022-09-02
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G01N1/44
- 本实用新型公开了一种温度控制系统,用于控制样品台的温度,温度控制系统包括气压维持系统、闭环气路制冷系统和温度维持系统;闭环气路制冷系统包括循环泵、第一热交换管、第二热交换管,循环泵、第一热交换管、第二热交换管通过管道循环连接;温度维持系统包括制冷液体罐和加热组件,制冷液体罐中设有制冷液,且第一热交换管处于制冷液中,加热组件和第二热交换管均安装在样品台的内部,样品台和部分管道位于密封腔体内;气压维持系统用于通过管道向闭环气路制冷系统提供具有预设压强的气体。本实用新型能够解决现有技术温度波动大的问题。
- 一种温度控制系统
- [实用新型]台阶仪-CN202220551028.4有效
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陈瑶;许智;徐金林;程元元;李智斌;周泳
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东莞市卓聚科技有限公司
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2022-03-14
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2022-07-12
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G01B21/30
- 本实用新型公开了一种台阶仪,包括:减震台、台阶仪本体;台阶仪本体设于减震台上,台阶仪本体包括基座、辅助显微镜、垂直显微镜、固定架、电动旋转样品台、移动扫描台、XY电动台;固定架和XY电动台安装在基座上,移动扫描台设于XY电动台上,电动旋转样品台设于移动扫描台上;辅助显微镜用于观察探针的针尖以及电动旋转样品台上的样品,垂直显微镜用于观察电动旋转样品台上的样品;垂直显微镜安装在固定架上,固定架与辅助显微镜通过连接机构连接,连接机构包括第一连接板和与第一连接板滑动连接的第二连接板。本实用新型能够解决现有技术不能对针尖脱离样品的情况进行有效观察的问题。
- 台阶
- [发明专利]微力施加装置-CN202210248822.6在审
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徐金林;许智;蒋晓磊
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东莞市卓聚科技有限公司
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2022-03-14
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2022-06-14
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H02N2/02
- 本发明公开了一种微力施加装置,该微力施加装置包括力传感器和微动平台,力传感器与微动平台的力传感器安装面刚性链接,通过微动平台带动力传感器进行微量移动;微动平台包括位移传感器组件、顶部封板、运动基体、底部封板和微动平台驱动结构,微动平台驱动结构包括驱动机构和安装在驱动机构中的压电陶瓷促动器。本发明利用压电陶瓷促动器的逆压电效应,通过电场的精确控制,能够使压电陶瓷促动器的膨胀尺度达到亚纳米尺度,能够对力传感器实现微力(mg级及以下)的施加,进而能够满足台阶仪在纳米尺度下定量和定性的检测材料表面形貌特征,以及在微力作用下材料的力学性质、物性测量等物理研究。
- 施加装置
- [发明专利]石墨烯生物检测装置-CN202210311357.6在审
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张姗;许智;刘俊江;王艳丽;王焕明
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东莞市卓聚科技有限公司
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2022-03-28
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2022-05-24
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G01N33/48
- 本发明公开了一种石墨烯生物检测装置,包括:主外壳、传感器托、传感器保护壳和石墨烯生物传感器;主外壳内设有多通道数据接收器,主外壳的上表面设有显示控制装置,石墨烯生物传感器固定在传感器托上,传感器保护壳罩设在传感器托和石墨烯生物传感器上;主外壳的底部设有底板,底板上设有数据处理器和锁相放大器;石墨烯生物传感器用于插入多通道数据接收器中,以使石墨烯生物传感器与多通道数据接收器电性连接;多通道数据接收器、锁相放大器、数据处理器、显示控制装置依次电性连接。本发明实现了基于石墨烯生物传感器的石墨烯生物检测装置,可以实现多通道,灵敏,快速的病毒检测,为疫情防控做出了一份贡献。
- 石墨生物检测装置
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