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[发明专利]数据处理方法和数据比较方法-CN202210624737.5在审
发明人： 丘基星;全宰永 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2022-06-02 - 公布日： 2022-12-06 - 主分类号： G06F16/18 文献下载
摘要：本发明构思提供了一种用于处理在基板处理中产生的数据的方法。该方法包括：根据基板处理的每个工艺来分割数据；以及将分割的数据转换成相同大小。将分割的数据转换成相同大小包括：利用ID卷积将分割的数据转换成相同大小。
数据处理方法数据比较

[发明专利]基板处理设备和数据变化确定方法-CN202210540188.3在审
发明人： 丘基星 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2022-05-17 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明构思提供了一种基板处理设备。所述基板处理设备包括：至少一个传感器，所述至少一个传感器被配置为在所述基板的所述处理的过程中测量所述基板或所述设备的状况；数据收集单元，所述数据收集单元被配置为按时间序列收集由所述传感器测量的数据；以及数据处理单元，所述数据处理单元被配置为学习由所述数据收集单元收集的所述数据以检测由所述传感器测量的当前数据的变化。所述数据处理单元包括：数据学习单元，所述数据学习单元被配置为使用孪生网络来学习由所述数据收集单元收集的过去的数据；以及数据检查单元，所述数据检查单元被配置为基于所学习的数据来检测所述当前数据是否已经发生问题。
处理设备数据变化确定方法