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[发明专利]温度调节系统-CN201910260757.7有效
发明人： 三之森章祥;山口伸 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2019-04-02 - 公布日： 2023-02-17 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：一实施方式所涉及的温度调节系统调节载置台的温度。在使载置台的温度上升时，该温度调节系统的控制部向载置台输入热量，并且打开分流阀的同时调节分流阀的开度以使载置台的温度达到高于第1温度的第2温度。热交换部设置在载置台内且进行基于制冷剂的热交换，压缩器压缩从热交换部排出的制冷剂，冷凝器冷凝由压缩器压缩后的制冷剂，供给管道设置于冷凝器的输出端与热交换部的输入端之间，将制冷剂送往热交换部，膨胀阀设置于供给管道，气体管道设置于压缩器的输出端与膨胀阀的输出端之间，分流阀设置于气体管道，检测装置检测载置台的温度，控制部根据由检测装置检测出的温度来调节向载置台的热量输入、膨胀阀以及分流阀各自的开度。
温度调节系统

[发明专利]清理方法-CN201910261598.2有效
发明人： 三之森章祥;山口伸 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2019-04-02 - 公布日： 2021-09-28 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：一实施方式所涉及的清理方法为等离子体处理装置的载置台的清理方法，具备去除形成在载置台上的反应产物的工序。去除反应产物的工序具备将伪晶片载置于载置台的工序、使载置台的温度上升的工序以及在使载置台的温度上升后进行反应产物的去除的工序。使载置台的温度上升的工序中，打开将从载置台的热交换部排出且经压缩后的制冷剂冷凝并供给到热交换部的冷凝器的输出端与热交换部的输入端之间的膨胀阀的同时向载置台输入热量，并且打开将从热交换部排出的制冷剂压缩并供给到冷凝器的压缩器的输出端与热交换部的输入端之间的分流阀的同时调节分流阀的开度，由此使载置台的温度上升。
清理方法

[发明专利]温度调节方法-CN201910260912.5在审
发明人： 三之森章祥;山口伸 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2019-04-02 - 公布日： 2019-10-18 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：一实施方式所涉及的温度调节方法为通过制冷剂调节载置被处理体的载置台的温度的温度调节方法。该方法具备使载置台的温度上升的工序。该使载置台的温度上升的工序具备：通过打开将从设置于载置台的热交换部排出且经压缩后的制冷剂冷凝并供给到热交换部的冷凝器的输出端与热交换部的输入端之间的膨胀阀的同时调节膨胀阀的开度，将载置台的温度调节为第1温度的工序；以及通过打开膨胀阀的同时向载置台输入热量，并且打开将从热交换部排出的制冷剂压缩并供给到冷凝器的压缩器的输出端与热交换部的输入端之间的分流阀的同时调节分流阀的开度，将载置台的温度调节为第2温度的工序。第2温度高于第1温度。
载置台热交换部温度调节膨胀阀分流阀冷凝器输出端输入端开度排出制冷剂制冷剂冷凝制冷剂压缩被处理体输入热量压缩器载置压缩