专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种基于飞秒激光直写的光学模拟平台制备方法-CN202111178870.4在审
  • 侯智善;曹宇;蔡燕;丁潇川;薛伟;陈瑞溢;朱小伟 - 温州大学
  • 2021-10-09 - 2021-12-31 - G02B6/138
  • 本发明提供了一种基于飞秒激光直写的光学模拟平台制备方法,包括:样品片准备、加工台调平;之后启动加工程序,使得飞秒激光焦点位于光刻胶/硅的交界面而且在激光焦点保持不动的同时,样品片按照设计结构实现长程连续移动,最终在样品片上完成整个波导阵列的扫描;然后再经未交联光刻胶去除、旋涂波导阵列包层等步骤,既得到微米级别聚合物基波导阵列。该制备方法利用飞秒激光双光子聚合高精度点‑线‑面加工能力实现微米级别聚合物基波导阵列的快速制备。由于飞秒激光无掩模、真三维的加工特点,实现了聚合物波导阵列任意的高度、宽度、截面的精确定制,进而利用波导截面双折射梯度实现相关光学模拟实验。
  • 一种基于激光光学模拟平台制备方法

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