专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]曝光装置-CN202310632211.6在审
  • 王栋;齐鹏煜;万冀豫;段皓;肖宇;冯贺 - 北京京东方显示技术有限公司;京东方科技集团股份有限公司
  • 2023-05-30 - 2023-09-15 - G03F7/20
  • 本公开提供了一种曝光装置,包括:透光基板;环形框,设于透光基板的一侧,环形框围成的空间与透光基板形成一容置腔;在容置腔处于负压状态时,一掩模板可吸附于环形框背向透光基板的一侧;收纳机构和牵引机构,设于容置腔内;在与透光基板平行的方向上,牵引机构能够远离或靠近收纳机构;柔性遮光膜,柔性遮光膜的一侧与收纳机构连接,柔性遮光膜相反的一侧与牵引机构连接;其中,在牵引机构靠近收纳机构时,收纳机构能够折叠或卷绕柔性遮光膜,在牵引机构远离收纳机构时,柔性遮光膜的至少部分能够展开。本公开能够在曝光过程中进行遮光。
  • 曝光装置
  • [发明专利]一种光刻胶回收系统-CN201410024900.X有效
  • 陈鹏;杜宏伟;吴凯民;肖金涛;齐鹏煜;孙培会 - 北京京东方显示技术有限公司;京东方科技集团股份有限公司
  • 2014-01-20 - 2014-05-07 - B05C11/10
  • 本发明公开了一种光刻胶回收系统,用于解决光刻胶涂布机排出的使用过的光刻胶浪费的问题。所述系统包括:接收装置,接收装置与光刻胶涂布装置连接,分别与第一缓冲装置和第二缓冲装置连接的输送装置,输送装置用于将第一缓冲装置中的光刻胶输送至第二缓冲装置;第二缓冲装置的顶部通过设置有第二控制阀的管道与干洁气源连接;第二缓冲装置的底部连接设置有第四控制阀的管道;第二缓冲装置用于容纳输送装置输送的使用过的光刻胶,并在干洁气源提供的气压下,通过所述设置有第四控制阀的管道将所述使用过的光刻胶输送至胶桶。光刻胶涂布机排出的使用过的光刻胶通过上述各装置进入胶桶,可以再次利用,从而降低生产成本。
  • 一种光刻回收系统

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