专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]反应炉-CN202023121104.8有效
  • 李时俊;李军阳;刘兵吉;黄章羽 - 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
  • 2020-12-22 - 2021-08-20 - H01L21/67
  • 本实用新型公开了一种反应炉,包括基座、炉体、反应管、第一动力模组与散热模组;炉体连接于基座;反应管连接于基座,用于放置待加工物料;第一动力模组用于驱动炉体与反应管之间发生相对运动,以使位于炉体内的反应管与炉体分离;散热模组用于对分离后的反应管进行散热。上述反应炉中,第一动力模组用于驱动炉体与反应管之间发生相对运动,当炉体与反应管分离后,散热模组可以对反应管进行单独散热,如此,物料(例如晶圆)可以停留在反应管内进行快速散热,避免被空气中的杂质污染,炉体可以保持在加热状态,能够减少整体散热时间,减少或者省去炉体的再次升温时间,有助于提升效率,减少能耗。
  • 反应炉
  • [发明专利]反应炉-CN202011525080.4在审
  • 李时俊;李军阳;刘兵吉;黄章羽 - 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
  • 2020-12-22 - 2021-03-23 - H01L21/67
  • 本发明公开了一种反应炉,包括基座、炉体、反应管、第一动力模组与散热模组;炉体连接于基座;反应管连接于基座,用于放置待加工物料;第一动力模组用于驱动炉体与反应管之间发生相对运动,以使位于炉体内的反应管与炉体分离;散热模组用于对分离后的反应管进行散热。上述反应炉中,第一动力模组用于驱动炉体与反应管之间发生相对运动,当炉体与反应管分离后,散热模组可以对反应管进行单独散热,如此,物料(例如晶圆)可以停留在反应管内进行快速散热,避免被空气中的杂质污染,炉体可以保持在加热状态,能够减少整体散热时间,减少或者省去炉体的再次升温时间,有助于提升效率,减少能耗。
  • 反应炉

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