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[实用新型]双梳板式镀膜机-CN202320392289.0有效
发明人： 鲍刚华 -专利权人：常州市万华激光科技有限公司
申请日： 2023-03-06 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： B05C1/06 文献下载
摘要：本实用新型涉及镀膜机领域，尤其是双梳板式镀膜机。该镀膜机包括机架、多轴移动机构、旋转机构、梳板、化学液槽、产品水平输送机构、挡板、产品吸附定位机构，所述机架上安装有多轴移动机构，多轴移动机构上安装有旋转机构，旋转机构的输出轴上安装有两个梳板，多轴移动机构下方设有化学液槽和产品水平输送机构，化学液槽内设有两个独立的腔室，产品水平输送机构的出料端安装有挡板，产品水平输送机构下方设有产品吸附定位机构。该实用新型通过多轴移动机构带动两个梳板进行水平及垂直方向的移动，通过旋转机构来调整梳板的水平方向。当两个梳板沾上两种不同的化学液后，可以对产品在短时间进行不同化学液的涂抹，从而提高了产品的镀膜效率。
板式镀膜

[实用新型]一种激光窗口片的清洗装置-CN202320559854.8有效
发明人： 鲍刚华 -专利权人：常州市万华激光科技有限公司
申请日： 2023-03-21 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： B08B3/08 文献下载
摘要：本实用新型涉及激光窗口片清洗装置技术领域，尤其是一种激光窗口片的清洗装置，包括清洗箱；所述清洗箱侧面设有控制器，两端设有清洗入口和清洗出口，内顶部设有传动装置，内部设有碱水清理区、纯水清理区和烘干区；所述传动装置下方连接激光窗口片固定装置；所述碱水清理区设置清洗入口一端，右侧设有纯水清理区，底部设有碱水箱，顶部设有风扇；所述纯水清理区右侧设有烘干区，底部设有纯水箱；所述碱水清理区、纯水清理区和烘干区之间，以及清洗入口和清洗出口处都设有用于隔断的布帘；所述控制器与传动装置、碱水箱、风扇、纯水箱和烘干区电性连接。本装置调节碱水碱性强弱和纯水对窗口片进行清洗，能够确保清洗后表面光洁无水渍水垢。
一种激光窗口清洗装置

[实用新型]一种镜片镀膜夹具-CN202320492773.0有效
发明人： 鲍刚华 -专利权人：常州市万华激光科技有限公司
申请日： 2023-03-15 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本实用新型涉及光学镜片技术领域，尤其是一种镜片镀膜夹具，包括两个对称设置的夹紧机构，所述两个夹紧机构相互铰接，所述夹紧机构包括矩形框以及并排嵌设进矩形框内的多个夹板，所述矩形框的两端可拆卸连接封闭板，所述夹板两侧开设多个半圆缺口，相邻夹板侧面开设的半圆缺口形成一个整圆，所述半圆缺口内侧面设置卡条，所述卡条卡入镜片外圆侧面开设的环形卡槽内。本实用新型可直接安装镜片后进行清洗、烘干和镀膜工序，有效节省人工装配时间，提高生产效率。
一种镜片镀膜夹具

[发明专利]一种具有超低反射率的纳米镀膜涂层-CN202211638046.7在审
发明人： 鲍刚华 -专利权人：常州市万华激光科技有限公司;鲍刚华
申请日： 2022-12-20 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： G02B1/115 文献下载
摘要：本发明涉及光学薄膜技术领域，尤其是一种具有超低反射率的纳米镀膜涂层，包括由中高折射率材料制成的最内层、中间层和由MgF2材料制成的最外层，所述中间层为交替叠加的TiO2和SiO2组合形成，所述中间层由9层膜组成。本发明具有纳米涂层结构，设计简单和容易制备，该涂层适用于当前大部分光学镜头，如手机摄像头，安防和监控等，沉积在玻璃或塑料上，在420‑700nm的可见光波段范围内，这种涂层平均反射率小于0.1%。
一种具有反射率纳米镀膜涂层

[发明专利]抑制半波孔的倍频分束薄膜的制备方法-CN202211473703.7在审
发明人： 鲍刚华;梅波 -专利权人：常州市万华激光科技有限公司
申请日： 2022-11-23 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： G02B27/00 文献下载
摘要：本发明涉及薄膜制备方法领域，尤其是抑制半波孔的倍频分束薄膜的制备方法。该制备方法，包括以下步骤：A、将基板清洗干净；B、利用高纯氮气将基板吹干后放入镀膜机；C、该薄膜由低折射率层一、导纳匹配层一、高折射率层、导纳匹配层二、低折射率层二依次叠加组成；计算出低折射率层一、导纳匹配层一、高折射率层、导纳匹配层二、低折射率层二的厚度系数。该发明可有效降低厚度和低非均质性对半波孔的影响。相比与常规膜系，大角度入射时半波孔处透射率掉落较少，表明对厚度误差敏感性更小。且垂直入射时半波孔处透射率与考虑非均质性时相比差异较小，表明对非均质性敏感性更小。且本发明的制备效率和良率都更高，针对性强。
抑制半波孔倍频薄膜制备方法

[发明专利]一种消偏振的平板薄膜截止滤光片-CN202211576660.5在审
发明人： 鲍刚华 -专利权人：常州市万华激光科技有限公司;鲍刚华
申请日： 2022-12-09 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： G02B5/28 文献下载
摘要：本发明涉及光学薄膜技术领域，尤其是一种消偏振的平板薄膜截止滤光片，包括沉积在平板基底上的薄膜，所述薄膜的基本周期结构为：(aHbMcLbMaH)^P；其中，H代表四分之一光学厚度的高折射率膜层，M代表中四分之一光学厚度的中折射率膜层，L代表四分之一光学厚度的低折射率膜层，P为周期数；a为薄膜结构H的倍数，b为薄膜结构M的倍数，c为薄膜结构L的倍数，P为周期数。本发明方法简单易行，利用计算机，借助于任何常规薄膜设计软件即可完成；本发明方法针对性强，适用范围广、品质高，此方法适用于当前光学薄膜行业的所有介质薄膜材料；设计得到的膜系，不包含极厚层，膜层总厚度较薄，有利于精确制备，有利于大幅度提升产品的良品率。
一种偏振平板薄膜截止滤光

[实用新型]一种用于提高真空镀膜中晶振片检测精度的装置-CN202221381904.X有效
发明人： 鲍刚华 -专利权人：常州市万华激光科技有限公司;鲍刚华
申请日： 2022-06-06 - 公布日： 2022-11-29 - 主分类号： C23C14/54 文献下载
摘要：本实用新型涉及镀膜装置的技术领域，尤其涉及一种用于提高真空镀膜中晶振片检测精度的装置。这种用于提高真空镀膜中晶振片检测精度的装置包括盖板、水晶托盘和压板；水晶托盘上设有沿中心均匀分布的透气孔、并且在中心处设有未贯穿水晶托盘的定位柱，透气孔由垂直部分和倒角部分组成，盖板为带有下沉空间的圆盘，并且在下沉空间上设有一个通孔；压板上设有对应透气孔的孔洞、以及对应连接定位柱的中心孔。这种用于提高真空镀膜中晶振片检测精度的装置起到提高监控精度和保证镀膜重复性的双重作用，装置简单，易于实现，易于拆卸安装，稳定性好，能够有效降低不可控因素。提高了镀膜机的膜层监控精度，改善了机台的镀膜稳定，满足镀膜生产需要。
一种用于提高真空镀膜中晶振片检测精度装置

[发明专利]一种单一电子束蒸发源的镀膜机-CN202010123890.0有效
发明人： 鲍刚华;卢成;王伟;张勇军;李江平 -专利权人：成都国泰真空设备有限公司
申请日： 2020-02-27 - 公布日： 2022-09-27 - 主分类号： C23C14/30 文献下载
摘要：本发明公开了一种单一电子束蒸发源的镀膜机，包括公转夹具（1）、真空室腔体（6）、真空室门（9），在真空室腔体（6）内设置有单一电子束蒸发源（4），在真空室腔体（6）内公转夹具（1）的下方和电子束蒸发源（4）所在蒸发平面（5）的上方设置有可升降的修正板系统，且修正板系统包括可独立工作的内侧修正板（2）和外侧修正板（3），能够在降低成本的同时，有效提高镀膜的均匀性，并使得光学膜厚均匀性得到有效控制。
一种单一电子束蒸发镀膜

[实用新型]新型蒸发舟-CN202123367126.7有效
发明人： 鲍刚华 -专利权人：常州市万华激光科技有限公司;鲍刚华
申请日： 2021-12-30 - 公布日： 2022-09-06 - 主分类号： C23C14/26 文献下载
摘要：本实用新型涉及蒸发舟领域，尤其是新型蒸发舟。该蒸发舟包括蒸发舟本体、盖子，所述盖子盖合在蒸发舟本体上，蒸发舟本体由槽体和通电电极组成，槽体左右两侧设有两个相互对称的弧形侧板，槽体前后两端分别固定有通电电极，弧形侧板的凸起部分位于槽体内部。该实用新型通过在蒸发舟本体上设置左右两个弧形侧板，来形成一个这边槽。从而可以不使用修正板，进而避免因修正板的形状或位置变化而导致薄膜厚度均匀性发生变化，提高了实际生产当中膜系和产品的稳定性。
新型蒸发

[发明专利]一种紫外193nm增透膜的制备方法-CN202210084353.9在审
发明人： 鲍刚华 -专利权人：常州市万华激光科技有限公司;鲍刚华
申请日： 2022-04-08 - 公布日： 2022-08-05 - 主分类号： C03C17/34 文献下载
摘要：本发明涉及增透膜的技术领域，尤其涉及一种紫外193nm增透膜的制备方法。制备方法的镀膜材料为氟化镧和氟化镁，采用热电阻蒸发材料的方式进行镀膜，镀膜基底采用的是高纯度熔融JGS1石英玻璃。采用了高纯度熔融JGS1石英玻璃，此种基板机械强度高表面易于处理，可做成高精抛光表面，减少基板界面的散射，整体提高了紫外193nm增透膜的透过率，降低了193nm处的损耗，提高了光刻机的能量传输效率。
一种紫外 193 nm 增透膜制备方法

[发明专利]一种高稳定性薄膜监控方法及镀膜装置-CN202110188380.6在审
发明人： 鲍刚华;林兆文 -专利权人：上海米蜂激光科技有限公司
申请日： 2021-02-19 - 公布日： 2021-03-26 - 主分类号： C23C14/54 文献下载
摘要：本发明提供了一种高稳定性薄膜监控方法及镀膜装置，该方法包括：在镀膜机伞架上的至少三点位置设置膜厚监控系统，得到至少三个瞬时膜厚数据；将该至少三个瞬时膜厚数据代入膜厚分布公式中，求得材料蒸发特性参数n；通过监控该材料蒸发特性参数n值的变化，对薄膜厚度进行监控并实时修正。本发明能够在薄膜批量生产过程中，得到均匀性良好、重复性高，稳定性好的光学薄膜，有效提高高精度镀膜的良品率。
一种稳定性薄膜监控方法镀膜装置

[实用新型]一种热蒸发镀膜用旋转非球面夹具-CN202020245494.0有效
发明人： 鲍刚华;卢成;陆斌;王伟;王健平 -专利权人：成都国泰真空设备有限公司
申请日： 2020-03-03 - 公布日： 2020-11-24 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种热蒸发镀膜用旋转非球面夹具，所述非球面夹具的内腔结构包括平面状的顶面及顶面边缘向外呈弧状延伸形成的坡面，且顶面与坡面平滑过渡呈一体成型结构，应用于镀膜机上，在进行镀膜时不依靠专门的膜厚修正系统，仅通过将现有的旋转球面夹具改成本旋转非球面夹具，即可使镀膜机的膜厚分布均匀性满足实际生产需要。
一种蒸发镀膜旋转球面夹具

[实用新型]一种双电子枪挡板装置-CN202020249419.1有效
发明人： 鲍刚华;曹恒博;卢成;张勇军;王伟;韩超 -专利权人：成都国泰真空设备有限公司
申请日： 2020-03-04 - 公布日： 2020-09-04 - 主分类号： C23C14/30 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种双电子枪挡板装置，包括驱动装置、传动机构及电子枪防污罩，所述电子枪防污罩包括挡板销轴（2）及设置在挡板销轴（2）上的两个挡板（1），所述挡板销轴（2）配合在传动机构上，驱动装置与传动机构作动配合；解决现有技术采用单挡板设计结构由于挡板过脏掉渣引起电子枪打火和产品外观不良的不足之处，能够有效避免由于掉渣而引起的电子枪打火的现象发生，同时也能够有效的避免出现产品外观不良的情况发生。
一种电子枪挡板装置

[发明专利]一种有效改善硫系玻璃镀膜膜层牢固度问题的镀膜工艺-CN202010142196.3在审
发明人： 鲍刚华;罗云峰;卢成;王伟;张勇军 -专利权人：成都国泰真空设备有限公司
申请日： 2020-03-04 - 公布日： 2020-05-29 - 主分类号： C23C14/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种有效改善硫系玻璃镀膜膜层牢固度问题的镀膜工艺，采用真空室进行硫系玻璃的镀膜加工，熔料开始前真空室在120~130℃，条件下恒温不小于30min，且在进行离子源清洗硫系玻璃基底和离子源助镀过渡层薄膜时离子能量参数皆为电压240‑280V，电流7‑10A，镀膜结束后采用阶梯降温的方式冷却，在进行镀膜时，不改变薄膜膜系结构的基础上对参数的优化来解决硫系玻璃易脱膜这一问题。
一种有效改善玻璃镀膜牢固问题工艺

[发明专利]一种修正石英监控法制备宽带增透膜沉积误差的方法-CN201710944000.0有效
发明人：程鑫彬;王占山;董思禹;焦宏飞;鲍刚华;张锦龙 -专利权人：同济大学
申请日： 2017-09-30 - 公布日： 2020-04-28 - 主分类号： G02B27/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种修正石英监控法制备宽带增透膜沉积误差的方法，该方法包括以下步骤：1)设计监控厚度，制备一四层膜系，该四层膜系包括由高折射率材料制成的两种厚度的两层薄膜和由低折射率材料制成的两种厚度的两层薄膜；2)通过对制备的四层膜系的逆向反演及线性拟合，获得高折射率材料和低折射率材料的薄膜厚度偏差；3)以相同材料的所述薄膜厚度偏差对待制备的宽带增透膜的镀膜参数进行修正。与现有技术相比，本发明可以有效地修正沉积误差并提高光谱性能、操作简单且普适性强，使得宽带增透膜可以在实际中广泛生产。
一种修正石英监控法制宽带增透膜沉积误差方法

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