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[发明专利]一种温度、压力、声学集成MEMS水下传感器及系统-CN202010994791.X有效
发明人：朱晓枭;周瑜;魏晓村;谢奕;李成豪;陈晓奇;冯杰;刘云飞 -专利权人：中国电子科技集团公司第三研究所
申请日： 2020-09-21 - 公布日： 2022-08-16 - 主分类号： G01D21/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种温度、压力、声学集成MEMS水下传感器及系统，包括声矢量敏感单元、声压敏感单元、压力敏感单元、温度敏感单元，所述声矢量敏感单元、声压敏感单元设置于第一载板顶面，所述压力敏感单元、温度敏感单元设置于第一载板底面；其中，位于第一载板顶面的声矢量敏感单元、声压敏感单元通过透声帽封装，位于第一载板底面的压力敏感单元、温度敏感单元通过金属壳体封装。本发明能够实现温度、压力、声学敏感单元的集成，实现水下温度、压力、声学检测。
一种温度压力声学集成 mems 水下传感器系统

[发明专利]一种宽响应频带的质点振速传感器-CN202010730186.1有效
发明人：谢奕;周瑜;魏晓村;冯杰;刘云飞 -专利权人：中国电子科技集团公司第三研究所
申请日： 2020-07-27 - 公布日： 2022-06-28 - 主分类号： G01H11/06 文献下载
摘要：本发明涉及一种宽响应频带的质点振速传感器，包括敏感单元，所述敏感单元由多个敏感子单元组成，每个敏感子单元用于采集相应频段的声音信号；包括信号调理单元，所述信号调理单元用于对敏感单元输出的电信号进行放大，并对各敏感子单元输出的电信号进行合成。本发明能够在保证信噪比和灵敏度的前提下，实现宽频带响应。
一种响应频带质点传感器

[发明专利]低频MEMS矢量传声器及其制备方法-CN202111263128.3在审
发明人： 魏晓村;刘云飞;周瑜;冯杰 -专利权人：中国电子科技集团公司第三研究所
申请日： 2021-10-28 - 公布日： 2022-02-25 - 主分类号： H04R19/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种低频MEMS矢量传声器及其制备方法，低频MEMS矢量传声器包括：敏感层、结构层和基底，其中，敏感层包括多组电极和电阻，结构层为细丝结构层且用于支撑敏感层，基底的正面用于支撑结构层，基底的正面形成有内凹的拾音槽，敏感层和结构层的至少部分覆盖于拾音槽的上方，拾音槽的深度为H1，预设低频声场在拾音槽槽壁的边界层厚度为H2，满足：H1＞H2。根据本发明公开的低频MEMS矢量传声器，增加悬空细丝的悬空高度，使其超出基底边界层高度，减少基底边界处切变粘滞效应对声场质点振速影响，提高低频MEMS矢量传声器低频段灵敏度。
低频 mems 矢量传声器及其制备方法

[发明专利]一种MEMS矢量传声器及其制备方法-CN202110680456.7在审
发明人： 魏晓村;刘云飞;周瑜;冯杰 -专利权人：中国电子科技集团公司第三研究所
申请日： 2021-06-18 - 公布日： 2021-10-26 - 主分类号： G01H11/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种MEMS矢量传声器及其制备方法，该MEMS矢量传声器包括：基底、绝热层、导热层和敏感层；其中，所述敏感层包括：电极、加热电阻和传感电阻；在所述基底顶部开设有前后贯通的凹槽，以在所述基底的左右两侧形成两个凸台；所述绝热层分别布置在所述两个凸台上，且在所述绝热层上布置有所述电极；所述导热层被所述绝热层支撑，以悬空在所述凹槽上；所述加热电阻和传感电阻布置在所述导热层上，且所述加热电阻和传感电阻的两端分别与所述电极连接；本发明解决了现有MEMS矢量传声器因在低频和高频频带内响应特性衰减而引起的声信号在接收和后续处理上产生严重失真的技术问题。
一种 mems 矢量传声器及其制备方法

[发明专利]一种质点振速传感器的防风微封装装置-CN202110667538.8在审
发明人：谢奕;刘云飞;周瑜;冯杰;魏晓村 -专利权人：中国电子科技集团公司第三研究所
申请日： 2021-06-16 - 公布日： 2021-09-03 - 主分类号： G01H11/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种质点振速传感器的防风微封装装置，本发明通过防风微封装结构中的第一通道、第二通道与透气孔结构整体构成声音通路，通过第一通道对目标声信号进行汇聚和放大，并通过设置在第二通道内的质点振速传感器来对目标声信号进行探测，以降低风噪声对质点振速传感器的影响。
一种质点传感器防风封装装置

[发明专利]一种三轴集成MEMS矢量水听器及系统-CN202011146524.3在审
发明人：朱晓枭;周瑜;魏晓村;谢奕;李成豪;冯杰;刘云飞 -专利权人：中国电子科技集团公司第三研究所
申请日： 2020-10-23 - 公布日： 2021-02-02 - 主分类号： G01H3/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种三轴集成MEMS矢量水听器及系统，包括MEMS声矢量传感器，其特征在于：还包括集成模块体，3个MEMS声矢量传感器分别设置于所述集成模块体的3个侧面，3个MEMS声矢量传感器的敏感方向相互垂直，呈三轴分布。本发明能够有效解决三轴集成时三轴性能不一致问题，提高检测准确性。
一种集成 mems 矢量水听器系统

[发明专利]一种光纤传声器及其敏感结构及制备方法-CN202010265017.5在审
发明人：刘云飞;周瑜;冯杰;魏晓村;王坤博 -专利权人：中国电子科技集团公司第三研究所
申请日： 2020-04-07 - 公布日： 2020-07-28 - 主分类号： H04R23/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种光纤传声器及其敏感结构及制备方法，硅衬底上形成桥孔结构，在桥孔结构的上方设有敏感振膜和透气障板，敏感振膜位于透气障板的上方，敏感振膜与透气障板平行设置。本发明通过透气障板可实现对传声器振动系统压膜阻尼的调节，从而通过阻尼大小的调节而改变敏感振膜高频振动特性，有效提升传声器工作频率上限，解决现有光纤传声器无法同时实现较高灵敏度和更宽频响范围的问题。
一种光纤传声器及其敏感结构制备方法

[发明专利]一种光纤传声器探头及光纤传声器系统-CN201711134181.7有效
发明人：周瑜;王坤博;魏晓村;刘超;马宁 -专利权人：中国电子科技集团公司第三研究所
申请日： 2017-11-16 - 公布日： 2020-04-07 - 主分类号： H04R23/00 文献下载
摘要：本发明实施例提供的光纤传声器探头及光纤传声器系统，通过采用材质为含有SiO2的组合物的膜片，且该膜片采用波纹结构，释放了膜片的应力及增加了膜片的弹性系数，在谐振频率不降低的前提下，提高了灵敏度及扩大了频响范围，解决了现有光纤传声器探头存在的无法同时实现较高灵敏度和较宽频响的问题。
一种光纤传声器探头系统

[发明专利]一种光纤传声器阵列系统-CN201711232923.X有效
发明人：王坤博;周瑜;刘超;魏晓村;马春宇 -专利权人：中国电子科技集团公司第三研究所
申请日： 2017-11-30 - 公布日： 2019-12-24 - 主分类号： H04R23/00 文献下载
摘要：本发明提供的光纤传声器阵列系统，包括：发射模块、光纤传声器探头、接收模块及信号解调模块，通过在发射模块中设置第一波分复用器、在接收模块中设置第三波分复用器，在发射模块与光纤传声器探头阵列之间设置第二波分复用器，基于时分波分混合复用技术，提高了该光纤传声器阵列的灵敏度、降低了传输损耗及提升了抗电磁干扰能力，解决了现有传声器阵列中灵敏度低、信号传输损耗大、抗电磁干扰能力差的问题。
一种光纤传声器阵列系统

[发明专利]一种无振膜光纤激光传声器-CN201711461692.X在审
发明人：刘超;周瑜;王坤博;魏晓村;王勇;马春宇 -专利权人：中国电子科技集团公司第三研究所
申请日： 2017-12-28 - 公布日： 2018-06-15 - 主分类号： H04R23/00 文献下载
摘要：一种无振膜光纤激光传声器，包括泵浦源、波分复用器、光纤布拉格光栅、掺杂光纤、法布里‑珀罗标准具和输出光纤，所述泵浦源的输出端与波分复用器的第一端口连接，波分复用器的第二端口依次与光纤布拉格光栅、掺杂光纤和法布里‑珀罗标准具顺序连接，波分复用器的第三端口与输出光纤连接。该无振膜光纤激光传声器采用光纤激光谐振腔，控制光纤布拉格光栅与法布里‑珀罗标准具的温度系数保持相同，使得光纤布拉格光栅中心波长和法布里‑珀罗标准具的谐振波长随温度变化保持协同漂移，保持光纤激光传声器灵敏度不变，具有结构简单、稳定性好、频响范围宽等优点，适用于语音通讯和声探测等领域。 1
光纤激光波分复用器标准具法布里光纤布拉格光栅传声器振膜掺杂光纤泵浦源漂移传声器灵敏度输出光纤连接布拉格光栅端口连接控制光纤输出光纤顺序连接温度系数谐振波长语音通讯中心波长输出端谐振腔频响和声探测协同

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