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[发明专利]一种双片晶圆镀膜夹具-CN202111298590.7在审
发明人：王殿;魏宇祥;常志 -专利权人：西北电子装备技术研究所（中国电子科技集团公司第二研究所）
申请日： 2021-11-04 - 公布日： 2022-03-18 - 主分类号： C25D17/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种双片晶圆镀膜夹具，解决了现有晶圆镀膜夹具存在的容易导致降低晶圆镀膜成品率的技术问题。采用一夹具双晶圆设计思路，在两夹具板的外侧面分别设置晶圆嵌入凹槽和导电盘，将预电镀镀膜的晶圆设置在导电盘中，在导电盘与导电板之间设置大尺寸的可伸缩导电针，大尺寸的可伸缩导电针顶接在导电盘上，使导电板、大尺寸的可伸缩导电针和导电盘，组成晶圆镀膜的一个供电电极；在夹具盖板环的内圆上，沿径向方向，等间隔设置径向凸起，用径向凸起限位晶圆，在径向凸起中设置小尺寸的可伸缩导电针，小尺寸的可伸缩导电针顶接在晶圆的镀膜面上，组成晶圆镀膜的另一个供电电极；本发明整体结构紧凑，夹具体积小，实现对两片晶圆片进行镀膜。
一种双片晶圆镀膜夹具

[实用新型]可实现双片晶圆同槽同步镀膜的电镀槽体-CN202023136125.7有效
发明人：王殿;魏宇祥;王海军;郝鹏飞 -专利权人：西北电子装备技术研究所（中国电子科技集团公司第二研究所）
申请日： 2020-12-23 - 公布日： 2021-12-21 - 主分类号： C25D17/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种可实现双片晶圆同槽同步镀膜的电镀槽体，解决了如何设置有效的镀液搅拌机构以提高两个晶圆镀膜一致性的问题。在左晶圆挂具（4）正下方的箱形电镀槽体（1）的槽底面上，设置有左搅拌桨摆板铰接轴（20）和左搅拌桨摆板（19），在右晶圆挂具（5）正下方的箱形电镀槽体（1）的槽底面上，设置有右搅拌桨摆板铰接轴（12）和右搅拌桨摆板（13），在左搅拌桨摆板（19）的顶端面右后端，设置有左连杆（18），在右搅拌桨摆板（13）的顶端面左后端，设置有右连杆（14），在翘翘板摆臂（15）的正后方的箱形电镀槽体（1）的后侧板上设置有轴承（16）和驱动轴（17）。本发明实现了双片晶圆同槽同步镀膜的工艺要求。
实现双片晶圆同步镀膜电镀

[实用新型]晶圆水平镀膜喷杯中搅拌镀液的旋转剪切机构-CN202023136137.X有效
发明人：王殿;魏宇祥;孟超;杜斌;郝鹏飞 -专利权人：西北电子装备技术研究所（中国电子科技集团公司第二研究所）
申请日： 2020-12-23 - 公布日： 2021-12-21 - 主分类号： C25D17/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆水平镀膜喷杯中搅拌镀液的旋转剪切机构，解决了现有镀槽结构不合理容易导致晶圆镀膜质量不高的问题。将传统的焊接结构的喷杯的杯体结构，改变为块式组装式结构，通过对块式结构的精准加工，提高了关键配合面的安装精度，将各杯体块，通过密封垫及连接销连接在一起，组成密闭杯体，即减小了杯腔的体积，又提高了阴极与阳极的平行度；在杯腔中设置镀液搅拌从动齿圈，在镀液搅拌从动齿圈的内圆上对称设置两个径向凸块，在径向凸块上分别设置可自转的镀液剪切齿轮，在镀液剪切齿轮上设置镀液剪切叶，通过两个镀液剪切叶的自转，以及两个镀液剪切叶随镀液搅拌从动齿圈的公转，实现对镀液的充分搅拌，从而提高镀膜质量。
水平镀膜喷杯中搅拌旋转剪切机构

[实用新型]一种晶圆水平镀膜喷杯的杯体结构-CN202023148961.7有效
发明人：王殿;郝鹏飞;魏宇祥;王海军;吕麒鹏 -专利权人：西北电子装备技术研究所（中国电子科技集团公司第二研究所）
申请日： 2020-12-23 - 公布日： 2021-12-21 - 主分类号： C25D17/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆水平镀膜喷杯的杯体结构，解决了现有镀槽结构不合理容易导致晶圆镀膜质量不高的问题。将传统的焊接结构的喷杯的杯体结构，改变为块式组装式结构，通过对块式结构的精准加工，提高了关键配合面的安装精度，将各杯体块，通过密封垫及连接销连接在一起，组成密闭杯体，即减小了杯腔的体积，又提高了阴极与阳极的平行度；在杯腔中设置镀液搅拌从动齿圈，在镀液搅拌从动齿圈的内圆上对称设置两个径向凸块，在径向凸块上分别设置可自转的镀液剪切齿轮，在镀液剪切齿轮上设置镀液剪切叶，通过两个镀液剪切叶的自转，以及两个镀液剪切叶随镀液搅拌从动齿圈的公转，实现对镀液的充分搅拌，从而提高镀膜质量。
一种水平镀膜结构

[发明专利]晶圆水平镀膜喷杯中搅拌镀液的旋转剪切机构-CN202011546086.X在审
发明人：王殿;魏宇祥;孟超;杜斌;郝鹏飞 -专利权人：西北电子装备技术研究所（中国电子科技集团公司第二研究所）
申请日： 2020-12-23 - 公布日： 2021-04-06 - 主分类号： C25D17/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆水平镀膜喷杯中搅拌镀液的旋转剪切机构，解决了现有镀槽结构不合理容易导致晶圆镀膜质量不高的问题。将传统的焊接结构的喷杯的杯体结构，改变为块式组装式结构，通过对块式结构的精准加工，提高了关键配合面的安装精度，将各杯体块，通过密封垫及连接销连接在一起，组成密闭杯体，即减小了杯腔的体积，又提高了阴极与阳极的平行度；在杯腔中设置镀液搅拌从动齿圈，在镀液搅拌从动齿圈的内圆上对称设置两个径向凸块，在径向凸块上分别设置可自转的镀液剪切齿轮，在镀液剪切齿轮上设置镀液剪切叶，通过两个镀液剪切叶的自转，以及两个镀液剪切叶随镀液搅拌从动齿圈的公转，实现对镀液的充分搅拌，从而提高镀膜质量。
水平镀膜喷杯中搅拌旋转剪切机构

[发明专利]可实现双片晶圆同槽同步镀膜的电镀槽体-CN202011546085.5在审
发明人：王殿;魏宇祥;王海军;郝鹏飞 -专利权人：西北电子装备技术研究所（中国电子科技集团公司第二研究所）
申请日： 2020-12-23 - 公布日： 2021-03-19 - 主分类号： C25D17/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种可实现双片晶圆同槽同步镀膜的电镀槽体，解决了如何设置有效的镀液搅拌机构以提高两个晶圆镀膜一致性的问题。在左晶圆挂具（4）正下方的箱形电镀槽体（1）的槽底面上，设置有左搅拌桨摆板铰接轴（20）和左搅拌桨摆板（19），在右晶圆挂具（5）正下方的箱形电镀槽体（1）的槽底面上，设置有右搅拌桨摆板铰接轴（12）和右搅拌桨摆板（13），在左搅拌桨摆板（19）的顶端面右后端，设置有左连杆（18），在右搅拌桨摆板（13）的顶端面左后端，设置有右连杆（14），在翘翘板摆臂（15）的正后方的箱形电镀槽体（1）的后侧板上设置有轴承（16）和驱动轴（17）。本发明实现了双片晶圆同槽同步镀膜的工艺要求。
实现双片晶圆同步镀膜电镀

[发明专利]一种晶圆水平镀膜喷杯的杯体结构-CN202011546087.4在审
发明人：王殿;郝鹏飞;魏宇祥;王海军;吕麒鹏 -专利权人：西北电子装备技术研究所（中国电子科技集团公司第二研究所）
申请日： 2020-12-23 - 公布日： 2021-03-19 - 主分类号： C25D17/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆水平镀膜喷杯的杯体结构，解决了现有镀槽结构不合理容易导致晶圆镀膜质量不高的问题。将传统的焊接结构的喷杯的杯体结构，改变为块式组装式结构，通过对块式结构的精准加工，提高了关键配合面的安装精度，将各杯体块，通过密封垫及连接销连接在一起，组成密闭杯体，即减小了杯腔的体积，又提高了阴极与阳极的平行度；在杯腔中设置镀液搅拌从动齿圈，在镀液搅拌从动齿圈的内圆上对称设置两个径向凸块，在径向凸块上分别设置可自转的镀液剪切齿轮，在镀液剪切齿轮上设置镀液剪切叶，通过两个镀液剪切叶的自转，以及两个镀液剪切叶随镀液搅拌从动齿圈的公转，实现对镀液的充分搅拌，从而提高镀膜质量。
一种水平镀膜结构

[发明专利]活塞环电镀生产线的自动上下料及储料机构-CN201811615879.5有效
发明人：靳志强;郝鹏飞;段修全;魏宇祥;孟超;王海军;王殿;孙德全 -专利权人：中国电子科技集团公司第二研究所
申请日： 2018-12-27 - 公布日： 2020-09-15 - 主分类号： C25D7/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种活塞环电镀生产线的自动上下料及储料机构，解决了如何缩短上下穿接芯棒电镀件的时间成为提升全自动化生产效率的问题。在储料基座（38）沿左右水平方向彼此平行地设置有下料传送及储存架（39）和上料传送及储存架（40），在下料传送及储存架的左侧设置有立柱式箱形框架（1），在立柱式箱形框架（1）的后部正上方设置有活塞环电镀工件空中接应传送吊钩，在上料传送及储存架顶面左端架设有转接提升框架（32），在立柱式箱形框架（1）中活动设置吊笼（8），在吊笼，中活动设置有升降轿箱（17），在升降轿箱（17）中设置有穿接有一摞预电镀活塞环（25）的电镀活塞环穿接芯棒（24）。提高了活塞环电镀全自动化生产的效率。
活塞环电镀生产线自动上下料及机构

[发明专利]活塞环电镀生产线的自动上下料及储料方法-CN201811615878.0有效
发明人：靳志强;郝鹏飞;段修全;魏宇祥;孟超;王海军;王殿;孙德全 -专利权人：中国电子科技集团公司第二研究所
申请日： 2018-12-27 - 公布日： 2020-08-14 - 主分类号： C25D7/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种活塞环电镀生产线的自动上下料及储料方法，解决了如何缩短上下穿接芯棒电镀件的时间成为提升全自动化生产效率的问题。在储料基座（38）沿左右水平方向彼此平行地设置有下料传送及储存架（39）和上料传送及储存架（40），在下料传送及储存架的左侧设置有立柱式箱形框架（1），在立柱式箱形框架（1）的后部正上方设置有活塞环电镀工件空中接应传送吊钩，在上料传送及储存架顶面左端架设有转接提升框架（32），在立柱式箱形框架（1）中活动设置吊笼（8），在吊笼，中活动设置有升降轿箱（17），在升降轿箱（17）中设置有穿接有一摞预电镀活塞环（25）的电镀活塞环穿接芯棒（24）。提高了活塞环电镀全自动化生产的效率。
活塞环电镀生产线自动上下料及方法

[发明专利]活塞环电镀垂直上料机构-CN201811615880.8在审
发明人：靳志强;郝鹏飞;段修全;魏宇祥;孟超;王海军;王殿;孙德全 -专利权人：中国电子科技集团公司第二研究所
申请日： 2018-12-27 - 公布日： 2019-03-29 - 主分类号： B65G49/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种活塞环电镀垂直上料机构，如何利用单送料通道同时完成上料和下料任务的问题。包括立柱式箱形框架（1）、吊笼（8）、升降轿箱（17）和活塞环电镀穿接芯棒（24），吊笼（8）活动设置在立柱式箱形框架（1）中，在立柱式箱形框架（1）的顶端面上设置有前后移动导轨（2），吊笼（8）通过前后移动滑块（3）活动设置在前后移动导轨（2）上；升降轿箱（17）活动设置在吊笼（8）中，在升降轿箱（17）的顶端面上设置有U形支口（21），在升降轿箱（17）的右侧板上设置有供电镀活塞环穿接芯棒水平移入移出的门洞（27），在升降轿箱（17）中设置有穿接有一摞预电镀活塞环（25）的电镀活塞环穿接芯棒（24）。结构简单稳定。
活塞环电镀轿箱升降穿接吊笼活动设置箱形框架立柱式芯棒前后移动导轨上料机构垂直前后移动滑块送料通道水平移右侧板门洞上料下料移出支口供电

[实用新型]一种复合镀铬液槽体-CN201820587234.4有效
发明人：段修全;靳志强;魏宇祥 -专利权人：南京飞燕活塞环股份有限公司
申请日： 2018-04-23 - 公布日： 2018-12-14 - 主分类号： C25D17/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种复合镀铬液槽体，包括聚偏氟乙烯层、玻璃钢层、方管、外包板和槽沿，所述聚偏氟乙烯层的一面作为槽体与液体接触的一面，另一面由内向外，依次结合有玻璃钢层、方管和外包板，方管缠绕包在玻璃钢层表面，外包板与聚偏氟乙烯层和玻璃钢层平行设置，将方管包裹在玻璃钢层和外包板中间，形成密闭空间；所述槽沿紧密搭接在聚偏氟乙烯层、玻璃钢层和外包板的顶端，并且两端向下垂直弯曲与聚偏氟乙烯层和玻璃钢层的表面紧密接触。相对于现有技术，本实用新型复合镀铬液槽体能够保证槽体的防腐性能和结构强度，以及保证槽体在长期使用过程中无开裂、渗漏等问题。总之，能够保证槽体在含氟的强腐蚀性镀液下的可靠性和使用寿命。
槽体玻璃钢层聚偏氟乙烯层外包板方管复合镀铬液本实用新型槽沿玻璃钢层表面防腐性能密闭空间平行设置强腐蚀性使用寿命向下垂直液体接触由内向外保证搭接镀液含氟渗漏缠绕

[发明专利]一种用于光纤光栅粘贴的辅助装置-CN201510612374.3有效
发明人：陈涛;刘士华;方亮;李瑞亚;魏宇祥;伍晓媛;刘丹丹 -专利权人：武汉理工大学
申请日： 2015-09-22 - 公布日： 2018-09-11 - 主分类号： G02B6/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于光纤光栅粘贴的辅助装置，包括光纤光栅导向架、预紧力显示器、预紧力传感器、导向架左支夹紧机构、导向架右支夹紧机构、预紧力螺旋加载机构、胶层长度厚度控制机构，光纤光栅导向架由导向架左支和导向架右支构成一环形整体结构，导向架左支上开设光纤光栅导向槽，导向架右支的外侧均布设有导向架右支光纤光栅导向轮；导向架左支夹紧机构安装在导向架左支上，导向架右支夹紧机构安装在导向架右支上；预紧力传感器安装在导向架右支夹紧机构与预紧力螺旋加载机构之间。本发明便于光纤光栅的粘贴，实现预紧力的准确施加和光纤光栅粘贴胶层长度厚度的控制；导向架右支和导向架左支采用圆弧形设计，减小装置体积并起到导向作用。
一种用于光纤光栅粘贴辅助装置

[实用新型]一种适用于高转速浮动轴的轴封装置-CN201520424773.2有效
发明人：陈涛;魏宇祥;刘士华 -专利权人：武汉理工大学
申请日： 2015-06-18 - 公布日： 2015-12-02 - 主分类号： F16C33/78 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种适用于高转速浮动轴的轴封装置，包括浮动轴、轴套、密封轴承和轴承端盖，浮动轴上通过轴套套设有密封轴承，密封轴承安装在箱体壁内；密封轴承包括轴承内圈、轴承外圈，以及设置在两端的第一密封圈和第二密封圈，轴承内圈的右端端面开设有环形的凹槽；所述密封轴承右端与箱体壁之间设置有压紧轴承外圈的第一密封垫，第一密封垫上设置有凸缘，凸缘与凹槽相配合；轴承外圈的左端设置有第二密封垫，轴承端盖为环形，浮动轴穿过轴承端盖；轴承端盖通过螺钉与箱体壁连接，压紧第二密封垫。本实用新型的第一密封垫上的凸缘与轴承内圈的凹槽相配合，多处密封，密封效果好，能够有效避免润滑油脂泄漏。
一种适用于转速浮动轴封装置

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