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[发明专利]一种用于晶圆检测的超360度旋转平台设备及其操作方法-CN202211082510.9有效
发明人：俞胜武;陈剑;高为达;戴丹蕾 -专利权人：无锡卓海科技股份有限公司
申请日： 2022-09-06 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： G01R31/26 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于晶圆检测的超360度旋转平台设备，包括旋转平台，所述旋转平台上表面通过支架安装有支撑组件，支撑组件的顶部为晶圆载盘，晶圆载盘通过旋转电机驱动，晶圆载盘吸附待检测的晶圆，晶圆载盘的底部设置有一号撞条；位于一号撞条一旁的旋转平台上安装有超360度补偿组件，所述超360度补偿组件上设置有二号撞条，所述二号撞条的一端与一号撞条对应，还包括控制旋转电机和超360度补偿组件是否工作的控制器。本发明结构紧凑、合理，操作方便，通过旋转平台、晶圆载盘、超360度补偿组件、控制器等部件的互相配合工作，可以方便的完成晶圆上每个角度测量点的检测工作，大大提高了晶圆检测结果的准确性，保证了检测精度。
一种用于检测 360 旋转平台设备及其操作方法

[发明专利]一种晶圆载台与机械臂的平行度调节结构及调节方法-CN202310332211.4有效
发明人：陈剑;俞胜武;高为达;戴丹蕾 -专利权人：无锡卓海科技股份有限公司
申请日： 2023-03-31 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： B25J19/00 文献下载
摘要：本发明公开一种晶圆载台与机械臂的平行度调节结构及调节方法。其中晶圆载台与机械臂的平行度调节结构包括基板，基板上设置有晶圆载台和横移驱动件，晶圆载台上放置有调平块，横移驱动件位于晶圆载台的一侧，且横移驱动件的活动端设置有转接板，转接板上设置有第一调节块，第一调节块上转动连接有第二调节块，第二调节块上转动连接有固定板，固定板上设置有升降驱动件，升降驱动件的活动端设置有延伸至晶圆载台上方的机械臂，通过调节第二调节块相对于第一调节块的转动角度、固定板相对于第二调节块的转动角度，使得机械臂的姿态可调，当机械臂的下表面与调平块完全贴合时，机械臂与晶圆载台平行。
一种晶圆载台机械平行调节结构方法

[实用新型]一种螺旋旋转限位装置-CN202222805192.6有效
发明人：俞胜武;陈剑;高为达;戴丹蕾 -专利权人：无锡卓海科技股份有限公司
申请日： 2022-10-24 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：一种螺旋旋转限位装置，包括工作平台，其上表面中间位置通过支架安装有支撑组件，支撑组件的顶面安装有旋转盘，支撑组件的一侧固定有旋转电机，旋转电机的输出端通过传动部件连接旋转轴，旋转轴与旋转盘连接，控制旋转盘转动；位于旋转盘的底面安装有螺旋导轨，位于工作平台的上表面还固定安装有并排的传感器固定座和直线导轨固定座，传感器固定座上设置有上下间隔的上激光传感器和下激光传感器，直线导轨固定座上通过直线导轨安装滑块，所述滑块上固定限位轴，限位轴伸入至螺旋导轨中，随着螺旋导轨一同转动，限位轴的跟动带动滑块沿着直线导轨上下滑动，上下滑动的极限位置被上激光传感器和下激光传感器触发控制，工作可靠，保证测量精度。
一种螺旋旋转限位装置

[实用新型]一种圆弧型旋转限位机构-CN202222803085.X有效
发明人：俞胜武;陈剑;高为达;戴丹蕾 -专利权人：无锡卓海科技股份有限公司
申请日： 2022-10-24 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种圆弧型旋转限位机构，包括底座，所述底座的上表面中间位置一体式连接有支架，支架的顶部为支撑件，所述支撑件的一侧安装旋转电机，所述旋转电机的输出端通过传动组件安装旋转轴，所述旋转轴上安装吸盘，位于吸盘的底部设置有与吸盘底面垂直的限位杆；所述底座上安装有固定座，所述固定座的顶部设置有台阶，在台阶面处设置有圆弧导轨，所述圆弧导轨上配合安装有圆弧滑块，所述圆弧滑块的顶面固定有限位座，所述限位座与限位杆配合抵接，限位杆推动限位座沿着圆弧导轨滑动，使平台能够旋转满360度后再回到原点，且平台无论正转、反转时都能起到保护作用。
一种圆弧旋转限位机构

[实用新型]一种超360度旋转的旋转平台测试装置-CN202222367167.4有效
发明人：俞胜武;陈剑;高为达;戴丹蕾 -专利权人：无锡卓海科技股份有限公司
申请日： 2022-09-06 - 公布日： 2023-02-21 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种超360度旋转的旋转平台测试装置，包括工作台，所述工作台的中部通过电机驱动安装有晶圆承载盘，晶圆承载盘吸附待检测的晶圆，晶圆承载盘的下表面垂直方向设置有一号撞条，位于一号撞条一旁的工作台上安装有超360度限位开关，所述超360度限位开关上前后端设置有对称的二号撞条，超360度限位开关的前端面设置有对称的光电传感器，所述光电传感器上设置有凹槽，所述二号撞条的后端与一号撞条对应，所述二号撞条的前端与凹槽对应，还包括控制器，所述控制器与电机和光电传感器电信号连接。提高了晶圆检测结果的准确性，保证了检测精度。
一种 360 旋转平台测试装置

[发明专利]薄膜电阻自动测量系统及方法-CN202210861180.7在审
发明人：俞胜武;陈剑;戴丹蕾;刘明东;高为达 -专利权人：无锡卓海科技股份有限公司
申请日： 2022-07-20 - 公布日： 2022-11-01 - 主分类号： G01R27/08 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种薄膜电阻自动测量系统及方法，通过晶圆搬运模块，用于控制机械臂，将待测量晶圆从晶圆存放处搬运至晶圆平台的特定位置；晶圆电阻测量模块，用于控制探针臂带动探针从晶圆边界处沿半径方向直线移动，对晶圆进行逐点电阻测量。本发明能够实现晶圆从搬运到测量的全自动化流程，提高测量效率，节约人力成本。
薄膜电阻自动测量系统方法

[发明专利]一种混合气体比例分析装置-CN202010578274.4在审
发明人：沈燕;朱捷;高为达 -专利权人：康姆德润达（无锡）测量技术有限公司
申请日： 2020-06-23 - 公布日： 2021-12-24 - 主分类号： G01N33/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种混合气体比例分析装置，包括便携式箱体、用户界面和内部功能模块，内部功能模块设置在便携式箱体内，内部功能模块内的调压阀一端通过气管连接用户界面的进气口，调压阀的另一端通过气管依次连接过滤器、管路三通，管路三通的另两端出气口分别连接双组份气体分析仪的进气口和压力传感器，压力传感器与双组份气体分析仪进行数据传输，双组份气体分析仪的的出气口连接电磁阀，电磁阀的控制端分别连接时间继电器和用户界面的手动自动切换开关，该分析仪方便对高压断路器内充入气体比例的检测，保证检测结果准确，减少了断路器内SF6/CF4的排出，减少了对环境的危害。
一种混合气体比例分析装置

[实用新型]一种台上机械臂-CN202022990984.6有效
发明人： 高为达;沈燕;孙雷 -专利权人：康姆德润达（无锡）测量技术有限公司
申请日： 2020-12-14 - 公布日： 2021-10-29 - 主分类号： B25J18/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种台上机械臂，包括机械臂、支架，所述支架包括固定板、下固定座和上固定座，所述固定板的两端分别固定在下固定座和上固定座上，所述下固定座可旋转，所述固定板上垂直设有丝杆，所述机械臂通过旋转螺母固定在丝杆上，所述丝杆的顶端通过轴承座固定在上固定座上，所述上固定座上固定有电机，所述电机连接丝杆的顶端，将机械臂大部分器件都改到台上，可以大大减少台下的占用面积，丝杆总体需要带动的质量大大减少，对电机要求低，电机功率小，响应速度快；不易损坏，运行更稳定，比常规的台下结构，维修更方便省力。
一种台上机械

[实用新型]一种稳定的气体流量控制系统-CN202022295483.6有效
发明人：沈燕;葛安琪;高为达 -专利权人：康姆德润达（无锡）测量技术有限公司
申请日： 2020-10-15 - 公布日： 2021-06-18 - 主分类号： G05D7/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种稳定的气体流量控制系统，包括滤膜夹持装置、小孔流量计模块、真空抽气泵、控制器，滤膜夹持装置包括可夹持滤膜的滤膜夹，滤膜夹持装置下端通过转换接口和小孔流量计模块的前端相连接，小孔流量计模块的后端通过管路和真空抽气泵相连接，控制器的使能控制接口和模拟量输出接口通过控制线与真空抽气泵的控制端口连接；小孔流量计模块包括前端软管接口和后端软管接口，前端软管接口和后端软管接口分别通过前端管道和后端管道连接控制器的两个软管压力输入接口，该系统设计在普通流量计的基础上做了升级，不再需要依靠人为观察和进行手工调节，可以根据现场环境自动对真空抽气泵的输出进行调节，保证流量的稳定性。
一种稳定气体流量控制系统

[实用新型]一种带RFID的单电机换膜装置-CN202020889135.9有效
发明人：沈燕;高为达;葛安琪 -专利权人：康姆德润达（无锡）测量技术有限公司
申请日： 2020-05-23 - 公布日： 2021-06-18 - 主分类号： G01N15/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种带RFID的单电机换膜装置，包括工作台、转盘和间歇性传动机构，工作台上还开设有安装空白滤膜桶的左侧通孔、采样用的中间通孔、加载滤膜收集桶的右侧通孔至少三个通孔；工作台内部空腔内设置有转盘，工作台和转盘之间贯穿设置有安装转轴的通孔；中间通孔底部连接有安装RFID芯片的滤膜夹，对应滤膜夹的夹紧装置轴承上安装有与RFID芯片信号连接的RFID天线，RFID天线的引线连接至主控制器上对应的RFID模块进行数据采集并反馈至滤膜夹。本实用新型结构简单，操作方便，滤膜采样记录清晰，滤膜存放不会混淆，提高规整滤膜的效率和准确性。
一种 rfid 电机装置

[实用新型]一种混合气体比例分析装置-CN202021187840.0有效
发明人：沈燕;朱捷;高为达 -专利权人：康姆德润达（无锡）测量技术有限公司
申请日： 2020-06-23 - 公布日： 2021-02-26 - 主分类号： G01N33/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种混合气体比例分析装置，包括便携式箱体、用户界面和内部功能模块，内部功能模块设置在便携式箱体内，内部功能模块内的调压阀一端通过气管连接用户界面的进气口，调压阀的另一端通过气管依次连接过滤器、管路三通，管路三通的另两端出气口分别连接双组份气体分析仪的进气口和压力传感器，压力传感器与双组份气体分析仪进行数据传输，双组份气体分析仪的的出气口连接电磁阀，电磁阀的控制端分别连接时间继电器和用户界面的手动自动切换开关，该分析仪方便对高压断路器内充入气体比例的检测，保证检测结果准确，减少了断路器内SF6/CF4的排出，减少了对环境的危害。
一种混合气体比例分析装置

[发明专利]一种称重系统的旋转防风罩-CN201811100934.7在审
发明人： 高为达 -专利权人：康姆德润达（无锡）测量技术有限公司
申请日： 2018-09-20 - 公布日： 2020-03-27 - 主分类号： G01G21/28 文献下载
摘要：本发明公开了一种称重系统的旋转防风罩，旨在提供一种具有能够自动旋转防风，更好的称量，操作便捷的优点的旋转防风罩，其技术方案要点是防风组件包括内防风罩组件和外防风罩组件，内防风罩组件包括支撑块和内防风罩体，内防风罩体整体呈圆柱壳体，底部和侧面均开有相互连通的放料口，内防风罩体底部通过支撑块固定安装于底板上；外防风罩组件包括转动组件和外防风罩体，外防风罩体整体呈圆柱壳体，底面完全开口，侧面开有与内防风罩体相同的放料口，外防风罩体直径大于内防风罩体的直径，外防风罩体的上端面与驱动机构相连；转动组件位于外防风罩体与底板之间，外防风罩体能够在底板上通过驱动机构旋转。
一种称重系统旋转防风

[发明专利]一种带显示功能的大气颗粒物采样器控制器-CN201811100964.8在审
发明人：王学清;高为达;葛安琪 -专利权人：康姆德润达（无锡）测量技术有限公司
申请日： 2018-09-20 - 公布日： 2020-03-27 - 主分类号： G01N1/22 文献下载
摘要：本发明提供一种带显示功能的大气颗粒物采样器控制器，包括包括安装壳、触摸屏、控制板、底板和主控板，安装壳的左右两螺栓安装有侧面板，安装壳前面板上设置有触摸屏孔，触摸屏通过触摸屏孔安装在安装壳内部，触摸屏电连接在控制板上，控制板电连接在主控板和底板上，主控板穿过安装壳后侧壁连接有变频电机，控制板上安装有ARM模块、RFID模块和IoT物联网通讯模块，安装壳上设置有电源按键和旋钮，电源按键和旋钮点连接至主控板上；底板上设置有网孔，网孔连接至3G/4G模块。本发明增加大气颗粒物采样器的使用功能，兼容性更广，能够同时读取数据并定位，提高设备性能机工作效率。
一种显示功能大气颗粒采样控制器

[实用新型]一种带滑轨的采样机-CN201821547341.0有效
发明人： 高为达;王学清;孙雷 -专利权人：康姆德润达（无锡）测量技术有限公司
申请日： 2018-09-20 - 公布日： 2019-10-25 - 主分类号： G01N1/24 文献下载
摘要：本实用新型提供一种带滑轨的采样机，包括机箱，机箱的一侧边上铰接有箱门，机箱顶部设置有探测孔，机箱内侧壁上安装有一对处于同一水平面上的滑轨固定件，滑轨固定件通过滑轨活动安装有隔板，隔板上通过一号支架安装有3G/4G模块，3G/4G模块连接至控制器，控制器设置在隔板上，隔板上设置有方形孔和圆孔，方形孔设置在3G/4G模块和控制器之间下方，圆孔与探测孔同轴设置，机箱底部内侧设置有气泵，气泵通过二号支架安装在机箱上，气泵与隔板之间设置有封板，封板安装在机箱靠近箱门的一侧。本实用新型结构简单巧妙，操作方便，维修时间短，实用性强，提高了生产效率。
隔板滑轨机箱气泵本实用新型滑轨固定件支架安装控制器采样机方形孔探测孔封板箱门圆孔在机机箱内侧壁控制器设置活动安装机箱顶部生产效率同一水平同轴设置铰接维修

[实用新型]一种带显示功能的大气颗粒物采样器控制器-CN201821547317.7有效
发明人：王学清;高为达;葛安琪 -专利权人：康姆德润达（无锡）测量技术有限公司
申请日： 2018-09-20 - 公布日： 2019-07-02 - 主分类号： G01N1/22 文献下载
摘要：本实用新型提供一种带显示功能的大气颗粒物采样器控制器，包括包括安装壳、触摸屏、控制板、底板和主控板，安装壳的左右两螺栓安装有侧面板，安装壳前面板上设置有触摸屏孔，触摸屏通过触摸屏孔安装在安装壳内部，触摸屏电连接在控制板上，控制板电连接在主控板和底板上，主控板穿过安装壳后侧壁连接有变频电机，控制板上安装有ARM模块、RFID模块和IoT物联网通讯模块，安装壳上设置有电源按键和旋钮，电源按键和旋钮点连接至主控板上；底板上设置有网孔，网孔连接至3G/4G模块。本实用新型增加大气颗粒物采样器的使用功能，兼容性更广，能够同时读取数据并定位，提高设备性能机工作效率。
安装壳触摸屏控制板主控板底板大气颗粒物采样器控制器本实用新型电源按键显示功能电连接网孔旋钮变频电机工作效率螺栓安装设备性能使用功能通讯模块采样器侧面板点连接后侧壁兼容性前面板物联网穿过

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