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[发明专利]一种用于化学机械抛光的承载头及其使用方法-CN202310739537.9在审
发明人：孟松林;温世乾;马逸麟;孙张璞 -专利权人：华海清科股份有限公司
申请日： 2023-06-21 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： B24B37/30 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于化学机械抛光的承载头及其使用方法，所述承载头包括：主基体；弹性膜，其通过承载盘连接于所述主基体的下方；检测组件，其设置于所述承载盘的安装孔并与弹性膜的一个腔室相对应，检测组件的对应腔室为检测腔室；所述检测组件包括销轴、密封件、弹性件和固定件，所述销轴间隙设置于承载盘的通气孔，所述密封件和弹性件套设于销轴的外周侧，密封件设置于安装孔的底部，弹性件设置于销轴的上部，所述固定件密封连接于安装孔上方并抵接于弹性件的上端；压缩的弹性件能够推动销轴抵压密封件，使得固定件与安装孔形成密封的辅助腔室；所述销轴的至少部分位于检测腔室，其能够沿竖向移动，以改变辅助腔室与检测腔室的通断。
一种用于化学机械抛光承载及其使用方法

[发明专利]一种8英寸或更小尺寸的承载头和化学机械抛光设备-CN202211685607.9在审
发明人：王宇;温世乾;马逸麟 -专利权人：华海清科股份有限公司
申请日： 2022-12-27 - 公布日： 2023-06-09 - 主分类号： B24B37/30 文献下载
摘要：本发明公开了一种8英寸或更小尺寸的承载头和化学机械抛光设备，该承载头包括基座、保持环、气膜、压环、第一卡环和第二卡环；所述气膜包括形成为圆形的底板、沿所述底板的外周沿竖直向上延伸的侧壁，所述侧壁的顶部向内延伸后再向外弯折延伸至被所述压环和所述保持环压紧固定并形成弯折部；所述气膜还包括从所述侧壁向内水平延伸后再向上延伸形成的内隔壁；所述第一卡环沿所述侧壁的弯折部的外侧表面并且所述第二卡环沿所述侧壁的弯折部的内侧表面一起卡合定位所述弯折部。
一种英寸尺寸承载化学机械抛光设备

[发明专利]一种承载头和化学机械抛光设备-CN202211685610.0在审
发明人：王宇;温世乾;马逸麟 -专利权人：华海清科股份有限公司
申请日： 2022-12-27 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： B24B29/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种承载头和化学机械抛光设备，承载头包括连接在枢轴下方的基座组件，在基座组件下方夹持有弹性膜以形成加压腔室，在加压腔室内定位有内卡环，在加压腔室外设有外卡环；所述基座组件下方还连接有围绕加压腔室和外卡环设置的保持环；所述外卡环和保持环之间设有相互配合的限位结构，用于限制外卡环的活动进而限制弹性膜的移动范围。
一种承载化学机械抛光设备

[发明专利]一种用于化学机械抛光的承载头和抛光系统-CN202211722047.X在审
发明人： 马逸麟;温世乾;孟松林;孙张璞;赵德文 -专利权人：华海清科股份有限公司
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： B24B37/30 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于化学机械抛光的承载头和抛光系统，所述承载头包括：基座；承载盘，设置于所述基座的下方；弹性膜，设置于所述承载盘下方；保持环，设置于承载盘的下方并位于弹性膜的外周侧；压盖，设置于所述承载盘的上方；防护罩，连接于所述基座并罩设于所述压盖的外周侧；所述压盖的外周侧配置有阻液结构，以防止液体经由防护罩与压盖之间的间隙向上传输。
一种用于化学机械抛光承载抛光系统

[实用新型]一种承载头和化学机械抛光设备-CN202223494109.4有效
发明人：王宇;温世乾;马逸麟 -专利权人：华海清科股份有限公司
申请日： 2022-12-27 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： B24B29/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种承载头和化学机械抛光设备，承载头包括连接在枢轴下方的基座组件，在基座组件下方夹持有弹性膜以形成加压腔室，在加压腔室内定位有内卡环，在加压腔室外设有外卡环；所述基座组件下方还连接有围绕加压腔室和外卡环设置的保持环；所述外卡环和保持环之间设有相互配合的限位结构，用于限制外卡环的活动进而限制弹性膜的移动范围。
一种承载化学机械抛光设备

[实用新型]一种8英寸或更小尺寸的承载头和化学机械抛光设备-CN202223494186.X有效
发明人：王宇;温世乾;马逸麟 -专利权人：华海清科股份有限公司
申请日： 2022-12-27 - 公布日： 2023-04-21 - 主分类号： B24B37/30 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种8英寸或更小尺寸的承载头和化学机械抛光设备，该承载头包括基座、保持环、气膜、压环、第一卡环和第二卡环；所述气膜包括形成为圆形的底板、沿所述底板的外周沿竖直向上延伸的侧壁，所述侧壁的顶部向内延伸后再向外弯折延伸至被所述压环和所述保持环压紧固定并形成弯折部；所述气膜还包括从所述侧壁向内水平延伸后再向上延伸形成的内隔壁；所述第一卡环沿所述侧壁的弯折部的外侧表面并且所述第二卡环沿所述侧壁的弯折部的内侧表面一起卡合定位所述弯折部。
一种英寸尺寸承载化学机械抛光设备

[实用新型]一种用于化学机械抛光的承载头和抛光系统-CN202223607075.5有效
发明人： 马逸麟;温世乾;孟松林;孙张璞;赵德文 -专利权人：华海清科股份有限公司
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-04-21 - 主分类号： B24B37/30 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于化学机械抛光的承载头和抛光系统，所述承载头包括：基座；承载盘，设置于所述基座的下方；弹性膜，设置于所述承载盘下方；保持环，设置于承载盘的下方并位于弹性膜的外周侧；压盖，设置于所述承载盘的上方；防护罩，连接于所述基座并罩设于所述压盖的外周侧；所述压盖的外周侧配置有阻液结构，以防止液体经由防护罩与压盖之间的间隙向上传输。
一种用于化学机械抛光承载抛光系统

[发明专利]用于降低耕地镉浓度的土壤修复剂及其使用方法和应用-CN202210431592.7在审
发明人：张娟;陈军;周强强;周春华;董菁;程春华;张涛亮;刘亮;潘峰岗;马逸麟;刘冰权;张福神;郄海满;谢长瑜;王道英;黄军 -专利权人：江西有色地质矿产勘查开发院
申请日： 2022-04-22 - 公布日： 2022-07-22 - 主分类号： B09C1/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于降低耕地镉浓度的土壤修复剂，属于土壤重金属污染修复领域。该土壤修复剂由以下成分构成：50‑70%硅灰石、15‑25%镁质粘土、10‑15%白云石、5‑10%生石灰。本发明可显著降低水稻中镉的含量，同时使稻米符合国家富硒标准，提升经济附加值，经济环保，安全高效，可实际应用于富硒土壤的镉污染调控与修复，具有广阔的应用前景。此外，本发明还公开了一种土壤修复剂的使用方法，包括施撒的重量比例、施撒的时间以及施撒后处理。另外，本发明还公开了一种土壤修复剂在治理富硒的镉污染土壤中的应用。
用于降低耕地浓度土壤修复及其使用方法应用

[实用新型]一种主被动混合驱动的下肢助力外骨骼机器人-CN202022088107.X有效
发明人：管小荣;陆磊丰;李回滨;邹铠帆;马逸麟;何龙;王新蕊;李仲;朱蒙;王铮;李灿;白宇;马泽;高玉虎 -专利权人：南京理工大学
申请日： 2020-09-22 - 公布日： 2021-02-23 - 主分类号： B25J9/00 文献下载
摘要：本实用新型属于外骨骼机器人领域，具体涉及一种主被动混合驱动的下肢助力外骨骼机器人。包括腰髋部支架以及两组腿部机构，腰髋部支架为被动驱动式，包括可调节腰架和髋关节助力卷簧机构，髋关节助力卷簧机构实现两个髋关节的屈/伸；每个腿部机构包括膝关节驱动电机，谐波减速器，膝关节角度传感器，踝关节球铰以及足部；通过膝关节驱动电机和谐波减速器实现膝关节的屈/伸；通过所述踝关节球铰实现踝关节的背伸/跖屈、内/外翻以及旋转动作。本实用新型的大腿髋关节采用卷簧机构实现髋关节的被动驱动，采用电机实现膝关节的主动驱动，在保证穿戴者负载能力的前提下，降低了下肢助力外骨骼机器人系统的复杂程度、结构简单、控制容易。
一种被动混合驱动下肢助力骨骼机器人

[发明专利]一种用于智能可穿戴外肢体的手枪发射装置-CN202010814491.9在审
发明人：管小荣;姜荃;马逸麟;王洋;李小奇;陈仕达;马林坡 -专利权人：南京理工大学
申请日： 2020-08-13 - 公布日： 2020-12-11 - 主分类号： F41B6/00 文献下载
摘要：本发明属于可穿戴外肢体技术领域，具体涉及一种用于智能可穿戴外肢体的手枪发射装置。包括手枪承载主体，手枪夹持盖板和电控击发组件；手枪承载主体前半段用于放置手枪的枪身和固定电控击发组件，手枪承载主体后半段和手枪夹持盖板配合实现对手枪握把的固定实现对手枪的固定；电控击发组件为电磁‑机械混合式，电控击发组件一端和手枪的扳机相接触，通过通电产生的电磁力推动扳机，实施击发。本发明基于电磁‑机械混合发射机构，研制出一种轻质的用于智能可穿戴外肢体手枪发射装置，解决了智能可穿戴外肢体无法直接使用传统武器发射的问题，保证了发射的及时、可靠。
一种用于智能穿戴肢体手枪发射装置

[发明专利]一种主被动混合驱动的下肢助力外骨骼机器人及控制方法-CN202010999905.X在审
发明人：管小荣;陆磊丰;李回滨;邹铠帆;马逸麟;何龙;王新蕊;李仲;朱蒙;王铮;李灿;白宇;马泽;高玉虎 -专利权人：南京理工大学
申请日： 2020-09-22 - 公布日： 2020-12-11 - 主分类号： B25J9/00 文献下载
摘要：本发明属于外骨骼机器人领域，具体涉及一种主被动混合驱动的下肢助力外骨骼机器人及控制方法。包括腰髋部支架以及两组腿部机构，腰髋部支架为被动驱动式，包括可调节腰架和髋关节助力卷簧机构，髋关节助力卷簧机构实现两个髋关节的屈/伸；每个腿部机构包括膝关节驱动电机，谐波减速器，膝关节角度传感器，踝关节球铰以及足部；通过膝关节驱动电机和谐波减速器实现膝关节的屈/伸；通过所述踝关节球铰实现踝关节的背伸/跖屈、内/外翻以及旋转动作。本发明的大腿髋关节采用卷簧机构实现髋关节的被动驱动，采用电机实现膝关节的主动驱动，在保证穿戴者负载能力的前提下，降低了下肢助力外骨骼机器人系统的复杂程度、结构简单、控制容易。
一种被动混合驱动下肢助力骨骼机器人控制方法

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