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[发明专利]利用声动力清除光罩表面颗粒物的装置及其使用方法-CN202310450891.X在审
发明人：张瑞麟;马趁义 -专利权人：上海华力集成电路制造有限公司
申请日： 2023-04-24 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： B08B7/02 文献下载
摘要：本发明提供一种利用声动力清除光罩表面颗粒物的装置及其使用方法，无尘箱体；水平放置于所述无尘箱体内的光罩；悬置于光罩上方的超声枪；设置于超声枪内部的换能器；置于超声枪内端部、换能器下方的聚波器；连接于换能器的脉冲电源；换能器用于将脉冲电源的电信号转换为超声波；聚波器用于将换能器产生的超声波聚焦到光罩的表面，并通过超声波的声动力清除光罩表面的颗粒物，使得颗粒物从光罩表面分离并扩散于空气中；无尘箱体的两侧分别设有流体入口和流体出口；光罩位于无尘箱体内途径流体入口和流体出口之间的位置；流体入口用于水平吹入清洁气体并将扩散于空气中的颗粒物连同清洁气体从流体出口输出。
利用动力清除表面颗粒装置及其使用方法

[发明专利]一种改善后段制程中金属沟槽缺陷的方法-CN202211304498.1在审
发明人： 马趁义;张瑞麟 -专利权人：上海华力集成电路制造有限公司
申请日： 2022-10-24 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： H01L21/768 文献下载
摘要：本发明提供一种改善后段制程中金属沟槽缺陷的方法，半导体结构包括自下而上依次包括PMD、NDC层、TEOS层、ULK层；堆叠在ULK层上的叠层，叠层自下而上由第一NFDARC层、TiN层及第二NFDARC层组成；刻蚀叠层及ULK层至露出TEOS层上表面；刻蚀叠层后形成第一宽度的第一沟槽；刻蚀ULK层形成第二宽度的第二沟槽；在第一、第二沟槽斜街处形成第一台阶；沉积保护层，保护层覆盖在第二NFDARC层、第一、第二沟槽侧壁、第一台阶处及露出的TEOS层上；去除第二NFDARC层上及露出的TEOS层上的保护层；沿第一沟槽侧壁的保护层和第二沟槽侧壁的保护层同时刻蚀ULK层、TEOS层和NDC层至露出PMD层为止，形成第一宽度的第三沟槽和第二宽度的通孔；去除剩余的保护层。
一种改善后段制程中金属沟槽缺陷方法

[发明专利]一种能够提升加工成形性与时效强化效果的6XXX系铝轧板制备方法-CN201811167334.2有效
发明人：王慧远;刘泽田;王珵;查敏;管志平;马品奎;刘国军;马趁义;王鹏越;鞠虹;孟昭元;蒋俊 -专利权人：吉林大学
申请日： 2018-10-08 - 公布日： 2021-02-23 - 主分类号： B22D11/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种能够提升加工成形性与时效强化效果的6XXX系铝轧板制备方法，包括：步骤一、制备6XXX系铝合金熔体；其中，所述6XXX系铝合金熔体的成分为：Si的质量分数为1.0‑1.6％、Fe的质量分数为0.10‑1.0％、Cu的质量分数为0.01‑0.15％、Mn的质量分数为0.01‑0.15％、Mg的质量分数为0.40‑0.90％，余量为Al和杂质；步骤二、将6XXX系铝合金熔体引流到高导热水冷铸轧辊辊缝中进行亚快速凝固，得到高固溶6XXX系铝合金铸轧坯；步骤三、对所述高固溶6XXX系铝合金铸轧坯进行多道次冷轧至规定厚度，得到铝合金冷轧板；步骤四、对所述铝合金冷轧板进行固溶热处理后，进行淬火处理，获得T4状态6XXX系铝合金冷轧板。本发明提供的6XXX系铝轧板制备方法，能够提升6XXX系铝合金冷轧板的加工成形性与时效强化效果。
一种能够提升加工成形时效强化效果 xxx 系铝轧板制备方法

[发明专利]一种Mg-Al系多元镁合金及其亚快速凝固制备方法-CN201910033924.4有效
发明人：王慧远;王鹏越;王珵;查敏;马品奎;李志刚;刘国军;徐进;宋家旺;杨治政;马趁义;刘珂 -专利权人：吉林大学
申请日： 2019-01-15 - 公布日： 2020-12-08 - 主分类号： C22C23/02 文献下载
摘要：一种Mg‑Al系多元镁合金及其亚快速凝固制备方法，特别是一种具有窄凝固区间的新型高性能亚快速凝固镁合金。本发明通过多元合金化以及亚快速凝固手段，细化晶粒以及粗大共晶相，同时缓解成分偏析，获得具有高固溶度的凝固组织，缩短了固溶处理时间；经后续轧制处理亚快速凝固过程中高固溶的溶质原子均匀析出，形成具有细晶和弥散第二相的变形组织，获得具有优异力学性能的Mg‑Al系多元镁合金轧板；此方法尤其适合高铝含量Mg‑Al系多元合金，简化了镁合金轧板的制备流程，为提高镁合金变形能力和促进镁合金板材的产业化提供了一种有效途径。本发明Mg‑Al系多元镁合金的主要化学成分按重量百分比组成：Al5.5～6.4，Zn0.5～2.0，Sn0.5～2.0，Bi0.2～1.0，Mn0.1～0.5，Mg余量。
一种 mg al 多元镁合金及其快速凝固制备方法

[发明专利]一种短流程轧制制备超塑性镁合金的方法-CN201710066892.9有效
发明人：查敏;王慧远;于照鹏;姜启川;王珵;马趁义;王金国;杨治政;刘国军;徐新宇 -专利权人：吉林大学
申请日： 2017-02-07 - 公布日： 2020-11-17 - 主分类号： B21B3/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种短流程轧制制备超塑性镁合金的方法，该制备方法包括大轧制率轧制、常规轧制率降温轧制和热处理三个步骤。首先将镁合金坯料通过大轧制率轧制制备出镁合金板坯，然后对板坯进行常规轧制率降温轧制，随后进行热处理形成超塑性组织，从而制备出在一定温度下具有超塑性变形能力的镁合金板材。该方法通过3‑6道次制备超塑性镁合金板材，整体材料中的组织细小均匀，并且析出相形状圆整。该方法适合制备大尺寸样品，弱化织构，有效避免难变形镁合金轧制过程中的开裂，提高镁合金的成形能力；并且该方法流程短、效率高、成本低，易于推广应用。
一种流程轧制制备塑性镁合金方法

[发明专利]一种高体积分数第二相镁合金的预变形辅助热处理及其轧制方法-CN201711254825.6有效
发明人：王慧远;张呈呈;姜启川;王珵;查敏;杨治政;荣建;张行;徐新宇;马趁义 -专利权人：吉林大学
申请日： 2017-12-02 - 公布日： 2020-03-17 - 主分类号： B21B3/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种高体积分数第二相镁合金的预变形辅助热处理及其轧制方法，它包括：铸轧镁合金坯料在200–350摄氏度保温5–45分钟后，进行1–3道次预变形轧制，每道次压下量为3–25%；预变形后镁合金置在惰性气体保护下加热至200–430摄氏度，保温30–300分钟；所述的板坯经过7道次以上轧制，每道次间在300–400摄氏度保温5–30分钟；将薄板在惰性气体保护下加热200–375摄氏度，10–200分钟的退火热处理，获得具有均匀弥散分布第二相和细晶组织的镁合金板材。改善镁合金中尺寸粗大的链条状第二相形貌，解决了“高温长时间仍难以充分固溶异常粗大偏析相”难题，攻破轧制过程中“裂边、中间断裂、难以轧制成型”的难关，板材组织细小均匀，第二相形貌圆整，室温拉伸具有高强韧性。
一种体积分数第二镁合金变形辅助热处理及其轧制方法

[发明专利]一种使超塑性镁合金具有近球形析出相的制备方法-CN201710068077.6在审
发明人：王珵;王慧远;于照鹏;姜启川;查敏;徐新宇;杨治政;王金国;刘国军;马趁义 -专利权人：吉林大学
申请日： 2017-02-08 - 公布日： 2017-05-10 - 主分类号： C22F1/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种使超塑性镁合金具有近球形析出相的制备方法，包括均匀化处理、变温轧细化晶粒和析出相圆整化调控三个步骤。首先通过高、低温分阶段热处理制备镁合金过饱和固溶体；然后通过高温大压下率中低速轧制诱发动态再结晶，通过低温小压下率快速轧制引发孪晶细化，并在低温下阻碍再结晶晶粒长大；进一步调控圆整化热处理参数，制备出具有亚微米、微米基体晶粒和近球形、随机分布析出相的变形镁合金组织；本发明能够显著提高镁合金的室温强韧性，且有助于充分发挥高温超塑性潜力。该制备方法突破了传统轧制组织达不到超塑性的技术束缚，尤其适合于含有高体积分数的两种及多种混合析出相的镁合金轧制，提高了轧制效率。
一种塑性镁合金具有球形析出制备方法

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