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[发明专利]一种大尺寸氧化铝陶瓷成型方法-CN202310889693.3在审
发明人：房成浩;王福;马玉琦;李奇 -专利权人：浙江富乐德半导体材料科技有限公司
申请日： 2023-07-19 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： C04B35/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种大尺寸氧化铝陶瓷成型方法，旨在解决对于尺寸较长且内部有一定特征的长条采用干压成型或者冷等静压成型难以成功的不足。该发明包括以下步骤：S1，将氧化铝粉体、分散剂、水混合搅拌得到混合料浆；S2，将混合料浆置于真空脱泡机中进行抽真空脱泡，去除混合料浆中的气泡；S3，将混合料浆装入压力注浆机中；S4，通过压力注浆机将混合料浆注入多孔树脂模具中持续加压成型；S5，脱模后干燥得到陶瓷生坯；S6，将陶瓷生坯装入烧结炉进行烧制成型。本专利申请采用压力注浆方式成型陶瓷产品，能成型出尺寸大且带有内部特征的陶瓷产品，克服大尺寸产品难成型和内部特征难加工的现状。
一种尺寸氧化铝陶瓷成型方法

[发明专利]一种凸点式吸盘的加工方法-CN202111135263.X有效
发明人：邢毅伟;姚相民;李奇;马玉琦;周斌 -专利权人：杭州大和江东新材料科技有限公司
申请日： 2021-09-27 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： B25B11/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种凸点式吸盘的加工方法，旨在解决陶瓷吸盘凸点加工不便、耗时长、工作效率低的不足。该发明陶瓷吸盘表面上的凸点采用喷砂的方式进行加工，喷砂时将与凸点大小和位置对应的胶膜贴在陶瓷吸盘表面上，然后对陶瓷吸盘表面进行喷砂加工，没有贴胶膜的位置喷砂过程去除一定的厚度，而贴有胶膜的位置不会去除表面厚度，因此在贴有胶膜的位置形成凸点。退火处理去除应力，细化晶粒，调整组织，消除组织缺陷。而且在退火的过程中施加均衡的外力纠正陶瓷吸盘的变形。这种凸点式吸盘的加工方法方便了陶瓷吸盘的加工，提高了合格率，降低了成本，缩短了加工时间，提高了工作效率。
一种凸点式吸盘加工方法

[实用新型]一种便于展示存放的烟草销售箱-CN202320852312.X有效
发明人：朱述鑫;朱涛;孙平;马玉琦 -专利权人：朱述鑫
申请日： 2023-04-17 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： A47F3/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及烟草销售技术领域，尤其是一种便于展示存放的烟草销售箱，包括底座架、限位架、透明箱、转动门和固定机构，其中：限位架可滑动的连接至底座架上，透明箱可拆卸的连接至底座架上，转动门可转动的连接至透明箱上，透明箱上连接用于对转动门进行限位的固定机构。本实用新型通过转动转动门后打开透明箱上，在需要取下限位架底端的烟草时，手部拉动限位架，限位架沿底座架上端倾斜向上移动，限位架带动烟草移动，使得限位架底部的烟草与转动门之间的距离减小，便于将限位架底部的烟草取出。
一种便于展示存放烟草销售

[发明专利]一种解决半导体设备用氧化铝部件颗粒脱落的制备方法-CN202210805763.8有效
发明人：房成浩;姚相民;李奇;马玉琦;周斌 -专利权人：杭州大和江东新材料科技有限公司
申请日： 2022-07-08 - 公布日： 2023-09-26 - 主分类号： C04B41/85 文献下载
摘要：本发明公开了一种解决半导体设备用氧化铝部件颗粒脱落的制备方法，包括以下步骤：S1：利用冷等静压装置将氧化铝粉料压制成型为氧化铝基体；S2：对S1中成型的氧化铝基体进行造型加工形成粗模并进行烧结；S3：将S2中的粗模按照产品规格进行二次造型加工并洗净，得到产品本体；S4：采用全角度磁控溅射机构配合碳靶材对S3中的产品本体进行全角度DLC涂层表面处理。利用全角度磁控溅射机构对氧化铝陶瓷进行无死角的表面处理，使得氧化铝陶瓷表面形成均匀且致密的类金刚石涂层（DLC涂层），从而保证氧化铝陶瓷不会出现颗粒脱落现象。
一种解决半导体备用氧化铝部件颗粒脱落制备方法

[发明专利]一种适于吸附晶圆的陶瓷真空吸盘及降低晶圆表面划伤率的生产方法-CN202310527859.7在审
发明人：姚相民;马玉琦;房成浩;李奇 -专利权人：杭州大和江东新材料科技有限公司
申请日： 2023-05-11 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明涉及半导体行业用陶瓷真空吸盘技术领域，公开了一种适于吸附晶圆的陶瓷真空吸盘及降低晶圆表面划伤率的生产方法。本发明的陶瓷真空吸盘包括吸盘底座和安装在吸盘底座上的多孔陶瓷，多孔陶瓷经以下过程制备得到：以内部烧结密实的碳化硅陶瓷为基体，采用激光烧蚀的方法在碳化硅陶瓷上生成气孔，将碳化硅陶瓷置于氢氟酸溶液中清洗，取出后在异丙醇中超声清洗，再水冲洗；超声功率为20～100W，超声清洗时间≥30min。本发明的陶瓷真空吸盘不容易产生颗粒物脱落和堵塞，初始吸附能力强，长时间使用后吸附能力稳定，而且可根据需要定制吸附结构，能满足高端半导体制程的需求。
一种适于吸附陶瓷真空吸盘降低表面划伤生产方法

[发明专利]一种陶瓷喷嘴薄壁孔加工刀具及加工方法-CN202310760587.5在审
发明人：倪晓锋;姚相民;马玉琦 -专利权人：杭州大和江东新材料科技有限公司
申请日： 2023-06-25 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： B28B11/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种陶瓷喷嘴薄壁孔加工刀具及加工方法，旨在解决陶瓷喷嘴上薄壁网孔受磨削挤压产生缺口和剥离的不足。该发明陶瓷喷嘴薄壁孔加工刀具包括刀体，刀体上设置刀头，刀头侧壁上设有侧槽。利用该刀具在喷嘴毛坯端面上加工若干个薄壁网孔，使用治具来装载喷嘴毛坯，通过抛光转盘旋转后喷洒抛光颗粒的方式抛光喷嘴毛坯上设置薄壁网孔的端面，去除薄壁网孔的崩边缺口，能够做到在基恩士显微镜放大200倍时目视检测完全无缺口和剥离。通过本方案的这种方法能够很好地解决陶瓷喷嘴产品上薄壁网孔受磨削挤压产生缺口和剥离的问题。
一种陶瓷喷嘴薄壁加工刀具方法

[发明专利]一种高平整度的陶瓷真空吸盘-CN202310540862.2在审
发明人：姚相民;何冬霜;马玉琦;李奇 -专利权人：杭州大和江东新材料科技有限公司
申请日： 2023-05-15 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明涉及半导体用微孔陶瓷真空吸盘技术领域，公开了一种高平整度的陶瓷真空吸盘。本申请的陶瓷真空吸盘所用微孔陶瓷的制备方法包括以下步骤：（1）将颗粒级别相当的氧化铝、硅化物及烧结助剂的粉粒混合得到混合粉粒；（2）将混合粉粒在模具中成型得到生坯；（3）将生坯在氧气体积占比≥25%的富氧气氛下烧结成型；所述硅化物为氮化硅或碳化硅中的一种或两种；氧化铝、硅化物和烧结助剂的粉粒的粒径为50～100μm；以总量为100%计，氧化铝质量占比30～40%、硅化物质量占比50～60%，余量为烧结助剂；烧结温度不低于硅化物的氧化分解温度；烧结温度升温速率≥2℃/min。本发明的陶瓷真空吸盘孔隙率≥40%，平整度可达到4.5μm。
一种平整陶瓷真空吸盘

[实用新型]一种陶瓷产品真空泄漏检测装置-CN202223588598.X有效
发明人：王轶军;姚相民;马玉琦;李奇 -专利权人：浙江富乐德半导体材料科技有限公司
申请日： 2022-12-29 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： G01M3/34 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种陶瓷产品真空泄漏检测装置，包括装置本体，所述的装置本体上设置有密封区域封闭组件，所述的密封区域封闭组件包括激光发射通道密封组件和气孔密封组件，所述的激光发射通道密封组件呈旋转调节式对称设置在装置本体的两端，所述的气孔密封组件活动压接式设置。该陶瓷产品真空泄漏检测装置，操作方便快捷，具有良好的通用性，能够广泛适用于各种规格型号激光设备用的非标型陶瓷产品的空腔气密性检测，极大的提高了检测效率和检测质量。
一种陶瓷产品真空泄漏检测装置

[发明专利]一种激光槽板槽内镜面抛光装置及其抛光方法-CN202211435300.3在审
发明人：王轶军;马玉琦 -专利权人：杭州大和江东新材料科技有限公司
申请日： 2022-11-16 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： B24B29/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种激光槽板槽内镜面抛光装置，包括用于实现对待抛光激光槽槽底镜面抛光的镜面抛光的镜面抛光刀具和对镜面抛光刀具进行自动压力存储添加抛光液的抛光液自动添加装置；所述的镜面抛光刀具包括有羊毛毡砂轮，所述的羊毛毡砂轮上设置有镜面抛光面；所述的抛光液自动添加装置中设置有二次增压推液一体式机构。还公开了利用激光槽板槽内镜面抛光装置进行抛光的方法。该激光槽板槽内镜面抛光装置，能够满足现有激光槽板上激光槽槽底镜面自动化抛光要求，而且抛光精度高，高效快捷，而且能够有效提升镜面抛光成品率。
一种激光槽板槽内镜面抛光装置及其方法

[实用新型]一种氧化铝陶瓷相框干压成型模具-CN202223610230.9有效
发明人：李奇;姚相民;马玉琦;王福 -专利权人：浙江富乐德半导体材料科技有限公司
申请日： 2022-12-29 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： B28B3/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种氧化铝陶瓷相框干压成型模具，包括受力装置、设置在受力装置上的粉料填充装置和压板组件，在所述的粉料填充装置中设置有下模板和下模内芯组件，所述的下模内芯组件与下模板之间形成带有内外合模间隙量的干压成型腔，所述的压板组件上设置有上压模，所述的上压模与干压成型腔之间形成带有上下合模间隙量的压模结构。该氧化铝陶瓷相框干压成型模具，干压过程中受力均匀，粉料中的气体能够有效排出，形成的坯料稳定性能好，一次性干压成型陶瓷相框的外形坯料，省材，无需要后续的切割等精加工操作，极大的提高了生产效率，而且成型相框的稳定性及质量都能够得到极大提升，不会出现变形断裂等现象。
一种氧化铝陶瓷相框干压成型模具

[发明专利]一种低介电损耗氮化铝陶瓷材料及其制备方法-CN202210897911.3有效
发明人：何冬霜;姚相民;马玉琦;蔡德奇;周斌 -专利权人：杭州大和江东新材料科技有限公司
申请日： 2022-07-28 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： C04B35/582 文献下载
摘要：本发明涉及陶瓷材料领域，为解决现有技术下氮化铝陶瓷材料介电损耗较高的问题，公开了一种低介电损耗氮化铝陶瓷材料及其制备方法，该材料由100份抗水解改性氮化铝、0.4～1份烧结助剂、3～5份粘结剂、0.5～1.5份高温树脂、0.2～0.5份分散剂及0.2～0.5份消泡剂混合后干燥、模压成型、脱脂、烧结得到。该氮化铝陶瓷材料的介电损耗低，在13.56MHz的频率下tanδ小于10×10‑4，材料的致密度、强度以及热导率高；原料中无强腐蚀性物质、无毒性物质、无对环境造成污染物质产生，符合环保要求；制备过程简便，可工业化生产。
一种低介电损耗氮化陶瓷材料及其制备方法

[发明专利]一种防静电氧化铝陶瓷材料及其制备方法-CN202110899073.9有效
发明人：何冬霜;姚相民;马玉琦;蔡德奇;周斌 -专利权人：杭州大和江东新材料科技有限公司
申请日： 2021-08-05 - 公布日： 2023-05-26 - 主分类号： C04B35/10 文献下载
摘要：本发明涉及功能陶瓷领域，为了降低氧化铝陶瓷的电阻率，使其满足更为广泛的使用需求，针对以上常用导电填料的问题，本发明提出一种防静电氧化铝陶瓷材料及其制备方法，防静电氧化铝陶瓷材料由氧化铝、碳化硅和钇铝酸盐三相组成。以碳化硅为导电填料，制备性能优良且耐磨、耐腐蚀、耐高温的防静电氧化铝材料，并且提供了一种制备工艺简单、成本低廉的防静电氧化铝陶瓷制备方法。
一种静电氧化铝陶瓷材料及其制备方法

[发明专利]采用蓄能技术的区域供冷供热系统项目的碳减排计算方法-CN202211639291.X在审
发明人：孙群力;侯震林;王娓娜;李海波;吴明训;黄飞强;马玉琦;白首跃 -专利权人：国电投（陵水）智慧能源有限公司
申请日： 2022-12-20 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： G06Q10/0639 文献下载
摘要：本发明提供了采用蓄能技术的区域供冷供热系统项目的碳减排计算方法，用以解决现有碳减排方法学在采用蓄能技术的区域供冷供热领域中的欠缺问题。本发明提供了的碳减排计算方法，包括如下步骤：步骤(一)：确定项目边界；步骤(二)：划分项目边界内温室气体排放源种类；步骤(三)：明确减排量计量和核证的时间区间；步骤(四)：明确基准线情景和额外性；步骤(五)：计算基准线排放；步骤(六)：计算项目期排放；步骤(七)：计算项目减排量。本方法适合于采用蓄冷或蓄冰或蓄热技术的区域供冷供热系统的碳减排计算，可通过excel实现快速计算，具有很高的实用价值。
采用蓄能技术区域供热系统项目碳减排计算方法

[发明专利]一种沉积设备上用的氧化铝陶瓷成型及加工方法-CN202211729376.7在审
发明人：倪晓锋;姚相民;马玉琦 -专利权人：杭州大和江东新材料科技有限公司
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： C04B35/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种沉积设备上用的氧化铝陶瓷成型及加工方法，涉及陶瓷加工技术领域。该发明包括以下步骤：S1：将氧化铝陶瓷粉料灌入球形磨具A中；S2：利用冷等静压机压制S1中待处理的氧化铝陶瓷粉料，使其等静压成型成中空半球形毛坯体B；S3：将S2中压制成型的毛坯体B进行粗加工，并将其球形面放在烧结治具C上；S4：将S3中放入毛坯体B的烧结治具C放入烧结炉中烧结后，使毛坯体B变成致密的多晶陶瓷材料D；S5：采用治具E将S4中获得的多晶陶瓷材料D的球形面装夹固定；S6：采用刀具F对S5中装夹固定的多晶陶瓷材料D进行表面加工，获得到产品G；本方案是在现有基础上对加工工艺中的成型、烧结、精加工等方面进行了优化。
一种沉积设备氧化铝陶瓷成型加工方法

[发明专利]一种复合式碳化硅陶瓷加工装置及其工作方法-CN202211733009.4在审
发明人：洪海;马玉琦 -专利权人：杭州大和江东新材料科技有限公司
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： B28D1/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种复合式碳化硅陶瓷加工装置，包括复合加工组件，所述复合加工组件包括移动总成，移动总成底部设置有铣削刀具，所述铣削刀具侧方设置有抽吸机构，所述抽吸机构远离铣削刀具的一侧设置有激光加工机构，所述铣削刀具与抽吸机构和激光加工机构同步运动。利用复合式加工组件在移动总成的单次移动过程中实现两种精度要求不同的加工任务的加工，兼顾加工效率和加工精度，且结构简单，装置灵活度高，可根据加工需求选择是否进行复合加工，实用效果好。
一种复合碳化硅陶瓷加工装置及其工作方法

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