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[发明专利]降低单晶炉内氧化物的隔离阀、单晶炉及方法-CN202310899965.8在审
发明人：杨宗川;马玉怀;曹启刚;王黎光;徐慶晧;芮阳;张昆;王忠保;赵泽慧 -专利权人：宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
申请日： 2023-07-20 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： C30B27/02 文献下载
摘要：本发明提供一种降低单晶炉内氧化物的方法，涉及单晶炉除杂技术领域，包括连接吹扫部、开合部，连接吹扫部包括第一法兰、第二法兰、通气管，第二法兰内开设环形空腔，第二法兰内侧均匀设置数个吹扫孔，数个吹扫孔向一个方向倾斜，吹扫孔与环形空腔连通，第一法兰、第二法兰对称设置在开合部的上方、下方，第一法兰与所述开合部上端连接，开合部下端与第二法兰连接，通气管与第二法兰连接以与环形空腔连通，通过向通气管、环形空腔的内部吹入氩气，使得氩气从吹扫孔吹出来，使得氧化物被吹扫，防止氧化物在开合部聚集、凝结，当二次加料结束后，氧化物排出，降低氧化物落入石英坩埚内的概率，进而降低晶棒的良率，减少NG次数。
降低单晶炉内氧化物隔离单晶炉方法

[发明专利]高效截断碳板的截断方法-CN202311083883.2在审
发明人：殷效财;马玉怀;芮阳;徐慶晧;王黎光;曹启刚;魏瑶;兰正东;陈元寿 -专利权人：宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
申请日： 2023-08-25 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： B28D1/08 文献下载
摘要：本发明提供一种高效截断碳板的截断方法，涉及碳板截断技术领域，将圆柱形工件与树脂板进行粘接，组成承载工装；将碳板可拆卸固定在树脂板上，组成待切割工件，将待切割工件放置在截断机的V形槽上，且圆柱形工件与截断机的V形槽接触，将截断机压紧装置压合在碳板的上表面；将切割头的头升降轴下降使得锯带与碳板为预定距离，打开切削水，驱动主轴匀速旋转，再将切割头的头升降轴下降使得锯带切割碳板；碳板切割完成，关闭截断机；通过使用晶棒的截断机对碳板进行截断，提高截断效率，减少碳板崩边、破裂的概率，且截断机的切割头的头升降轴进行垂直升降，使得碳板的截断端面平整，误差小，不会对工作人员造成不适。
高效截断方法

[发明专利]真空泵前置除尘装置及单晶炉-CN202310772064.2在审
发明人：马旭武;马玉怀;芮阳;徐慶晧;曹启刚;王黎光;张昆;王忠保;赵泽慧 -专利权人：宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
申请日： 2023-06-27 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： B01D45/14 文献下载
摘要：一种真空泵前置除尘装置，包括分离仓、引流分离机构；分离仓为内部中空且内径从上至下逐渐增大的筒体，分离仓的内壁上设有集尘板，分离仓的上端设有盖板，分离仓的顶部设有与分离仓内部连通的第一管道，分离仓的下端设有集尘室，在集尘室的底部设有与分离仓内部连通的第二管道，集尘室的底部还设有与分离仓连通的第三管道；引流分离机构沿分离仓的轴线纵向可转动的设置于分离仓的内部，引流分离机构的下端正对第二管道的出口端。本发明可实现分离仓的自动清洁、以及化合物颗粒的自动回收；在此过程中，无需人工再对分离仓进行清理，不仅清理程序简单，而且降低劳动强度、提高了工作效率。本发明还提供了一种单晶炉。
真空泵前置除尘装置单晶炉

[发明专利]滤芯、过滤器及过滤系统-CN202310886497.0在审
发明人：张学涛;马玉怀;王黎光;徐慶晧;曹启刚;芮阳;张昆;王忠保;赵泽慧 -专利权人：宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
申请日： 2023-07-18 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： B01D29/23 文献下载
摘要：本发明涉及一种滤芯，包括支撑筒体、第一过滤网、第二过滤网和两个端盖，支撑筒体上设置多个开孔，第一过滤网经过多次往复折弯后形成多个第一内折皱和第一外折皱，第一过滤网环绕设置在支撑筒体外侧，第二过滤网经过多次往复折弯后形成多个第二内折皱和第二外折皱，第二过滤网环绕设置在第一过滤网外侧，每一个第一外折皱外部对应设置一个第二外折皱，依次从内到外环绕的支撑筒体、第一过滤网和第二过滤网的两端经过挤压严实形成密封部后分别安装一个端盖，通过第一外折皱提升毛絮等杂质的储存空间的同时，靠近支撑筒体的第一内折皱的部分超滤孔没有被毛絮等杂质堵塞使得滤芯能够持续进行过滤，延长了滤芯的使用周期，从而减少了滤芯的更换次数。
滤芯过滤器过滤系统

[发明专利]辅助减少轴承箱震动的夹具及其安装方法-CN202310923434.8在审
发明人：陈元寿;马玉怀;赵娜;徐慶晧;王黎光;曹启刚;芮阳;王忠保;张昆 -专利权人：宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
申请日： 2023-07-26 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： B28D5/00 文献下载
摘要：一种辅助减少轴承箱震动的夹具及其安装方法，该夹具包括：弧形块、弹性组件和N个固定件；弧形块的正侧面上设置有贯穿的第一固定孔，用以将该弧形块固定在待进行减震的轴承箱上；弧形块的内侧面和外侧面为同向弯曲的弧面，弹性组件固定连接在弧形块的内侧面上，且弹性组件与内侧面之间存在间隙；外侧面上设置有N个第二固定孔，每一个第二固定孔均贯穿弧形块的外侧面和内侧面，每一个固定件的一端均穿过一个第二固定孔接触到弹性组件上。本方案能够减少轴承箱产生的震动，使得线切割机具有更高的精度，进而提高硅片加工的质量。
辅助减少轴承震动夹具及其安装方法

[发明专利]控制切割硅片形貌的工艺方法-CN202310726300.7在审
发明人：赵延祥;芮阳;徐慶晧;马玉怀;曹启刚;王黎光;张昆;王忠保;赵泽慧 -专利权人：宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
申请日： 2023-06-19 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： B28D5/00 文献下载
摘要：本发明提供控制切割硅片形貌的工艺方法，涉及切割硅片的控制方法技术领域，通过在机架上开设水冷腔，在硅片不同切割位置根据监测件监测到的机架的膨胀量向水冷腔内通入第一预定温度曲线的冷水，正负补偿晶锭在不同切割区域的膨胀状况，从而改善硅片的入刀形状，控制和提高硅片的平坦度，进而使硅片形貌和MC侧形貌一致，改善硅片warp，且避免晶锭由于硅片局部区域内急速变形引起的nano问题，使得硅片质量提高。
控制切割硅片形貌工艺方法

[发明专利]多线切割控制切割硅片形貌的方法-CN202310771039.2在审
发明人：赵延祥;王忠保;芮阳;徐慶晧;曹启刚;王黎光;马玉怀;张昆;赵泽慧 -专利权人：宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
申请日： 2023-06-27 - 公布日： 2023-08-11 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本发明提供控制多线切割控制切割硅片形貌的方法，涉及切割硅片的控制方法技术领域，通过在主辊的轴向设置第二水冷腔，在机架上开设第一水冷腔，并通过监测部监测主辊、机架的膨胀量在第二水冷腔、第一水冷腔内通入第二预定温度曲线、第一温度曲线的冷水，并配合砂浆液的温度曲线，防止由于晶锭受热膨胀引起的位置偏差和主辊的位移偏差形成相对位移导致切割硅片产生较大的形貌变量，以及正负补偿由于机架膨胀导致晶锭在不同切割区域的膨胀状况，使得整个切割过程的形状可控，进而提高硅片的平坦度，使硅片NT 10*10、NT 2*2的降低，进而nano提高，从而使硅片warp值整体降低区域平坦，硅片质量更好。
切割控制硅片形貌方法

[发明专利]一种压裂泵柱塞定位方法-CN202310195484.9在审
发明人：何虎;郑茂辉;张春霞;李国平;李玉忠;韩永胜;马玉怀;孔德勇;郑鹏德;雷会军 -专利权人：兰州众盛石油机械设备有限公司
申请日： 2023-03-03 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： F04B53/14 文献下载
摘要：一种压裂泵柱塞定位方法，包括介杆、卡箍、柱塞、密封组件和泵头，泵头内腔设有密封组件，密封组件套在柱塞上，其特征是柱塞一端设有内锥孔，与内锥孔相对接的介杆一端设有外锥体，内锥孔和外锥体锥度相同。装配时，将柱塞的内锥孔和介杆的外锥体对接装配在一起，并用卡箍固定。这种锥面定位方法，相比传统的圆柱面定位方法而言，其装配过程更加容易，装配后同轴度精度也更高，能显著避免柱塞偏磨，延长柱塞寿命。另外，在柱塞上设置内锥孔，一是不用增加柱塞长度，亦不增加柱塞成本，二是还可以减轻柱塞重量，减轻泵工的劳动强度。
一种压裂泵柱塞定位方法

[发明专利]一种真空泵自动吹扫的系统及其方法-CN202210454590.X在审
发明人：陈元寿;马玉怀 -专利权人：杭州中欣晶圆半导体股份有限公司;宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
申请日： 2022-04-24 - 公布日： 2022-08-12 - 主分类号： F04C29/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种真空泵自动吹扫的系统及其方法，包括真空泵本体，所述真空泵本体的顶部固定连通有清扫罐，且清扫罐的表面固定连通有进气罐，清扫罐的顶部固定连接有传动罐，本发明涉及真空泵技术领域。该真空泵自动吹扫的系统及其方法，通过设置有往复增压吹扫机构，利用驱动电机带动驱动转轴的转动，配合传动组件和啮合组件实现转动轮的转动，并且带动了空心板在支撑块的限位下实现前后侧的水平往复移动，以此带动了推动杆和推动板的同步移动，从而使得进气罐的内部实现间歇性自动化的吹扫操作，不仅能够有效的提高吹扫的效率，而且避免了人工清扫难度大，强度大的问题，同时也可以控制吹扫的频率，达到清理的最优化。
一种真空泵自动系统及其方法

[发明专利]一种半导体生长炉用调节控制系统及其调节方法-CN202210079677.3在审
发明人：吴学军;马玉怀;马彦新 -专利权人：杭州中欣晶圆半导体股份有限公司;宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
申请日： 2022-01-24 - 公布日： 2022-05-27 - 主分类号： C30B15/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种半导体生长炉用调节控制系统及其调节方法，包括第一支架，第一支架的一端表面固定连接有第二支架，第一支架的上端表面位于一端边缘处固定安装有承载座，承载座的上端表面设置有炉盖，炉盖的底端表面固定连接有炉体，本发明涉及半导体生长炉结构技术领域。本发明所述的一种半导体生长炉用调节控制系统及其调节方法，通过设置的第一支架组件结构，可方便吊起炉盖结构，以方便使用者往炉体中添加固定半导体材料，同时可方便对炉体内部装置结构进行检修或清洗，通过设置的第二支架组件结构，可方便在装置使用过程中吊起连接绳查看和收集产物，通过设置的炉体结构，其保温效果良好，升温速度块，可提升半导体生长速率。
一种半导体生长调节控制系统及其方法

[实用新型]切片机张力臂校准工装-CN202022160541.4有效
发明人：田建兵;马玉怀;殷效财 -专利权人：宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
申请日： 2020-09-27 - 公布日： 2021-06-01 - 主分类号： B26D7/14 文献下载
摘要：一种切片机张力臂校准工装，包括角度调节装置、重力牵引装置，角度调节装置包括调节件、第一定位连接部件、第二定位连接部件，第一定位连接部件套装在调节件上，第一定位连接部件与调节件螺纹连接，第二定位连接部件套装在调节件上，并与调节件螺纹连接，第一定位连接部件与第二定位连接部件对向设置，第一定位连接部件与第二定位连接部件之间留有间距，调节件上套装有锁定件，锁定件与调节件螺纹连接，锁定件位于第一定位连接部件远离第二定位连接部件的一侧；本实用新型通过设置的角度调节装置可将切片机的张力臂调整到与水平位置垂直的状态并固定好，使张力臂的角度不会发生变化，保证了张力臂的校准精度和效率。
切片机力臂校准工装

[实用新型]F型牙腹锁紧螺母专用工具-CN202021012494.2有效
发明人： 马玉怀;陈元寿 -专利权人：宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
申请日： 2020-06-05 - 公布日： 2021-04-02 - 主分类号： B25B13/48 文献下载
摘要：一种F型牙腹锁紧螺母专用工具，包括套筒，第一螺栓，套筒的内腔从左至右依次为第一空腔、第二空腔、第三空腔，第一空腔、第二空腔均为柱状，第三空腔为扳手槽，扳手槽的截面为矩形，在第一空腔对应位置套筒的环壁上设有四个第一螺纹孔，四个第一螺纹孔沿套筒的周向四分均布，第一螺纹孔贯通套筒的环壁，每一个第一螺纹孔对应设置一个第一螺栓，第一螺栓的直径不大于锁紧螺母环壁上缺口的宽度，利用该专用工具，可借助力矩扳手拆装F型牙腹锁紧螺母，解决了现有技术中不能直接力矩扳手直接拆装F型牙腹锁紧螺母的问题，而力矩扳手能精确控制力矩，从而避免了实际力矩无法检测而导致的F型牙腹锁紧螺母过松或过紧的问题。
型牙腹锁紧螺母专用工具

[实用新型]砂浆搅拌部件及切片机-CN202021439305.X有效
发明人：魏瑶;马玉怀 -专利权人：宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
申请日： 2020-07-21 - 公布日： 2021-03-26 - 主分类号： B24C9/00 文献下载
摘要：一种砂浆搅拌部件，包括驱动机构、砂浆箱体、搅拌主轴、搅拌叶片，所述砂浆箱体中空，所述驱动机构固设于砂浆箱体外侧顶部，所述驱动机构包括驱动转轴，所述驱动转轴的轴线方向竖直设置，驱动转轴内置于砂浆箱体中，所述搅拌主轴的轴线方向竖直，所述搅拌主轴的上端与驱动转轴的输出端固定连接，所述搅拌主轴与驱动转轴同轴连接，所述搅拌叶片固设于搅拌主轴的下端，驱动机构采用立式设计，驱动机构与搅拌主轴之间不必设置齿轮传动，避免了现有技术中齿轮磨损造成的设备故障，而且，驱动机构传动方向与搅拌主轴一致，传动不再需要经过90°转向，进一步减少了故障率，本实用新型还提供了一种切片机。
砂浆搅拌部件切片机

[实用新型]可便捷拆装清理式单晶炉-CN202020949520.8有效
发明人： 马玉怀;陈元寿 -专利权人：宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
申请日： 2020-05-29 - 公布日： 2021-01-29 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：一种可便捷拆装清理式单晶炉，包括炉体、排气装置，排气装置包括第一排气管、四通管、卡箍组件、盲板、真空阀、第二排气管、真空泵，第一排气管的入口端与炉体的内腔连通，第一排气管的出口端与四通管的左端口密封连接，四通管的右端口通过卡箍组件与盲板密封连接，四通管的上端口通过卡箍组件与盲板密封连接，四通管的下端口与真空阀的入口端密封连接，真空阀的出口端与第二排气管的入口端密封连接，第二排气管出口端与真空泵的入口密封连接，改用四通管作为连接管，管道内残留聚集的氧化物可以很轻松的、彻底的清理干净，四通管的右端口、上端口均通过卡箍组件盲板密封连接，安装和拆卸方便，有效的提高了清理效率。
便捷拆装清理式单晶炉

[实用新型]接着后晶棒接着力测试用晶棒夹持装置-CN202020598936.X有效
发明人：赵延祥;刘波;程博;马玉怀 -专利权人：宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
申请日： 2020-04-20 - 公布日： 2021-01-29 - 主分类号： C30B35/00 文献下载
摘要：一种接着后晶棒接着力测试用晶棒夹持装置，包括可调节夹持机构、固定连接板、牵拉连接件，固定连接板位于定位件的上部，可调节夹持结构安装在固定连接板的下部表面，并且可调节夹持结构能够沿固定连接板的下部表面相对滑动，牵拉连接件固定设置在固定连接板的上部表面，牵拉连接件的顶部与牵引绳固定连接；本实用新型依照晶棒接着后的形状制作夹持装置，通过夹持装置将晶棒牢固夹持锁死，通过将定位件固定在工作台面上，可以使接着后晶棒下部粘接的工件板卡入到定位件中，从而将接着后晶棒进行定位，防止晶棒在接着力测量时上下移动。
接着后晶棒测试用晶棒夹持装置

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