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- [发明专利]具有管状环境控制部件的晶圆容器-CN200980116740.9有效
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詹姆斯·A·沃森;约翰·伯恩斯;马丁·L·福布斯;马修·A·富勒;马克·V·史密斯
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安格斯公司
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2009-03-13
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2011-04-13
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H01L21/673
- 一种晶圆容器，利用刚性聚合物管状塔，所述塔具有狭槽和在其中的吸气剂，用于吸收和过滤所述晶圆容器中的湿气和蒸汽。所述塔优选利用容器基部的净化护环，并且在其中可以具有止回阀，以相对于所述塔控制进出容器的气体(包括空气)的流向。所述塔与所述护环密封地连接。所述塔可以具有以长圆形型式卷绕而形成或者成形为管状的吸气介质片，所述吸气介质布置在所述塔内并且可以具有轴向的延伸。介质可以提供主动的和/或被动的过滤以及具有再充装的能力。用于300mm尺寸的晶圆的前部开口的晶圆容器，在容器部的内后部中的左侧和右侧上，通常具有一对凹部。这些凹部优选地用于细长塔，这种塔基本上从底部晶圆位置延伸到顶部晶圆位置。在替换实施方式中，管状形状的吸气材料暴露在前部开口的容器内，而不会像在端部处那样使吸气剂不散开。管状吸气剂的形式优选为被支撑在离散的位置，以最大限度地暴露到内部容器环境。阻挡构件能够选择性地关闭孔。弹性盖可以有助于将管状部件固定在容器部中。
- 具有管状环境控制部件容器
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