“饶少凯”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果8个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]一种膜层结合力的测试方法-CN202011119341.2有效
发明人：王超;饶少凯;徐齐 -专利权人：长江存储科技有限责任公司
申请日： 2020-10-19 - 公布日： 2023-06-20 - 主分类号： G01N3/08 文献下载
摘要：本申请实施例公开了一种膜层结合力的测试方法，包括：采用压头压向测试样品的选定位置，在所述选定位置处形成压痕；增大施加在所述压头上的载荷以加深所述压痕的深度，并获得所述载荷与所述深度的对应关系变化曲线，直至所述曲线上包含至少两个所述压痕的深度发生突变的点；根据所述曲线确定与至少两个所述点相对应的至少两个载荷；将所述测试样品制备成满足以下条件的透射电镜检测样品：在采用透射电镜观测所述透射电镜检测样品时能够观测到所述压痕的横截面的微观形貌；采用透射电镜观测所述压痕，根据所述微观形貌确定所述至少两个载荷分别对应的膜层损伤类型。
一种结合测试方法

[发明专利]强度测量方法和样品-CN202011312363.0有效
发明人：王超;饶少凯;徐齐 -专利权人：长江存储科技有限责任公司
申请日： 2020-11-20 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： G01N3/20 文献下载
摘要：本发明实施例提供了一种强度测量方法和样品。其中，所述方法包括：通过提供待测半导体结构；选择所述待测半导体结构中的具有目标尺寸的部分区域作为待测试区域；去除待测试区域下方的部分结构，以使所述待测试区域悬空；对所述待测试区域施加载荷；确定所述待测试区域被破坏时，保存当前施加的载荷值；利用保存的载荷值，分析待测试区域的机械强度。
强度测量方法样品

[实用新型]一种薄膜应力测试装置-CN202122676509.6有效
发明人：施生巍;饶少凯;罗兴安;张莉;周毅;王超;锁志勇 -专利权人：长江存储科技有限责任公司
申请日： 2021-11-03 - 公布日： 2022-07-15 - 主分类号： G01L1/24 文献下载
摘要：本申请公开了一种薄膜应力测试装置，包括支撑座；样品台，样品台的顶部设置有用于承载基片的承载台面，样品台与支撑座转动连接，且样品台绕其中心轴旋转；用于发射激光束的激光发射装置，激光发射装置设置于承载台面的上方；激光探测装置，设置于所述承载台面的上方。本申请实施例中的样品台可以绕其中心轴旋转，使激光探测装置能够检测基片在各个径向上的曲率半径，从而能够拟合出基片整个表面的薄膜应力分布图。
一种薄膜应力测试装置

[发明专利]薄膜粘附强度的检测方法、待检测样品及检测装置-CN202110226163.1有效
发明人： 饶少凯;王超;徐齐;姜有东 -专利权人：长江存储科技有限责任公司
申请日： 2021-03-01 - 公布日： 2022-06-03 - 主分类号： G01N19/04 文献下载
摘要：本公开实施例公开了一种薄膜粘附强度的检测方法、待检测样品及检测装置。所述薄膜粘附强度的检测方法包括：提供待检测结构；其中，待检测结构包括第一薄膜和第二薄膜，第二薄膜覆盖第一薄膜；去除部分第二薄膜，直至显露第一薄膜，并基于残留在第一薄膜表面的第二薄膜形成凸起，以形成待检测样品；将检测装置的探针底部置于去除部分第二薄膜后所显露的第一薄膜表面，并沿平行于第一薄膜所在平面的方向向凸起移动探针，直至凸起与第一薄膜分离；在移动探针的同时，检测探针的载荷；根据凸起与第一薄膜分离时检测的探针的载荷，确定第一薄膜与第二薄膜之间的粘附强度。
薄膜粘附强度检测方法样品装置

[发明专利]使用FIB制备截面样品的方法和截面样品的观察方法-CN202210020997.1在审
发明人：姜有东;刘婧;饶少凯;冯路 -专利权人：长江存储科技有限责任公司
申请日： 2022-01-10 - 公布日： 2022-04-15 - 主分类号： G01N23/20008 文献下载
摘要：本申请涉及一种使用FIB束制备截面样品的方法和截面样品的观察方法。该使用FIB束制备截面样品的方法包括：提供半导体结构，在半导体结构的表面选择目标区域；在目标区域上形成保护层；在目标区域周围选择第一区域，第一区域包括除所述目标区域之外的部分区域或全部区域；沿第一方向减薄第一区域对应的第一半导体结构，使第一半导体结构与目标区域对应的第二半导体结构沿第一方向具有一高度差；减薄目标区域对应的第二半导体结构，使第二半导体结构沿第二方向具有一目标厚度，其中，第二方向垂直于第一方向。该方法可以缩短使用FIB制备截面样品的时间，同时获得完整且方便观察的截面样品，提高对样品观察的准确性。
使用 fib 制备截面样品方法观察

[发明专利]晶圆的键合程度的检测方法、检测装置和半导体工艺设备-CN202110034420.1有效
发明人：徐齐;王超;饶少凯 -专利权人：长江存储科技有限责任公司
申请日： 2021-01-11 - 公布日： 2022-03-11 - 主分类号： G01N19/04 文献下载
摘要：本申请提供了一种晶圆的键合程度的检测方法、检测装置和半导体工艺设备，该方法包括：获取晶圆在厚度方向上的截面，截面至少包括依次层叠的第一硅层、键合层和第二硅层，厚度方向平行于晶圆的厚度方向；控制压痕设备以预定载荷挤压第一硅层，以在第一硅层上产生裂纹；确定裂纹是否经过键合层并延伸至第二硅层，在裂纹经过键合层并延伸至第二硅层的情况下，确定晶圆的键合程度合格。该方法可以较为直观地对晶圆的中心区域、台阶区域等特定结构区域的键合程度进行确定，解决了现有技术中无法对晶圆的特定位置的界面键合强度进行测定的问题。
程度检测方法装置半导体工艺设备

[实用新型]一种新型速切西瓜刀-CN201620197564.3有效
发明人：李震宇;饶少凯;闵康 -专利权人：李震宇
申请日： 2016-03-15 - 公布日： 2016-08-31 - 主分类号： B26D1/09 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种西瓜刀，更具体的说是涉及一种新型速切西瓜刀。包括：刀刃、西瓜刀本体、支撑导杆、支撑座；所述西瓜刀本体用来安装西瓜刀刀刃；所述西瓜刀本体装有多块完全一样的西瓜刀刀刃；所述西瓜刀本体由内部环形安装框、外部环形安装框、手柄、和套环组成；所述支撑导杆与支撑座固结在一起；所述支撑导杆由伸缩支撑杆、高度调节孔、销钉、伸缩支撑套筒组成；所述伸缩支撑杆插装在伸缩支撑套筒中；所述西瓜刀本体的套环与支撑导杆过渡配合，保证切西瓜时西瓜刀本体的套环在支撑导杆做相对滑动。本实用新型提供的技术方案的有益效果是：该新型速切西瓜刀结构简单，使用方便，节约时间，降低成本且干净卫生。
一种新型西瓜刀

[实用新型]一种多功能集成电工工具刀-CN201620234693.5有效
发明人：史宏伟;史美英;史秀英;饶少凯;杨倩;闵康 -专利权人：闵康
申请日： 2016-03-25 - 公布日： 2016-08-03 - 主分类号： B25F1/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种电工工具刀，更具体的说是涉及一种多功能集成电工工具刀，包括刀柄、刀具、刀尾吊环；所述刀柄分为正反两面，正面与刀头连接的有麻花钻、钳子、剪刀、镊子四把电工工具，与刀尾连接的是5把一字形、十字头、六角头螺丝刀。所述反面则只与刀尾连接，为电工刀、锯齿、六角头螺母扳手、除锡刀具4把电工用具；所述刀柄侧面刀头处设有弯线磨具，同时刀柄最外侧面兼具锉刀功能；所述刀具增加了验短路器，在刀柄两侧端设有两个插孔；所述刀柄内部刀具都可绕其各自的销轴旋转0～180°。本实用新型提供的技术方案的有益效果是：该多功能电工工具刀，体积小，重量轻，使用方便，且携带便利，不易丢失。
一种多功能集成电工工具

1
共 8 条