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[发明专利]一种小型化的压电加速度传感器芯片-CN202310694249.6在审
发明人：盖广洪;颜逊 -专利权人：苏州航凯微电子技术有限公司
申请日： 2023-06-13 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： G01P15/09 文献下载
摘要：本发明公开了一种小型化的压电加速度传感器芯片，包括壳体、质量块、压电感应片、引出导线、支撑层和绝缘基座，所述支撑层分别设置于所述绝缘基座两端，所述压电感应片的两端分别固定于所述支撑层上，所述压电感应片两端分别设置有绝缘层，所述质量块位于所述压电感应片上表面。传感器压电感应片采用氮化铝压电陶瓷膜片，压电陶瓷膜片在受到加速度载荷时发生微压电效应，输出信号电压与加速度近似成线性函数关系，当被测加速度超过一定载荷后，或者测量频率达到传感器特征频率时，压电陶瓷膜片与绝缘基座发生接触，有效地保护了压电加速度传感器芯片免受损坏，此外，氮化铝压电陶瓷具有固有频率高、响应快、长期稳定性好等优点。
一种小型化压电加速度传感器芯片

[发明专利]一种小型化的纳米薄膜传感器-CN202310524787.0在审
发明人：盖广洪;颜逊 -专利权人：苏州航凯微电子技术有限公司
申请日： 2023-05-11 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： G01L1/22 文献下载
摘要：本发明公开了一种小型化的纳米薄膜传感器，涉及薄膜传感器技术领域，包括定位套环，所述定位套环的内表壁固定安装有外接螺纹管，所述定位套环的顶部固定安装有空心套筒，所述外接螺纹管的内部设置有芯体构成机构，所述芯体构成机构包括不锈钢弹性体，所述不锈钢弹性体的顶部设置有高阻敏感层，所述高阻敏感层的内部分别设置有氮化硅复合介质层、纳米薄膜电阻层、电连接层和钝化保护层，机构的外围材料均采用17‑4PH不锈钢为制作材料，其检测部分运用灵敏度高、测量应变范围大、电阻温度系数小的CrSi合金或者掺杂多晶硅作为应变敏感材料，通过离子束溅射沉积工艺制作，因此传感器的长期稳定性好、可靠性高，温度系数小，综合精度优异。
一种小型化纳米薄膜传感器

[实用新型]一种基于MEMS工艺的单轴压阻式加速度传感器-CN202223358693.0有效
发明人：盖广洪;刘坤;颜逊 -专利权人：苏州航凯微电子技术有限公司
申请日： 2022-12-14 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： G01P15/12 文献下载
摘要：本实用新型适用于加速度传感器技术领域，提供了一种基于MEMS工艺的单轴压阻式加速度传感器，包括检测层，所述检测层的上下两侧均设置有保护盖板，所述检测层包括支撑框架，所述支撑框架中对称安装有两个质量块，所述支撑框架中安装有限位梁，两个所述质量块均通过一个支撑梁与支撑框架的内壁连接，两个所述质量块的中心均通过链接梁与限位梁连接，两个所述质量块相对的一侧均设置有两个敏感梁，所述敏感梁远离质量块的一端连接于限位梁上，每个所述敏感梁上均设置有压敏电阻。该装置在保证结构在敏感方向上具有足够灵敏度的前提下，有效减小了其他非敏感方向上的灵敏度，并使固有频率的得到了提高。生产成本低、工艺易于实现。
一种基于 mems 工艺单轴压阻式加速度传感器

[实用新型]一种新型MEMS压阻式加速度传感器-CN202223361180.5有效
发明人：盖广洪;苗天宇;颜逊 -专利权人：苏州航凯微电子技术有限公司
申请日： 2022-12-14 - 公布日： 2023-03-31 - 主分类号： G01P15/12 文献下载
摘要：本实用新型适用于加速度传感器技术领域，提供了一种新型MEMS压阻式加速度传感器，包括外框，所述外框中安装有十字梁，所述十字梁用于将外框的内部分隔成四个安装区域，所述安装区域中安装有质量块，四个所述质量块分别通过一个应变梁与十字梁连接，四个所述应变梁中分别设置有一个半导体电阻，沿着传感器的工作方向，与同一坐标值的质量块连接的两个半导体电阻为电桥的一侧，通过四个半导体电阻构成惠斯通电桥。采用钟摆式结构，有效放大了质量块受力时的位移，再通过对质量块添加限位的方式对“应变梁‑质量块”结构进行保护，从而实现了高过载冲击保护。相对于传统的高g值加速度计，拥有更高的灵敏度。
一种新型 mems 压阻式加速度传感器

[实用新型]一种高抑制低通滤波器-CN202223003272.6有效
发明人：盖广洪;颜逊 -专利权人：苏州航凯微电子技术有限公司
申请日： 2022-11-11 - 公布日： 2023-03-24 - 主分类号： H03H7/01 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种高抑制低通滤波器，涉及滤波领域，该高抑制低通滤波器包括：LC滤波模块，用于对输入信号进行滤波处理；LC滤波模块由多个滤波电路串联所构成，相邻的滤波电路正反相间安装；滤波电路包括第一电感、第一电容、第二电容、第三电容，与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型相邻的滤波电路正反相间安装，使得相邻的空芯线圈在LC滤波器中安装左右区域正反相间安装，使滤波电路互感减小，通过调整空芯电感的感值，达到增加震荡传输特性，增加电感Q值，提升滤波器指标的目的，兼顾了滤波器性能和体积，具有结构紧凑、高抑制，高陡度、低损耗的优点。
一种抑制滤波器

[实用新型]一种小型化低耦合效应压阻式加速度传感器-CN202223290825.0有效
发明人：盖广洪;李嘉骐;颜逊 -专利权人：苏州航凯微电子技术有限公司
申请日： 2022-12-08 - 公布日： 2023-03-17 - 主分类号： G01P15/12 文献下载
摘要：本实用新型适用于加速度传感器技术领域，提供了一种小型化低耦合效应压阻式加速度传感器，包括硅片层，所述硅片层的两侧均设置有保护层，所述硅片层包括支撑框，所述支撑框中安装有质量块，所述质量块的两侧分别通过一个S桥与支撑框的内壁连接；所述S桥包括两个桥墩和一个桥身，两个桥墩设置于桥身的两端，且其中一个桥墩与质量块连接，另一个桥墩与支撑框的内壁连接；所述S桥的桥身的两端分别设置有一个敏感梁，其中一个敏感梁与支撑框的内部连接，另一个所述敏感梁与质量块连接。该装置采用“悬臂梁（S桥）‑质量块”结构，能够有效解决压阻式原理灵敏度低的问题，低耦合效应能大大提高传感器的抗干扰能力，降低用户的误操影响。
一种小型化耦合效应压阻式加速度传感器

[实用新型]一种低耦合的自限位压阻式加速度传感器-CN202223290819.5有效
发明人：盖广洪;朱明君;颜逊 -专利权人：苏州航凯微电子技术有限公司
申请日： 2022-12-08 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： G01P15/12 文献下载
摘要：本实用新型适用于加速度传感器技术领域，提供了一种低耦合的自限位压阻式加速度传感器，包括惯性力敏感检测层，所述惯性力敏感检测层的上下两侧均安装有保护盖板，所述惯性力敏感检测层包括安装块，所述安装块中开设有扇形的自限位卡槽，所述自限位卡槽中安装有扇形的质量块，所述质量块靠近圆心角的一端连接有敏感梁，所述敏感梁为全通窄臂结构，所述安装块上还设置有引线端子台，所述引线端子台包括多个引线端子，所述引线端子台通过引线连接有两个参考电阻和两个工作电阻，所述工作电阻设置于敏感梁上。该装置整体结构简单，成本低，线性度好，灵敏度高且具有自限位抗冲击载荷能力。
一种耦合限位压阻式加速度传感器

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