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[发明专利]一种用于碳化硅长晶废料的回收装置-CN202111582018.3有效
发明人：沈晓宇;郁思烨;叶国伟;肯尼斯·奥佐门纳;彼得·辛格;张忠杰;叶彬;韩江山;李嘉炜 -专利权人：浙江东尼电子股份有限公司
申请日： 2021-12-22 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： B02C4/02 文献下载
摘要：本发明属于碳化硅技术领域，尤其涉及一种用于碳化硅长晶废料的回收装置。本发明通过用于储存、研磨和筛选碳化硅废料的箱体单元，设置在箱体单元上并用于向石英舟上投放碳化硅废料的漏斗单元，以及设置在箱体单元上并用于调整漏斗单元位置的转盘单元起到了回收碳化硅长晶废料的技术效果。本发明具有结构简单、安装方便，通过一步转动转盘的动作即可实现研磨和投放碳化硅废料，并且转盘在不使用时具有脱离锁定功能避免意外转动导致碳化硅废料掉落造成污染，同时设计了转盘推动即可回归锁定使得使用时仅需操作转盘一个部件操作方式操作简便，以及额外设置筛网和投料板等结构实现了对研磨后废料进行筛选的优点。
一种用于碳化硅废料回收装置

[实用新型]一种用于籽晶表面的刮胶装置-CN202220474168.6有效
发明人：沈晓宇;叶国伟;肯尼斯·奥佐门纳;彼得·辛格;张忠杰;薛彦鹏;韩江山 -专利权人：浙江东尼电子股份有限公司;湖州东尼半导体科技有限公司
申请日： 2022-03-07 - 公布日： 2022-08-19 - 主分类号： B05C11/02 文献下载
摘要：本实用新型属于晶体生长技术领域，尤其涉及一种用于籽晶表面的刮胶装置。本实用新型通过悬挂臂连接的固定板，设置在所述固定板侧面上的支架单元，设置在所述支架单元上并用于刮涂籽晶表面的粘接胶的刮板单元，以及设置在所述支架单元上并用于旋转调节刮板单元倾斜角度的旋转块单元。起到了在碳化硅制备过程中调整刮板对粘接胶角度的技术效果。本实用新型可在刮胶过程进行之前对刮板角度进行调节，同时通过旋转块的调节作用来改变刮板的角度，设置了限位块机构使得刮板的角度一旦调节完成后即实现固定，并且当调整刮板角度时朝方柱方向推动旋转块即可实现对限位块的解锁效果，调整好刮板角度后松开旋转块即可使得刮板重新恢复锁定效果。
一种用于籽晶表面装置

[发明专利]一种用于碳化硅制备过程的坩埚装置-CN202210214852.5在审
发明人：沈晓宇;叶国伟;肯尼斯·奥佐门纳;彼得·辛格;张忠杰;薛彦鹏;韩江山 -专利权人：浙江东尼电子股份有限公司
申请日： 2022-03-07 - 公布日： 2022-07-05 - 主分类号： C30B35/00 文献下载
摘要：本发明属于碳化硅晶体技术领域，尤其涉及一种用于碳化硅制备过程的坩埚装置。本发明通过坩埚主体，加热板，底座单元，放置板，旋转柱单元，以及夹持板单元起到了快速在加热装置和非加热装置之间移动制备碳化硅晶体坩埚的技术效果。本发明具有下列优点：通过夹持作用在加热和非加热装置之间移动坩埚，减少对设备的损坏以及方便在损坏后替换相应部件；通过一步按压操作对夹持用弹簧的解锁即可实现对坩埚的夹持作用；通过夹持装置与旋转柱配合，仅需一步旋转操作即可将坩埚移动到指定地点，快速且精准；旋转柱中设置了回弹机构使得在自然状态下夹持装置始终位于非加热装置上方，避免在坩埚加热过程中因操作不当而损坏夹持装置。
一种用于碳化硅制备过程坩埚装置

[实用新型]一种碳化硅衬底片封装装置-CN202123031706.9有效
发明人：沈晓宇;章萌春;叶彬;韩江山;李嘉炜 -专利权人：浙江东尼电子股份有限公司;湖州东尼半导体科技有限公司
申请日： 2021-12-06 - 公布日： 2022-07-01 - 主分类号： B65D55/02 文献下载
摘要：本实用新型属于碳化硅技术领域，尤其涉及一种碳化硅衬底片封装装置。本实用新型通过用于盛装衬底片的盒体单元，以及设置在盒体单元上的盒盖单元；盒体单元包括卡合柱，盒盖单元包括用于卡合在卡合柱上的按压柱起到了方便安装碳化硅衬底片的技术效果。本实用新型具有结构简单，安装方便，通过一次按压操作即可实现盒盖与盒体连接密封操作简单，同时仅通过一次推动的方式即可实现盒盖与盒体脱离，并且采用了斜面插入提升柱体使其与卡合柱脱离卡合状态的方式较为省力，以及设置了弹簧复位装置使得按压柱与推动柱均可实现自动复位功能的优点。
一种碳化硅衬底封装装置

[发明专利]一种用于碳化硅PVT生长过程的坩埚散热装置-CN202210214853.X在审
发明人：沈晓宇;叶国伟;肯尼斯·奥佐门纳;彼得·辛格;张忠杰;薛彦鹏;韩江山 -专利权人：浙江东尼电子股份有限公司
申请日： 2022-03-07 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： C30B23/00 文献下载
摘要：本发明属于碳化硅单晶技术领域，尤其涉及一种用于碳化硅PVT生长过程的坩埚散热装置。本发明通过用于承载和运输坩埚的输送带单元，设置在输送带单元上散热筒单元，以及设置在散热筒单元上，并用于对坩埚进行散热的风机，以及设置在散热筒单元上，并用于打开或者关闭散热筒单元入口的滑动门单元起到了快速为坩埚降温并在散热筒单元的包覆作用下有效利用了风机制造的气流为坩埚进行全方位散热的技术效果。本发明具有下列优势，坩埚进入散热筒后通过导流板的作用使得风机吹出的风经过坩埚各个表面，通过触发开关使得滑动门自动关闭，并且导流板自动打开的同时开启风机，以及导流板设有可伸缩的滑动板便于调节长度。
一种用于碳化硅 pvt 生长过程坩埚散热装置

[发明专利]一种碳化硅单晶生长装置-CN202111580680.5在审
发明人：沈晓宇;叶国伟;刘博浩;肯尼斯·奥佐门纳;彼得·辛格;张忠杰;唐旭东;韩江山;李嘉炜 -专利权人：浙江东尼电子股份有限公司
申请日： 2021-12-22 - 公布日： 2022-05-06 - 主分类号： C30B29/36 文献下载
摘要：本发明属于碳化硅技术领域，尤其涉及一种碳化硅单晶生长装置。本发明通过用于盛放碳化硅单晶生长原料的坩埚，以及加热筒，还包括设置在坩埚上的升降杆单元，设置在升降杆单元上的箱体单元，以及设置在箱体单元上并用于调整升降杆单元位置的转盘单元起到了灵活调整加热温度的技术效果。本发明具有结构简单，安装方便，通过升降杆调整坩埚与加热筒的相对位置以实现温度控制，并且设置挤压杆部使得坩埚上升到一定高度便实现自锁功能停止上升避免与加热筒脱离导致温度过低，以及设置伸缩柱部使得坩埚下降到一定高度亦可实现自锁功能避免与加热筒接触导致温度过高，同时设置了弹簧、传动杆、传动绳等传动结构用于实现自动锁定和自动解锁的优点。
一种碳化硅生长装置

[实用新型]坩埚盖和坩埚-CN201721136202.4有效
发明人：张岩;樊本杰;赵然;曹祐铭;赵子强;冯恒毅;马鹏翔;陈鹏磊;孙建;韩江山;陈菲菲 -专利权人：中科钢研节能科技有限公司;上海大革智能科技有限公司
申请日： 2017-09-06 - 公布日： 2018-07-27 - 主分类号： C30B29/36 文献下载
摘要：本实用新型涉及碳化硅长晶领域，公开了一种坩埚盖和坩埚，该坩埚盖包括坩埚盖本体(1)和籽晶托(2)，所述坩埚盖本体(1)与所述籽晶托(2)活动连接，所述坩埚盖本体(1)暴露于坩埚内腔的部分的表面设置有TaC涂层(3)。本实用新型的坩埚盖暴露于坩埚内腔的部分的表面设置有TaC涂层，可以防止硅腐蚀，并且，坩埚盖本体与籽晶托是可分离的，长晶结束后，可取下籽晶托，更换新的籽晶，达到坩埚盖的重复使用。
坩埚盖籽晶托本实用新型表面设置坩埚内腔坩埚活动连接硅腐蚀可分离碳化硅下籽晶暴露籽晶

[实用新型]坩埚盖和坩埚-CN201721136237.8有效
发明人：张岩;韩江山;赵然;曹祐铭;赵子强;冯恒毅;马鹏翔;陈鹏磊;孙建;樊本杰;陈菲菲 -专利权人：中科钢研节能科技有限公司;上海大革智能科技有限公司
申请日： 2017-09-06 - 公布日： 2018-07-27 - 主分类号： C30B29/36 文献下载
摘要：本实用新型涉及碳化硅长晶领域，公开了一种坩埚盖和坩埚，所述坩埚盖的上表面形成有凹槽(1)，所述凹槽(1)内可拆卸地设置有一个或多个温度调节片(2)，所述温度调节片(2)上形成有贯穿上下表面的通孔(3)。本实用新型中，仅仅通过调节坩埚盖的凹槽中的温度调节片的数量，达到灵活调节热场的温度梯度，大大节约了生长碳化硅的成本。
坩埚盖温度调节片本实用新型碳化硅坩埚上下表面温度梯度可拆卸上表面热场通孔生长贯穿节约灵活

[实用新型]一种超声振动辅助磨削掏棒机床主轴-CN201621005802.2有效
发明人：胡中伟;谢斌晖;韩江山 -专利权人：福建晶安光电有限公司
申请日： 2016-08-31 - 公布日： 2017-03-08 - 主分类号： B24B1/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种超声振动辅助磨削掏棒机床主轴，用于蓝宝石晶体掏棒，包括与机床连接的支承轴承、主轴壳体、超声电源、超声振动系统及前端表面带金刚石磨料的空心套筒工具头，机床电机带动主轴以一定的转速做旋转运动；所述超声振动系统由超声电源、超声换能器和超声变幅杆组成，超声振动系统产生一定振幅和频率的超声振动，使得工具磨头在旋转的同时还具有一定频率和振幅的超声振动；所述超声振动系统通过超声变幅杆之前端节点位置与主轴壳体相固定连接；所述工具头与超声振动系统同轴，通过螺栓固定在超声变幅杆上；超声信号通过电刷和感应线圈传递给超声振动系统，由超声变幅杆的轴向振动带动工具头做轴向振动。
一种超声振动辅助磨削机床主轴

[实用新型]一种大尺寸蓝宝石炉垂直加热器结构-CN201520711414.5有效
发明人：叶国伟;韩江山;李小马;陈华荣 -专利权人：福建晶安光电有限公司
申请日： 2015-09-15 - 公布日： 2016-01-13 - 主分类号： C30B35/00 文献下载
摘要：本实用新型公开一种大尺寸蓝宝石炉垂直加热器结构，包括垂直的钨加热棒和底部圆形钨环。钨加热棒上部插入两个铜电极中，下部插入底部的钨环中。本实用新型为大尺寸蓝宝石长晶炉提供了一种加热方式，不仅可以创造更加均匀的热场条件，同时有效的降低了蓝宝石炉热场的使用成本。
一种尺寸蓝宝石垂直加热器结构

[实用新型]一种掏晶棒的治具-CN201520608196.2有效
发明人：叶国伟;李小马;韩江山;连旗峰 -专利权人：福建晶安光电有限公司
申请日： 2015-08-13 - 公布日： 2016-01-06 - 主分类号： B28D7/04 文献下载
摘要：一种掏晶棒的治具，包含底板、导轨、前支撑架、后支撑架、左右支撑架和上支撑架，其特征在于：所述导轨安装在底板内，所述前支撑架、左右支撑架通过导轨与底板连接，所述后支撑架和上支撑架固定在底板上，通过各支撑架在三维空间内移动，实现夹紧晶体、调整晶体位置，从而在晶体内掏取晶棒。本实用新型制作简单，可以很好地固定已掏过晶棒的晶体，对晶体进行二次利用，避免再次切割晶体以及减少固定晶体所需固定胶等，这样不仅减少生产时间而且减少了物料消耗，进一步提高了晶体的整体利用率，降低了成本。
一种掏晶棒

[发明专利]一种大尺寸蓝宝石炉垂直加热器结构-CN201510584140.2在审
发明人：叶国伟;韩江山;李小马;陈华荣 -专利权人：福建晶安光电有限公司
申请日： 2015-09-15 - 公布日： 2015-11-25 - 主分类号： C30B35/00 文献下载
摘要：本发明公开一种大尺寸蓝宝石炉垂直加热器结构，包括垂直的钨加热棒和底部圆形钨环。钨加热棒上部插入两个铜电极中，下部插入底部的钨环中。本发明为大尺寸蓝宝石长晶炉提供了一种加热方式，不仅可以创造更加均匀的热场条件，同时有效的降低了蓝宝石炉热场的使用成本。
一种尺寸蓝宝石垂直加热器结构

[实用新型]一种基于半模基片集成波导的带通滤波器-CN201320504982.9有效
发明人：任姚;晏翔;潘锋;张健;徐克;干军;韩江山;戴勇琦;吴迪;潘建乔;栾伊斌 -专利权人：国家电网公司;国网浙江省电力公司嘉兴供电公司;国网浙江平湖市供电公司
申请日： 2013-08-19 - 公布日： 2013-12-25 - 主分类号： H01P1/203 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种基于半模基片集成波导的带通滤波器，包括立方体结构的介质基片，在介质基片的上表面设有金属贴片，上表面金属贴片的两端分别连接信号输入带状阻抗转换器和信号输出带状阻抗转换器，介质基片在上表面金属贴片上边沿下方设有一排金属通孔，在介质基片的下表面设有下表面金属贴片，在下表面金属贴片上刻蚀有四个U型缺陷地结构，这四个U型缺陷地结构位于信号输入/输出带状阻抗转换器的下方，该带通滤波器通过信号输入带状阻抗转换器与信号输入端连接，通过信号输出带状阻抗转换器与信号输出端相连接。本实用新型与现有技术相比，成本低、加工难度低，而且尺寸小，易于集成。
一种基于半模基片集成波导带通滤波器

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