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[发明专利]用于厚金电镀的光刻工艺方法-CN202211709397.2在审
发明人：杨飞;赵涛 -专利权人： 陕西光电子先导院科技有限公司
申请日： 2022-12-29 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明公开了用于厚金电镀的光刻工艺方法，具体包括对准标靶制作，然后进行溅射导电层，最后进行电镀光刻工艺；本发明在电镀光刻工艺去边过程中，不需要引入其它设备配置以及化学溶剂，可以简单高效的解决去边光刻胶的问题，大幅度节省成本的一种高效手段。
用于电镀光刻工艺方法

[发明专利]用于带沟槽晶圆三层胶一次曝光一次显影的金属剥离方法-CN202211487546.5在审
发明人：刘阿娟;侯鹏 -专利权人： 陕西光电子先导院科技有限公司
申请日： 2022-11-25 - 公布日： 2023-06-02 - 主分类号： H01L21/027 文献下载
摘要：本发明公开一种用于带沟槽晶圆三层胶一次曝光一次显影的金属剥离方法，包括在晶圆表面上包括凹槽内依次旋涂或喷涂第一层感光光刻胶、不感光的光刻胶和另一层感光光刻胶，共三层胶，之后再选择光刻板进行一次曝光，依次进行一次显影、溅射金属、超声波浸泡和剥离。本发明在光刻显影后，沟槽光刻胶可全部干净，沟槽外平台倒角横向长度可到1.1微米‑2.3微米左右，在后续溅射金属时满足倒角处无金属粘连，能够满足剥离的需求，达到易剥离且图形边缘没有残余金属的效果。
用于沟槽三层一次曝光显影金属剥离方法

[发明专利]减薄晶圆在匀胶过程中的加固处理方法-CN202211570945.8在审
发明人：杨飞;仝轩 -专利权人： 陕西光电子先导院科技有限公司
申请日： 2022-12-08 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： G03F7/16 文献下载
摘要：本发明公开了减薄晶圆在匀胶过程中的加固处理方法，步骤1，将晶圆通过减薄制备成薄片晶圆；步骤2，将制备的薄片晶圆需要匀胶的面正对真空吸板放置，吸上真空后，将蓝膜均匀的贴在薄片晶圆背面，关闭真空，取下带有蓝膜的晶圆；步骤3，将得到的带有蓝膜的晶圆放置在匀胶机真空载台上，开启真空，将带有蓝膜的晶圆固定；步骤4，设定recipe进行匀胶工艺；步骤5，匀胶后关闭真空，将带有蓝膜的晶圆放置在热板上烘烤；步骤6，烘烤完成后将带有蓝膜的晶圆匀胶面正对真空板放置，抽真空，将晶圆固定后，去除圆晶背面的蓝膜后，取下晶圆，完成匀胶工艺；解决了现有晶圆减薄至50μm～200μm厚度时在匀胶过程中容易破碎的问题。
减薄晶圆过程中的加固处理方法

[发明专利]快速验证VCSEL外延片的工艺方法-CN202211654729.1在审
发明人：赵涛;付鹏;赵恒;杨女燕;张文 -专利权人： 陕西光电子先导院科技有限公司
申请日： 2022-12-22 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： H01S5/183 文献下载
摘要：本发明公开了快速验证VCSEL外延片的工艺方法，具体为：在外延片正面沉积一层钝化层，进行正面第一道MESA光刻，形成MESA图层，然后使用ICP蚀刻机进行蚀刻，露出高铝层，再进行湿法氧化；然后进行第二道光刻，露出15‑25微米的圆环，圆环内径区域是出光口，使光刻的形貌为下面宽上面窄，最后再进行ICP蚀刻，蚀刻掉钝化层，蚀刻到外延片的P型欧姆接触层,完成后蒸镀金属、退火处理，此时正面与背面形成比较好的欧姆接触。本发明方法快速验证所购买的外延片的质量，节约验证时间与成本；芯片厂的快速验证的电性数据反馈给外延厂，外延厂能快速的优化外延结构，缩短产品的研发周期，提升外延厂的产品竞争力。
快速验证 vcsel 外延工艺方法

[发明专利]减薄晶圆手动剥离治具及剥离方法-CN202211652864.2在审
发明人：刘阿娟;彭飞;侯鹏;张静 -专利权人： 陕西光电子先导院科技有限公司
申请日： 2022-12-21 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本发明公开的减薄晶圆手动剥离治具，包括手柄，手柄一端固定有置物盘，置物盘上设置有可拆卸的多孔载片。本发明还公开了使用该减薄晶圆手动剥离治具进行剥离的方法，首先，将多孔载片和减薄晶圆固定在置物盘上，其次，将固定了减薄晶圆的剥离治具放入剥离液中进行超声波剥离，并进一步浸泡清洗、除水从而获得剥离晶圆，最后，通过显微镜对剥离晶圆进行检查。本发明的减薄晶圆手动剥离治具结构简单，拆装便捷，可以兼容不同尺寸规则或不规则的减薄晶圆，且可保证在不破片的前提下获得较佳的剥离效果。
减薄晶圆手动剥离方法

[发明专利]薄片晶圆在匀胶过程中的加固方法-CN202211709511.1在审
发明人：杨飞;赵涛 -专利权人： 陕西光电子先导院科技有限公司
申请日： 2022-12-29 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： G03F7/16 文献下载
摘要：本发明公开了薄片晶圆在匀胶过程中的加固方法，步骤1，准备大小不一的两个实验载片将其贴合，然后整面贴蓝膜将两个实验载片固定；步骤2，在步骤1的小实验载片上开孔蓝膜，并去除掉蓝膜；步骤3，将小实验载片替换成薄片晶圆并将蓝膜贴重新贴上；步骤4，将薄片晶圆边缘的蓝膜碾压至无气泡为止；步骤5，将步骤4中大实验载片使用匀胶机匀胶后，取下大实验载片，将蓝膜从边缘撕掉，取下薄片晶圆进行热板烘烤，后即完成薄片晶圆匀胶工艺，本发明提供了薄片晶圆在进行光刻工艺过程中，如何进行匀胶的技术手段，解决了现有的匀胶过程中晶圆易破碎的问题。
薄片过程中的加固方法

[实用新型]特种气体气柜紧急供气装置-CN202220684297.8有效
发明人：陈刚 -专利权人： 陕西光电子先导院科技有限公司
申请日： 2022-03-25 - 公布日： 2022-07-12 - 主分类号： F17D1/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了特种气体紧急气动阀门供气装置，包括并列设置的电磁阀a和电磁阀b，电磁阀a和电磁阀b一端均通过管路与调压阀连接，调压阀通过管路与手阀连接，电磁阀a和电磁阀b另一端分别通过管路依次与单向阀a、三通阀门a和单向阀b、三通阀门b连接，电磁阀a和电磁阀b两端分别通过管路连通并在管路上设有旁通路阀门a和旁通路阀门b，电磁阀a和电磁阀b还连接有PLC，PLC连接有FMCS和蓄电池，蓄电池连接有电源和声光报警灯。本实用新型特种气体紧急气动阀门供气装置，在遇到设备故障或者局部电路故障时，此装置的气体能够在最短的时间内打开气体供给管路上的气动阀门，使气体恢复正常供应，避免或者最大程度减少工艺方面的损失。
特种气体紧急供气装置