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[实用新型]一种返修设备制程腔的风刀防结晶装置-CN201921630954.5有效
发明人：钟义顺;吴云桂;朱子寰;朱廷;石博平;刘红艳;陈长增;王小霞 -专利权人：南京中电熊猫液晶材料科技有限公司
申请日： 2019-09-27 - 公布日： 2020-10-23 - 主分类号： B08B3/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种返修设备制程腔的风刀防结晶装置，返修设备制程腔腔体槽下部设有腔体口，腔体口通过TANK回流自动阀连接药液槽，通过排水自动阀连接排水口，两个风刀设于腔体槽中，分别连接纯净干空气供给装置和超纯水供给装置，风刀与纯净干空气供给装置和超纯水供给装置的连接管路上分别设有纯净干空气防水自动阀、超纯水自动阀和管道加热器。其工作方法包括：1）排水准备；2）风刀重洗；3）烘干清除。优点：1）结构简单，操作方便，成本低廉，有效避免人力手动清理的风险，显著提高产量和设备稼动率，保证了设备稳定性和产品工艺品质。2）改善了药液超消耗的问题，降低了生产成本，节能减材。
一种返修设备制程腔风刀防结晶装置

[实用新型]一种真空溅射镀膜设备的基板抓取装置-CN201921629857.4有效
发明人：朱子寰;李亚明;朱廷;陈长增;钟义顺 -专利权人：南京中电熊猫液晶材料科技有限公司
申请日： 2019-09-27 - 公布日： 2020-07-10 - 主分类号： B25J15/06 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种真空溅射镀膜设备的基板抓取装置，真空吸盘固定在滑块上，滑块通过滚珠丝杆和导轨配合与机器人手臂连接，滚珠丝杆与小型伺服电机连接，真空接口使用软管与真空源连接，测距传感器安装于吸盘旁边。工作方法包括：1）机器人手臂处于测距位置，真空吸盘位于吸盘原点，各个真空吸盘与其所对应的基板理想平面的距离为d0。2）测得吸盘与基板间的距离d1，小型伺服电机根据距离信息对吸盘的伸出量进行相应的增加或减少，形成与基板弯曲形状一致的位置分布，机器人手臂完成吸真空。优点：1）提高设备稼动率。2）提高产品良率。降低来自基板磨损、划伤、破裂等方面的不良。3）减少真空吸附不良导致的基板飞出等安全隐患。
一种真空溅射镀膜设备抓取装置

[实用新型]一种防冲击冷阱冷媒盘管结构-CN201921629862.5有效
发明人：李亚明;彭建中;朱廷;陈长增;钟义顺 -专利权人：南京中电熊猫液晶材料科技有限公司
申请日： 2019-09-27 - 公布日： 2020-06-02 - 主分类号： F28F9/013 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种防冲击冷阱冷媒盘管结构，包括铜管支架、冷媒盘管、特氟龙固定板，所述特氟龙固定板表面设有多个通孔，通孔直径与冷媒盘管直径相等，冷媒盘管穿过通孔固定于特氟龙固定板上，用螺丝将特氟龙固定板与铜管支架固定连接。所述冷媒盘管管壁厚1.2mm。优点：1）将冷媒盘管与铜板焊接的固定方式改为铜管与特氟龙套管的固定，有效避免了冷媒冲击造成盘管振动，振动能量全部由焊点吸收，造成焊点脱焊发生的情况。既可以有效防止冷媒冲击对盘管震动造成的硬力碰撞，也可以防止固定不良造成的脱管发生。2）结构简单，安装方便，成本低廉，有利于大规模推广实施。
一种冲击冷媒结构

[发明专利]一种返修设备制程腔的风刀防结晶装置及其工作方法-CN201910927794.9在审
发明人：钟义顺;吴云桂;朱子寰;朱廷;石博平;刘红艳;陈长增;王小霞 -专利权人：南京中电熊猫液晶材料科技有限公司
申请日： 2019-09-27 - 公布日： 2019-12-27 - 主分类号： B08B3/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种返修设备制程腔的风刀防结晶装置及其工作方法，返修设备制程腔腔体槽下部设有腔体口，腔体口通过TANK回流自动阀连接药液槽，通过排水自动阀连接排水口，两个风刀设于腔体槽中，分别连接纯净干空气供给装置和超纯水供给装置，风刀与纯净干空气供给装置和超纯水供给装置的连接管路上分别设有纯净干空气防水自动阀、超纯水自动阀和管道加热器。其工作方法包括：1）排水准备；2）风刀重洗；3）烘干清除。优点：1）结构简单，操作方便，成本低廉，有效避免人力手动清理的风险，显著提高产量和设备稼动率，保证了设备稳定性和产品工艺品质。2）改善了药液超消耗的问题，降低了生产成本，节能减材。
供给装置风刀超纯水干空气自动阀返修设备腔体口制程排水防结晶装置管道加热器回流自动阀设备稳定性产品工艺连接管路槽下部稼动率排水口腔体槽药液槽烘干腔腔生产成本防水节能消耗保证

[发明专利]一种真空溅射镀膜设备的基板抓取装置及其工作方法-CN201910926635.7在审
发明人：朱子寰;李亚明;朱廷;陈长增;钟义顺 -专利权人：南京中电熊猫液晶材料科技有限公司
申请日： 2019-09-27 - 公布日： 2019-12-24 - 主分类号： B25J15/06 文献下载
摘要：本发明涉及一种真空溅射镀膜设备的基板抓取装置，真空吸盘固定在滑块上，滑块通过滚珠丝杆和导轨配合与机器人手臂连接，滚珠丝杆与小型伺服电机连接，真空接口使用软管与真空源连接，测距传感器安装于吸盘旁边。工作方法包括：1）机器人手臂处于测距位置，真空吸盘位于吸盘原点，各个真空吸盘与其所对应的基板理想平面的距离为d0。2）测得吸盘与基板间的距离d1，小型伺服电机根据距离信息对吸盘的伸出量进行相应的增加或减少，形成与基板弯曲形状一致的位置分布，机器人手臂完成吸真空。优点：1）提高设备稼动率。2）提高产品良率。降低来自基板磨损、划伤、破裂等方面的不良。3）减少真空吸附不良导致的基板飞出等安全隐患。
吸盘基板机器人手臂真空吸盘小型伺服电机滚珠丝杆滑块真空溅射镀膜设备测距测距传感器原点安全隐患产品良率导轨配合基板弯曲基板抓取距离信息理想平面位置分布形状一致真空接口真空吸附软管稼动率伸出量吸真空真空源划伤磨损破裂

[实用新型]60段TRAY粘连结构-CN201620214851.0有效
发明人：林连琨;陈运;刘电波;陈楠;徐伟;王金龙;陈长增 -专利权人：南京中电熊猫液晶材料科技有限公司
申请日： 2016-03-21 - 公布日： 2016-08-31 - 主分类号： B25J15/00 文献下载
摘要：本实用新型是60段TRAY粘连结构，其特征是包括机器人夹爪治具，机器人夹爪治具厚度为30毫米，治具完全插入TRAY盘里。本实用新型的优点：机器人夹爪治具能把TRAY完全脱开，解决了60段TRAY粘连问题，在六轴手臂的6个气缸上安装治具，达到在取每一层TRAY时不被粘连，从一开始就把两层TRAY盘脱开，提高稼动率，也减少了人工干预，也达到了出货需求，降低了对六轴机器人手臂的损伤。
60 tray 粘连结构

[实用新型]溅镀防着板降低peeling结构-CN201620214852.5有效
发明人：朱廷;张飞;闵淼淼;朱子寰;黎凤燕;钟义顺;陈长增;石博平 -专利权人：南京中电熊猫液晶材料科技有限公司
申请日： 2016-03-21 - 公布日： 2016-08-31 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本实用新型是溅镀防着板降低peeling结构，其特征是防着板1的纵向设A加强肋2，防着板1的横向设B加强肋3。本实用新型的优点：利用A加强肋2、B加强肋3的材料拉伸、压缩屈服强度抵抗防着板1的变形。避免防着板1表面附着的膜层断裂、peeling。防着板自身的抵抗变形强度得到增强。
防着降低 peeling 结构

[实用新型]预烘烤机升华物监控收集装置-CN201620172301.7有效
发明人：赵玉财;吴云桂;张伟伟;陈长增;张飞;颜媛;高坚 -专利权人：南京中电熊猫液晶材料科技有限公司
申请日： 2016-03-08 - 公布日： 2016-08-10 - 主分类号： G03F7/38 文献下载
摘要：本实用新型是预烘烤机升华物监控收集装置，其结构包括进气管1、排气管2、冷却板3、可视窗4、气动阀门5、收集罐6、信号控制线路7，其中进气管1设在装置的左侧，装置底面上是排气管2，装置底部是收集罐6，收集罐6通过信号控制线路7与可视窗4相接，装置顶部设冷却板3，收集罐6上设手动阀门5。本实用新型的优点：1）所对应的预烘烤机冷却板所收集到的升华物，可及时监控收集状态，升华物不堵塞管道，确保设备连续工作；2）升华物清洁无需停止生产，无需拆卸冷却板；3）可实现自动监控和控制，保证设备的稼动率，减少维护时间，提高设备的效率。
烘烤升华监控收集装置

[实用新型]清洗机排汽装置-CN201620214848.9有效
发明人：张飞;赵玉财;朱廷;朱子寰;黎凤燕;闵淼淼;钟义顺;陈长增 -专利权人：南京中电熊猫液晶材料科技有限公司
申请日： 2016-03-21 - 公布日： 2016-08-10 - 主分类号： F16T1/00 文献下载
摘要：本实用新型是清洗机排汽装置，包括A排汽进口（1）和B排汽进口（2）、排汽汇集管（3）、排汽流量监控口（4）、下排管（5）、排汽量调整阀（6）、水收集接口（8），其中排汽汇集管（3）接下排管（5），排汽流量监控口（4）接在下排管（5）上，排汽量调整阀（6）装在下排管（5）上，下排管（5）接水汽分离器（7），伞型挡水板（9）罩在下排管（5）上，其特征是伞型挡水板（9）与水汽分离器（7）对应设置，排汽汇集管（3）上设A排汽进口（1）和B排汽进口（2）。优点：1）水滴沿着伞型挡水板（9）滴落在水汽分离器（7）中，汽体进入排汽管路中，实现水汽自动分离，延长使用寿命。2）防止水进入动力端排汽管路而滴在净房下架层，无需净房下架层清洁而投入人力。3）回收水再次循环利用。
清洗机排汽装置

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