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- [实用新型]硅片承载器-CN201721070804.4有效
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王晨;陈董良
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镇江环太硅科技有限公司
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2017-08-24
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2018-04-03
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H01L21/673
- 本实用新型公开了一种硅片承载器,涉及硅片加工生产领域,包括承载器本体,承载器本体包括若干对称设置的插片槽,插片槽上下贯通,插片槽底部设有可拆卸的长条形的缓冲垫,承载器本体位于同一侧插片槽的两侧面对称设有长条形的穿设孔,穿设孔设在插片槽的最低高度,承载器本体上靠近其中一个穿设孔设有收放轮,缓冲垫的一端收卷在收放轮上,另一端依次穿过穿设孔并固定。本实用新型大大降低了硅片的破损率,同时具有结构简单、使用和清理方便的优点。
- 硅片承载
- [实用新型]一种用于清洗多晶厚片料工装-CN201720624906.X有效
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姚翠云;陈董良
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镇江环太硅科技有限公司
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2017-05-31
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2018-01-02
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B08B13/00
- 本实用新型涉及一种用于清洗多晶厚片料工装,属于硅片清洗技术领域。该用于清洗多晶厚片料工装,包括底板、中央挡板和侧挡板,底板上均匀间隔开设有第一通孔,中央挡板上均匀间隔开设有第二通孔,侧挡板上均匀间隔开设有第三通孔,中央挡板沿底板中间的长度方向与底板垂直固接,中央挡板的长度与底板的长度相等,底板上均匀间隔开设有侧挡板固定槽,侧挡板固定槽的长度方向与底板的宽度方向平行,侧挡板通过侧挡板固定槽与底板垂直卡接,侧挡板远离中央挡板的一端与底板的边缘平齐。本实用新型的用于清洗多晶厚片料工装可以直接放置在全自动清洗机花篮中操作,可以做到全自动清洗机清洗片料,降低工人劳动强度,提高生产效率和经济效益。
- 一种用于清洗多晶厚片工装
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