“陈开雄”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果15个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]半导体装置的量测方法-CN201710914496.7有效
发明人：谢鸿志;吴锴;陈彦良;陈开雄;郑博中;柯志明 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2017-09-30 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：一种使用具有单极的孔隙进行衍射式迭对测量的方法，包括使用第一孔隙板测量组合光栅的X轴衍射。在一些实施例中，第一孔隙板具有第一对辐射透射区域，且第一对辐射透射区域沿着第一直径轴线设置并且被设置在对准第一孔隙板的中心的光轴的相对侧上。在一些实施例中，与第一孔隙板互补的第二孔隙板被用于测量组合光栅的Y轴衍射。在一种实施例中，第二孔隙板具有沿着第二直径轴线并且在光轴的相对侧上设置的第二对辐射透射区域。在一些情况下，第二直径轴线基本上垂直于第一直径轴线。
半导体装置方法

[实用新型]一种砼泵送管附着在桥梁高墩上的连接件-CN202220882292.6有效
发明人：蒲七;尹洪岳;陈开雄;秦华;朱加彪 -专利权人：云南建投第十二建设有限公司
申请日： 2022-04-15 - 公布日： 2022-11-25 - 主分类号： F16L55/035 文献下载
摘要：本实用新型涉及交通工程加固技术领域，公开了一种砼泵送管附着在桥梁高墩上的连接件，其包括第一角钢，所述第一角钢右端固定安装有第二角钢，所述第一角钢与第二角钢内侧之间可拆卸式固定安装有泵管接头抱箍，所述泵管接头抱箍内侧通过四个连接机构固定安装有泵送管，且四个所述连接机构呈环形阵列分布于泵送管外端面，所述第二角钢后端对称固定安装有两个爬锥安装机构。本实用新型缓冲效果好，操作简便，施工安全，精准定位，拆除泵管后可相继拆除，此种连接件多次使用。
一种砼泵送管附着桥梁高墩上连接

[发明专利]覆盖量测方法及其系统-CN201711066881.7有效
发明人：吴锴;谢鸿志;陈开雄;柯志明;陈彦良 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2017-10-20 - 公布日： 2022-04-01 - 主分类号： G01R31/311 文献下载
摘要：一种覆盖量测方法，包括：利用多彩光束照亮覆盖目标；搜集与由多彩光束通过覆盖目标而产生的衍射光谱有关的强度信息，其中衍射光谱将多彩光束分离为多个衍射光束，衍射光束的每一者分别对应至多彩光束的一波长；以及根据与衍射光谱有关的强度信息产生覆盖信息，覆盖信息包括因不对称性而产生的覆盖误差。
覆盖方法及其系统

[发明专利]半导体装置及其制造方法和覆盖误差的测量方法-CN201710383479.5有效
发明人：陈龙羿;林新钦;朱嘉鸿;曾云亨;苏香宇;陈开雄;王育青;郑博中;张岐康;傅士奇;陈桂顺 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2017-05-26 - 公布日： 2021-05-18 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：一种半导体装置及其制造方法和覆盖误差的测量方法，包括：对基底的第一测试目标执行基于绕射的覆盖误差测量，以取得对应第一测试目标的第一叠置结构的第一绕射强度差值，以及取得对应第一测试目标的第二叠置结构的第二绕射强度差值；以及根据第一绕射强度差值与第二绕射强度差值的平均值，取得对应第一测试目标的第三绕射强度差值。
半导体装置及其制造方法覆盖误差测量方法

[发明专利]一种压力测试系统和方法-CN202010668605.3在审
发明人：赵晓;陈开雄 -专利权人：海南车智易通信息技术有限公司
申请日： 2020-07-13 - 公布日： 2020-11-10 - 主分类号： G06F11/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种压力测试系统和方法，压力测试方法适于在压力测试系统中运行，方法包括步骤：控制服务器创建测试任务并设置配置信息，将测试任务及配置信息发送至测试服务器；测试服务器中的解析模块解析配置信息获取测试任务的依赖关系，根据依赖关系绘制测试任务的任务关系图；测试服务器中的执行模块根据任务关系图执行测试任务进行压力测试。本发明还一并公开了一种计算设备和计算机可读存储介质。
一种压力测试系统方法

[发明专利]层迭误差测量装置及方法-CN201710060271.X有效
发明人：陈彦良;谢鸿志;吴锴;陈开雄;柯志明 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2017-01-24 - 公布日： 2020-06-30 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本公开提供层迭误差测量装置及方法。装置包括光源、光学系统、物镜及检测器。光源用于产生测量光。光学系统用于将测量光导引至物镜中。物镜用于将测量光导引至一层迭标记上，同时将从层迭标记绕射的正主极绕射光与负主极绕射光收集至物镜的光瞳面上。检测器设置于物镜的光瞳面上，用于检测前述正、负主极绕射光的光强度分布，并利用正、负主极绕射光的所述光强度分布相减而得到层迭标记的一层迭误差信号。其中，光学系统包括一光圈，其具有至少一透光区域，其位置、尺寸及/或形状根据层迭误差信号中的噪声的位置为可调变的。本公开提供的层迭误差测量装置能够改善层迭误差信号的品质，并可提高层迭误差检测的准确度。
误差测量装置方法

[发明专利]集成电路装置-CN201910729733.1在审
发明人：谢鸿志;陈开雄;郑博中 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2019-08-08 - 公布日： 2020-03-27 - 主分类号： H01L23/544 文献下载
摘要：本发明涉及一种集成电路装置，并提供制作与采用层叠标记的方法。在一些实施例中，层叠标记包括：上侧层；以及下侧层，位于上侧层下。下侧层包括：多个第一复合光栅，延伸于第一方向中并位于层叠标记的第一区中，且第一复合光栅的每一者包括一个第一单元，以及至少两个第二单元位于第一单元的一侧上；以及多个第二复合光栅，延伸于第一方向中并位于层叠标记的第二区中，且第二复合光栅的每一者包括一个第三单元，以及至少两个第四单元位于第三单元的一侧上。第一复合光栅为第二复合光栅的镜像。
集成电路装置

[发明专利]用于预估曝光工艺的焦点和剂量的方法和装置-CN201610135755.1有效
发明人：陈彦良;柯志明;陈开雄;周文湛 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2016-03-10 - 公布日： 2018-09-28 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：半导体制造中的结构至少包括第一周期性的非对称的部件和第二周期性的非对称的部件。第一部件包含多个周期性分布的第一元件。第一部件具有第一非对称的轮廓，使得当第一部件旋转180度时，第一部件不再具有相同的第一非对称的轮廓。第二部件包含多个周期性分布的第二元件。第二部件具有第二非对称的轮廓，使得当第二部件旋转180度时，第二部件不再具有相同的第二非对称的轮廓。第二非对称的轮廓不同于第一非对称的轮廓。本发明的实施例还涉及用于预估曝光工艺的焦点和剂量的方法和装置。
用于预估曝光工艺焦点剂量方法装置

[实用新型]一种混凝土超缓凝温控设备及监控系统-CN201721837360.2有效
发明人：柳森焱;王耳东;龚忠良;秦华;蒲七;陈开雄;杨宏波;胡利韦;李云坤;尹洪岳;张艺珑 -专利权人：云南建投第十二建设有限公司
申请日： 2017-12-25 - 公布日： 2018-09-14 - 主分类号： B28B11/24 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种混凝土超缓凝温控设备及监控系统，属于建筑施工技术领域。其包括供水箱、控制器、供水温度传感器、多个混凝土温度传感器、多根输水管以及承接架；供水温度传感器分别与控制器、供水箱连接；多个混凝土温度传感器安装在混凝土内部的承接架上，多个混凝土温度传感器与控制器连接；多根输水管安装在混凝土内部的承接架上，供水箱上连接有进水管和出水管，多根输水管的两端分别与进水管、出水管连接。该监控系统，结构简单且能够有效调节混凝土内部的温度。
混凝土温度传感器监控系统承接架供水箱输水管供水温度传感器温控设备控制器出水管进水管缓凝建筑施工技术本实用新型控制器连接有效调节

[发明专利]叠对监测及控制方法-CN201710984884.2在审
发明人：胡维民;张仰宏;陈开雄;胡浚明;柯志明 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2017-10-20 - 公布日： 2018-06-29 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本公开提供一种叠对监测及控制方法，包括通过一图案化机台以图案化一基板、从基板上的多个场域收集多个叠对误差、通过应用第一过滤操作及不同于第一过滤操作的第二过滤操作从多个叠对误差识别噪声。上述方法进一步包括将未被识别为噪声的多个叠对误差分类为一过滤后的叠对误差集合。基于过滤后的叠对误差集合计算一叠对补偿，并且根据此叠对补偿执行一补偿程序到图案化机台。本公开提供一种叠对监测及控制方法可达到全映射(full mapping)及场域内高阶程序校正，而不需减少光刻曝光制程的生产率，亦提供动态前馈的控制以减少叠对误差，提升晶圆与晶圆以及批次与批次间的叠对品质。
过滤操作图案化机台叠对补偿误差集合场域基板晶圆监测噪声过滤补偿程序程序校正动态前馈光刻曝光误差分类误差识别映射高阶制程应用

[实用新型]一种气体涡轮流量计-CN201620791496.3有效
发明人：吕德月;陈开雄 -专利权人：宁波创盛仪表有限公司
申请日： 2016-07-26 - 公布日： 2017-01-25 - 主分类号： G01F1/10 文献下载
摘要：本实用新型提供一种气体涡轮流量计，其包括壳体和表芯组件，所述壳体上开设有通孔，所述通孔的两端设有连接法兰，所述表芯组件安装在所述通孔内，所述表芯组件包括整流盖、套筒、前导流体、支撑座、叶轮和后导流体，所述壳体上开设有第一检测孔、第二检测孔和第三检测孔，所述第一检测孔延伸至所述套筒内，所述第二检测孔延伸至所述后导流体内，所述第三检测孔延伸至所述通孔出口端。本实用新型气体涡轮流量计，结构简单紧凑，组装方便快捷，利于日常维护保养，运行稳定，可靠性高且精度好。
一种气体涡轮流量计

[实用新型]一种腰轮流量计驱动组件-CN201620770367.6有效
发明人：吕德月;陈开雄 -专利权人：宁波创盛仪表有限公司
申请日： 2016-07-21 - 公布日： 2017-01-25 - 主分类号： G01F15/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种腰轮流量计驱动组件，其包括结构相同的第一、二腰轮组件，第一、二腰轮组件包括腰轮本体、前主轴、后主轴和同步齿轮，腰轮本体上开设有中心孔，腰轮本体的长轴端表面开设有条形凹槽，前主轴和所述后主轴分别配合安装在所述中心孔两端，前主轴的外壁开设有螺旋槽，前主轴的端部固定有前轴承；后主轴上固定有后轴承和同步齿轮，且后轴承位于同步齿轮的外侧，第一腰轮组件和第二腰轮组件上的两所述同步齿轮相互啮合、且两腰轮本体之间安装角度差为90度，所述第一腰轮组件的后主轴端部固定有发讯盘。本实用新型腰轮流量计驱动组件，结构简单紧凑、拆装方便，方便现场维护和保养，不易卡死、整体工作稳定，可靠性高，且运行精度高。
一种轮流量计驱动组件

[实用新型]一种腰轮流量计盖板-CN201620770370.8有效
发明人：吕德月;陈开雄 -专利权人：宁波创盛仪表有限公司
申请日： 2016-07-21 - 公布日： 2017-01-25 - 主分类号： G01F15/14 文献下载
摘要：本实用新型提供一种腰轮流量计盖板，其包括圆形的盖板本体，盖板本体的上端面开设有两相互连通的圆形安装槽，圆形安装槽的中心开设有轴孔，圆形安装槽的底面设与轴孔同轴的环形凸台，圆形安装槽的侧壁周向均布有定位凹槽，定位凹槽向上延伸至盖板本体的上端面，盖板本体的上端面还设有减轻凹孔，减轻凹孔的底面开设有安装孔；盖板本体的上端面还开设有螺孔，螺孔绕所述轴孔的轴线周向均布，盖板本体的侧壁设有用于安装密封圈的环形凹槽。本实用新型腰轮流量计盖板，结构简单紧凑，加工方便且成本低，安装和拆卸方便快捷，利于日常维护和保养，方便腰轮组件的安装和定位，安装精度高，大大提高了腰轮流量计的运行稳定性、可靠性和使用寿命。
一种轮流量计盖板

[实用新型]一种腰轮流量计壳体-CN201620776155.9有效
发明人：吕德月;陈开雄 -专利权人：宁波创盛仪表有限公司
申请日： 2016-07-21 - 公布日： 2016-12-14 - 主分类号： G01F15/14 文献下载
摘要：本实用新型提供一种腰轮流量计壳体，包括横截面为正八边形的壳体本体，壳体本体内成型有腔体，壳体本体的上端面设有用于容纳同步齿轮的圆形凹孔，圆形凹孔的底面设有两个与腔体连通的轴孔，轴孔的边缘轴向向上延伸形成环形凸台，壳体本体的下端面开设有与腔体连通的底板安装孔，底板安装孔的侧壁设有定位台阶面，定位台阶面上贯穿有油孔；壳体本体的两侧均开设有与腔体连通的液孔，且两所述液孔同轴设置，液孔上设有法兰；壳体本体的上端面与下端面均设有安装孔。本实用新型腰轮流量计壳体，结构简单紧凑，制造方便，降低了生产成本，且提高了产品精度；同时定位方便、组装快捷，且安装精度高。
一种轮流量计壳体

[发明专利]化学机械研磨制程控制方法-CN200510055283.0有效
发明人：陈承先;黄雅仪;陈彦兆;陈开雄;林义雄 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2005-03-18 - 公布日： 2005-09-21 - 主分类号： H01L21/304 文献下载
摘要：本发明提供一种化学机械研磨制程控制方法，帮助在半导体制程中从一批量的晶圆移除材料量的均匀性，且可适用于复杂的制程，例如：浅沟槽隔离制造程序。此方法包括：提供具有一组试作晶圆与一组剩余晶圆的数个晶圆，依据初始制程时间对试作晶圆进行研磨，决定出试作晶圆的补偿时间，再将初始制程时间加上补偿时间以决定更替时间，并依据更替时间对剩余晶圆进行研磨。
化学机械研磨程控方法

1
共 15 条