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[发明专利]一种提高ALD膜厚均匀性的方法-CN202311221317.3在审
发明人： 陈庆敏;卓倩武;俞玉松;张旭冉;贾建英 -专利权人：无锡松煜科技有限公司
申请日： 2023-09-21 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明属于气相沉积技术领域，尤其涉及一种提高ALD膜厚均匀性的方法。本发明膜制备过程包括如下步骤：将基底放置于所述反应腔内，并对所述反应腔进行抽真空和升温处理；通入水前驱体到反应腔，对硅片进行预处理；通入铝前驱体，沉积于硅片表面；通入惰性保护气吹扫；通入水前驱体，用于与铝前驱体反应；通入惰性保护气，用于吹扫掉多余的水前驱体；重复上述步骤数次。在通入铝前驱体或者水前驱体的同时，通入一定量的惰性保护气，如氮气，这样氮气和铝前驱体或者水前驱体进入后混合，能够把反应气体均匀分散开来，就能够解决大产能反应腔室中部分位置量少的现象。
一种提高 ald 均匀方法

[实用新型]一种打包带的自动打包装置-CN202321670349.7有效
发明人：张飞鹏;陈庆敏 -专利权人：福建省百川资源再生科技股份有限公司
申请日： 2023-06-29 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： B65B13/18 文献下载
摘要：本实用新型涉及包装机械领域，尤其涉及一种打包带的自动打包装置，包括支撑架，支撑架一端设有切割输送装置，支撑架上设有叠放装置，还设有固定于叠放装置两端的捆扎机，支撑架远离切割输送装置的一端还设有存放台，以及将叠放装置上的打包带拉至存放台上的牵拉机构，切割输送装置、捆扎机、牵拉机构通过控制器电连接,本实用新型通过切割输送装置、叠放装置、捆扎机、存放台、牵拉机构相结合，打包带经挤出拉伸制成后，通过切割输送装置将打包带输送叠放装置，并由捆扎机、存放台、牵拉机构完成自动化的整理、捆扎和储存，整个自动化生产过程中，无需人工计算数量或进行打包带的捡起、整理和捆扎，大大提高了生产效率和产品质量的稳定性。
一种打包自动装置

[发明专利]一种太阳能电池抗反射叠层结构及其制备方法、应用-CN202311184961.8在审
发明人： 陈庆敏;李丙科;卓倩武;张海洋 -专利权人：无锡松煜科技有限公司
申请日： 2023-09-14 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明提供了一种太阳能电池抗反射叠层结构及其制备方法、应用，所述制备方法包括（1）将沉积有氧化铝钝化膜层的硅衬底置于PECVD设备的反应腔体内，通入笑气，抽真空预热，进行一次等离子体处理；（2）通入硅烷和氨气，在氧化铝钝化膜层表面沉积氮化硅层；（3）通入笑气，进行二次等离子体处理；（4）通入硅烷、氨气和笑气，在氮化硅层表面沉积氮氧化硅层；（5）通入硅烷和笑气，在氮氧化硅层表面沉积氧化硅层。本发明的太阳能电池抗反射叠层结构膜层不仅在光学上提升太阳能电池的光生电流，还能从钝化角度提升太阳能电池的钝化水平。
一种太阳能电池反射结构及其制备方法应用

[实用新型]一种建筑外墙抹灰装置-CN202320618218.8有效
发明人：费孝诚;陈炫伊;于华超;付亨;张欣;白程远;刘欣宇;樊超;张冀;陈庆敏 -专利权人：中建安装集团有限公司
申请日： 2023-03-27 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： E04F21/08 文献下载
摘要：本实用新型提供一种建筑外墙抹灰装置，包括配重牵引座，所述配重牵引座上设有滚轴；滚刷组件；第一滑动件，卡设在外墙的外侧；所述第一滑动件与外墙的顶部可滑动连接，所述第一滑动件上设有第一滑轮和第二滑轮；滑动槽，设于外墙的内侧，且沿外墙的长度方向布置；所述滑动槽与外墙的顶部固定连接，所述滑动槽上可滑动连接有第二滑动件，所述第二滑动件上设有固定环；牵引件，所述牵引件的一端与所述滚刷组件的顶部固定连接，所述牵引件的另一端依次绕过所述第一滑轮、固定环、第二滑轮、滚轴与所述滚刷组件的底部固定连接。本实用新型减少了劳动强度，安全性和施工效率较高，且能够保证建筑外墙的施工质量。
一种建筑外墙抹灰装置

[发明专利]一种用于冷敏性果蔬的复合型蓄冷剂及其制备方法-CN202310855417.5在审
发明人：闫琰;陈庆敏;刘汝杰;傅茂润;徐晔;岳凤丽 -专利权人：山东农业工程学院
申请日： 2023-07-12 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： C09K5/06 文献下载
摘要：本发明提供一种用于冷敏性果蔬的复合型蓄冷剂及其制备方法，具体步骤包括：将硬脂酸丁酯和月桂酸混合搅拌，然后经冷却‑干燥后制得复合型蓄冷剂；各成分均具有蓄冷的功效，混合后各成分取长补短，无相分离现象，具有强蓄冷能力，使用寿命较长，各成分配伍合理，达到协调增效的作用，制得的复合型蓄冷剂不仅有着更为高效快捷的降温效果，而且能做到长久维持在特定温度范围内，可应用于食品冷藏物流领域。
一种用于冷敏性果蔬复合型蓄冷剂及其制备方法

[发明专利]一种银复合导电颗粒及其制备方法与应用-CN202310980052.9有效
发明人： 陈庆敏;李丙科;陈加朋;卓倩武 -专利权人：无锡松煜科技有限公司
申请日： 2023-08-07 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： H01B13/00 文献下载
摘要：本发明涉及导电材料技术领域，公开了一种银复合导电颗粒及其制备方法与应用。本发明提供的制备方法通过原子层沉积法在粉末态的聚酰亚胺‑石墨复合材料表面沉积银壳层得到银复合导电颗粒，在沉积过程中，通过首次循环前静电处理、每次切换通入气体时对原子层沉积腔进行真空度调节处理、以及保证N2的通入流量适宜，确保基体粉末的分散性，解决了粉末基体沉积银壳层的均匀性问题，避免由于银包覆不均匀造成导电性能下降，提高制备得到的银复合导电颗粒的导电性能。同时，在本发明中，采用特定的具有互穿网络结构的聚酰亚胺‑石墨材料为基体，进一步提高制品的导电性能。
一种复合导电颗粒及其制备方法应用

[发明专利]一种太阳能电池硼扩散控制方法、设备及系统-CN202311162640.8在审
发明人： 陈庆敏;李丙科;张海洋 -专利权人：无锡松煜科技有限公司
申请日： 2023-09-11 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明提供一种太阳能电池硼扩散控制方法、设备及系统，所述方法包括：（1）将硅片置于反应腔室内，同时通入氧气和氮气；（2）在840~880℃和80~120 mbar下进行一次通源；（3）在840~880℃和160~200 mbar下进行二次通源；（4）在1010~1030℃和830~870mba下进行氧化反应；至少有一个步骤中包括检漏工序、流量测定工序和抽气速率测定工序中的一个或多个。本发明采用检漏工序、流量测定工序和抽气速率测定工序中的一个或多个及时发现设备异常，中止工艺，避免工艺在异常条件下持续运行，出现大批量的方阻不良片。采用两次通源的方式，控制反应速率，提高反应效率，控制产物质量和提高安全性，加深PN结的结深。
一种太阳能电池扩散控制方法设备系统

[发明专利]一种单晶硅片制绒方法-CN202311146298.2在审
发明人： 陈庆敏;李丙科;陈加朋;卓倩武 -专利权人：无锡松煜科技有限公司
申请日： 2023-09-07 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明属于太阳能电池制造技术领域，尤其涉及一种单晶硅片制绒方法。本发明用于单晶硅片的制绒方法，包括如下步骤：第一次制绒：使用氩离子气体对单晶硅片进行反应离子刻蚀，得到一次处理硅片；第二次制绒：将所述一次处理硅片使用化学腐蚀液进行化学腐蚀过程，得到二次处理硅片；第三次制绒：使用氟离子气体对所述二次处理硅片进行反应离子刻蚀，得到制绒后硅片。其中在第二次制绒之前设置了第一次制绒能够去除脏污，提高第二次制绒过程绒面液膜覆盖的均匀程度，从而减少绒面雨点现象。并且在前两次制绒的基础上，增加第三次制绒，能够使得绒面更为均匀和规则。
一种单晶硅片制绒方法

[发明专利]硅片正面与背面不同厚度的Al2-CN202310937265.3有效
发明人： 陈庆敏;卓倩武;俞玉松 -专利权人：无锡松煜科技有限公司
申请日： 2023-07-28 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明涉及半导体制造技术领域，公开了硅片正面与背面不同厚度的Al2O3薄膜的制备方法。基于双插硅片的管式原子层沉积法，本发明通过在待沉积Al2O3薄膜的硅片载具铝舟上设置有用于固定硅片位置的侧槽及底槽，沿着原子层沉积室的进气至出气方向，通过使每组定位齿杆的侧槽及底槽开口依次增大，使背面相对的2片硅片的背面距离沿着前驱体进气至出气方向逐渐增大，并在沉积薄膜的过程中加大N2的流量确保背面相对的2片硅片的背面距离，最终使硅片正面与背面分别制备得到厚度均匀的Al2O3薄膜，且硅片正面的Al2O3薄膜厚度大于硅片背面的Al2O3薄膜厚度。使用本发明制备得到的硅片片内正面、背面各自的Al2O3薄膜均匀性及批内均匀性较好。
硅片正面背面不同厚度 al base sub

[发明专利]一种提升氧化铝钝化膜沉积均匀性的方法及应用-CN202310937284.6有效
发明人： 陈庆敏;卓倩武;俞玉松 -专利权人：无锡松煜科技有限公司
申请日： 2023-07-28 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明涉及太阳能电池技术领域，尤其涉及一种提升氧化铝钝化膜沉积均匀性的方法及应用。本申请通过在氧化铝钝化膜的沉积过程中，创造性的在每组铝前驱体、氧前驱体以及吹扫气的通入后主动增加一个无干扰的中间处理步骤，能够有效提升氧化铝钝化膜沉积均匀性，减少了在氧化铝薄膜引入缺陷以及杂质的可能性，有效提高了薄膜的沉积质量和稳定性，从而能够有效满足太阳能电池领域对于氧化铝钝化膜的需求，提升产品质量。
一种提升氧化铝钝化沉积均匀方法应用

[发明专利]一种低反射率的氧化铝钝化膜的制备方法-CN202311070684.8在审
发明人： 陈庆敏;李丙科;陈加朋;卓倩武 -专利权人：无锡松煜科技有限公司
申请日： 2023-08-24 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本公开属于半导体技术领域，涉及一种低反射率的氧化铝钝化膜的制备方法，包括如下步骤：S‑1.提供衬底，送入反应腔室；S‑2.向反应腔室内通入三甲基铝，同时，以变化的压力通入惰性气体；S‑3.向反应腔室内通入氮气，吹扫反应腔室；S‑4.向反应腔室内通入水蒸气，同时，以变化的压力通入惰性气体；S‑5.向反应腔室内通入氮气，吹扫反应腔室；步骤S‑2至步骤S‑5形成一个循环，重复该循环，得到低反射率的氧化铝薄膜。本公开方案在通入三甲基铝和水的同时，以变化的压力通入惰性气体，改变三甲基铝和水的流动，以引入表面扰动，增加氧化铝钝化层的粗糙度，从而降低所形成氧化铝钝化膜的反射率。
一种反射率氧化铝钝化制备方法

[发明专利]一种提高硼扩散均匀度的方法-CN202310789442.8有效
发明人： 陈庆敏;卓倩武;俞玉松;张旭冉;贾建英 -专利权人：无锡松煜科技有限公司
申请日： 2023-06-30 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： C30B31/16 文献下载
摘要：本发明涉及光伏电池制造技术领域，尤其涉及一种提高硼扩散均匀度的方法。包括如下步骤：S01.在反应腔室内放入插有硅片的石英舟，并进行前扩散步骤；S02.进行低压通源扩散步骤，低压通源扩散步骤包括：向反应腔室内同时通入三氯化硼，氧气及氮气；S03.在低压通源扩散步骤结束后，停止向反应腔室中通入三氯化硼，且通入氮气提升反应腔室内气压；S04.进行高压通源扩散步骤，高压通源扩散步骤包括：同时通入三氯化硼，氧气及氮气；本发明通过使用高低压力分步通入硼源，利用反应腔室高压和低压来控制硼源在腔室里流动的速度，从而扩散出整体高均匀度的方阻。并且本发明用工艺的方法弥补炉口炉尾方阻均匀度差的问题，机台可省略因抽气导致的反应腔加长的结构。
一种提高扩散均匀方法

[实用新型]一种石英管支撑结构-CN202223149987.2有效
发明人： 陈庆敏;李丙科;李铁 -专利权人：无锡松煜科技有限公司
申请日： 2022-11-25 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： F27D5/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种石英管支撑结构，包括炉体、大石英管、小石英管及预埋件，在炉体内设置预埋件，预埋件朝向炉体的内部，小石英管沿着炉体的轴向活动放置在预埋件上并被预埋件定位支撑，小石英管的数量为两根以上，大石英管活动放置在小石英管上并由小石英管支撑托起。本实用新型的石英管支撑结构采用绝缘子加小石英管的支撑方式，由于小石英管直径小而且透明，可以最大程度减少支撑件对炉丝加热的干扰，不用担心炉丝热量“憋住”散不出来造成炉丝损坏。而且很好的解决了受力问题，受力更加合理，并且不影响炉丝散热，在相同工艺条件下温度更均匀。
一种石英管支撑结构

[外观设计]螺旋绝缘子-CN202330223699.8有效
发明人： 陈庆敏;李丙科;李铁 -专利权人：无锡松煜科技有限公司
申请日： 2023-04-21 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： 13-03 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：螺旋绝缘子。2.本外观设计产品的用途：用于炉体内的绝缘子功能。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图1。5.在立体图中已有表达，省略右视图。
螺旋绝缘子

[发明专利]一种以甲酸甲酯为发泡剂聚氨酯泡沫的制备方法-CN202310934389.6在审
发明人：杜鹏飞;张飞鹏;谢历峰;陈庆敏 -专利权人：福建省百川资源再生科技股份有限公司;福建师范大学泉港石化研究院
申请日： 2023-07-28 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： C08G18/48 文献下载
摘要：本发明公开了一种以甲酸甲酯为发泡剂聚氨酯泡沫的制备方法，包括用PET废料与插入式酯基乙氧基化催化剂制备多官能度聚醚酯多元醇和利用多官能度聚醚酯多元醇完成聚氨酯泡沫的制备，本发明仅使用了一种催化剂完成了PET的醇解和环氧乙烷的插入制备低粘度高官能度的芳香族聚醚酯多元醇，用于提升甲酸甲酯为发泡剂聚氨酯的泡沫尺寸稳定性，避免收缩问题，使用的插入式酯基乙氧基化催化剂为类水滑石类物质，其不仅在制备过程中起到催化剂的作用实现PET的醇解和环氧乙烷的插入，作为无机粉体材料其可以协同提高甲酸甲酯发泡剂聚氨酯泡沫的尺寸稳定性，避免收缩问题，同时在制备过程中加入阻燃聚酯多元醇增强聚氨酯泡沫的阻燃性能。
一种甲酸发泡剂聚氨酯泡沫制备方法

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