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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]基板旋转装载器-CN201610286548.6有效
发明人：马库斯·J·施托佩尔;阿萨夫·施勒辛格尔 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2016-05-03 - 公布日： 2022-02-08 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本文中公开了一种用于装载基板于检查站中的方法和装置。在一个实施方式中，本文中公开了一种用于基板检查站的装载模块。所述装载模块包括两个臂、多个基板夹持器、两个可旋转支撑构件、输送装置和至少一个致动器。每个臂具有第一端部和第二端部，其中所述第二端部与所述第一端部相对。每个基板夹持器设置在每个臂的相应端部。每个可旋转支撑构件被耦接到所述臂中的相应一个臂。所述输送装置设置在所述可旋转支撑构件之间。所述至少一个致动器被配置成使所述臂围绕所述可旋转支撑构件旋转，以将所述夹持器选择性地定位在所述输送装置上方使由所述夹持器保持的基板得以被释放到所述输送装置上的位置。
旋转装载

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