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[发明专利]一种带钢真空镀膜设备及工艺-CN202010049323.5有效
发明人：郭锦龙;王殿儒;程云立;付久龙;武金魁 -专利权人： 长钛工程技术研究院（北京）有限公司
申请日： 2020-01-16 - 公布日： 2022-03-11 - 主分类号： C23C14/30 文献下载
摘要：本发明提供一种新型带钢真空镀膜设备及工艺，属于带钢加工技术领域。所述的新型带钢真空镀膜设备，包括依次连通的第一真空压差室、预热室、镀膜室、冷却室、第二真空压差室，所述镀膜室包括第一镀膜室和第二镀膜室，所述第一镀膜室设有对带钢一面进行镀膜的第一镀膜机构，所述第二镀膜室沿带钢水平运行方向的下方设有若干导向辊，带钢与设于水平线上的导向辊水平相切，并与设于下方的各个导向辊连接形成容纳空间，所述容纳空间内设有第二镀膜机构。本申请是针对典型带钢镀膜工艺的真空镀膜设备提出了一个新的设计方案，使设备的各个真空室都安装在同一水平面上，降低设备安装高度，方便操作和维修，减少导向辊的数量，降低生产成本。
一种带钢真空镀膜设备工艺

[实用新型]一种具有在线监控功能的超声波清洗装备-CN202020081610.X有效
发明人：郭锦龙;刘会萍;程云立;马华;付久龙 -专利权人： 长钛工程技术研究院（北京）有限公司
申请日： 2020-01-15 - 公布日： 2021-03-30 - 主分类号： B08B3/12 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种具有在线监控功能的超声波清洗装备，至少包括两套清洗设备和一套干燥设备；所述清洗设备包括清洗槽和储液槽，在清洗槽和储液槽之间设置有进液管道和出液管道，在进液管道上设置有进液泵，在出液管道上设置有过滤装置和液体检测装置；所述干燥设备包括干燥腔体和加热腔体，在干燥腔体上设置有湿度传感器。本实用新型可在线监测与跟踪清洗工作液的参数及干燥腔体的湿度数据，提高镀膜工件的清洗和干燥效率。
一种具有在线监控功能超声波清洗装备

[实用新型]一种真空室门装置运动机构-CN201922269913.4有效
发明人：郭锦龙;程云立;马华;武金魁;付久龙 -专利权人： 长钛工程技术研究院（北京）有限公司
申请日： 2019-12-17 - 公布日： 2020-11-13 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种真空室门装置运动机构，包括真空室门装置，真空室门装置的顶端设有门悬挂装置，真空室门装置的背侧设有真空室，真空室门装置的顶端设有横梁，横梁是由两H型钢组成，横梁的前侧设有纵向运动电机，横梁内部设有空腔，空腔内设有链条链轮传动结构，门悬挂装置顶端设在链条链轮传动结构上，门悬挂装置包括旋转气缸、丝杠以及丝母，旋转气缸设在门悬挂装置的背侧，旋转气缸的输出端设有丝杠，丝杆上套设有丝母，丝母上设有连接装置，连接装置与链轮链条传动结构相连。提高了真空室及其门的使用寿命。
一种真空装置运动机构

[实用新型]一种工件车在多真空室中行走的同步机构-CN201922287850.5有效
发明人：郭锦龙;程云立;马华;付久龙;武金魁 -专利权人： 长钛工程技术研究院（北京）有限公司
申请日： 2019-12-17 - 公布日： 2020-11-13 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本实用新型涉及机械设备技术领域，尤其为一种工件车在多真空室中行走的同步机构，包括工件车行走装置、固定轨道及辅助支撑轮装置以及传动齿轮装置，所述工件车行走装置下端设有固定轨道及辅助支撑轮装置，所述固定轨道及辅助支撑轮装置一侧连接有传动齿轮装置，所述传动齿轮装置远离固定轨道及辅助支撑轮装置的一侧连接有动力传动密封装置，所述动力传动密封装置远离传动齿轮装置的一侧连接有步进电机控制装置，所述工件车行走装置由工件车底座、齿条和行走支撑轮组成，所述传动齿轮装置由齿轮、传动轴、十字万向联轴器和固定组件,整体效果好，且稳定性和实用性较高，具有一定的推广价值。
一种工件真空行走同步机构

[实用新型]一种关于电子枪与坩埚和工件架的新结构设计的镀膜装置-CN202020297660.1有效
发明人：郭锦龙;王殿儒;程云立;马华;付久龙;武金魁 -专利权人： 长钛工程技术研究院（北京）有限公司
申请日： 2020-03-11 - 公布日： 2020-10-30 - 主分类号： C23C14/30 文献下载
摘要：本实用新型涉及机械设备技术领域，尤其为一种关于电子枪与坩埚和工件架的新结构设计的镀膜装置，包括电子枪、坩埚、工件架以及镀膜设备筒体，所述电子枪下端设有镀膜设备筒体，所述镀膜设备筒体由外筒体和内筒体组成，所述外筒体和内筒体之间设有冷却水，所述电子枪和镀膜设备筒体连接处设有接连法兰，所述电子枪下端中间处设有电子束，所述镀膜设备筒体内部下端设有坩埚支架，所述坩埚支架上端设有坩埚，所述镀膜设备筒体内部靠近坩埚两侧设有工件架，所述工件架上设有工件，电子枪在蒸发坩埚的正上方，便于对电子束扫描区域的控制，避免蒸发坩埚和真空室的损坏，电子枪远离蒸发坩埚减少了金属蒸汽对电子枪的沉积，整体效果好。
一种关于电子枪坩埚工件结构设计镀膜装置

[实用新型]一种工件架自公转传动装置-CN201922287783.7有效
发明人：郭锦龙;程云立;马华;付久龙;武金魁 -专利权人： 长钛工程技术研究院（北京）有限公司
申请日： 2019-12-17 - 公布日： 2020-09-01 - 主分类号： F16H37/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及机械设备技术领域，尤其为一种工件架自公转传动装置，包括工件架、工件架旋转组件以及真空室上固定的旋转动力传动组件，所述工件架上部背面处设有工件架旋转组件，所述工件架旋转组件由公转大盘和固定大齿轮组成，且所述固定大齿轮中间处设有旋转主轴，所述公转大盘靠近固定大齿轮处环形等间距有设有多组工件挂杆，所述旋转主轴穿过固定大齿轮和工件架一端同轴连接有大链轮，所述工件架下部一侧设有真空室上固定的旋转动力传动组件，所述真空室上固定的旋转动力传动组件由传动齿轮、大伞齿轮、小伞齿轮、齿轮支撑架、传动轴、绝缘轴、绝缘连接件和磁流体密封轴组成，整体效果好，且稳定性和实用性较高，具有一定的推广价值。
一种工件公转传动装置

[实用新型]一种坩埚自动补料装置-CN201922287735.8有效
发明人：郭锦龙;程云立;马华;付久龙;武金魁 -专利权人： 长钛工程技术研究院（北京）有限公司
申请日： 2019-12-17 - 公布日： 2020-09-01 - 主分类号： C23C14/30 文献下载
摘要：本实用新型涉及补料设备技术领域，尤其为一种坩埚自动补料装置，包括移动补料器组件、固定齿条驱动组件以及小车，所述移动补料器组件一端啮合连接有固定齿条驱动组件，所述移动补料器组件由补料管、绞龙、驱动齿轮和连接组件组成，且所述绞龙外部套设有补料管，所述补料管和绞龙之间设有物料，所述绞龙一端和补料管之间设有连接组件，所述补料管外部靠近连接组件处设有小车固定板，所述小车固定板远离移动补料器组件的一端连接有小车，所述绞龙靠近固定齿条驱动组件处设有驱动齿轮，所述固定齿条驱动组件由齿条、前支撑弹簧组件、后支撑弹簧组件、支撑架和销轴组件组成，整体效果好，且稳定性和实用性较高，具有一定的推广价值。
一种坩埚自动装置

[实用新型]一种坩埚移动装置-CN201922287884.4有效
发明人：郭锦龙;王殿儒;程云立;马华;付久龙;武金魁 -专利权人： 长钛工程技术研究院（北京）有限公司
申请日： 2019-12-17 - 公布日： 2020-09-01 - 主分类号： C23C14/30 文献下载
摘要：本实用新型涉及坩埚辅助装置技术领域，具体为一种坩埚移动装置，包括坩埚主体、坩埚行走装置和坩埚辅助行走轮装置，所述坩埚主体底部的两侧均固定安装有坩埚辅助行走轮装置，所述坩埚主体的底部固定安装有坩埚行走装置，所述坩埚行走装置的两侧均固定安装有丝母，所述丝母之间的顶部固定安装有固定组件，所述坩埚行走装置的内部固定安装有丝杠，所述丝杠的两侧均固定安装有丝杠定位螺旋装置，所述丝杠定位螺旋装置的底部固定安装有定位座，所述定位座的顶部固定安装有轴承，所述丝杠一侧的尽头固定安装有磁流体密封装置，本装置结构简单，绿色环保且增加了金属蒸发材料的可利用率。
一种坩埚移动装置

[实用新型]一种新型带钢真空镀膜设备-CN202020098881.6有效
发明人：郭锦龙;王殿儒;程云立;付久龙;武金魁 -专利权人： 长钛工程技术研究院（北京）有限公司
申请日： 2020-01-16 - 公布日： 2020-08-28 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本实用新型提供一种新型带钢真空镀膜设备，属于带钢加工技术领域。所述的新型带钢真空镀膜设备，包括依次连通的第一真空压差室、预热室、镀膜室、冷却室、第二真空压差室，所述镀膜室包括第一镀膜室和第二镀膜室，所述第一镀膜室设有对带钢一面进行镀膜的第一镀膜机构，所述第二镀膜室沿带钢水平运行方向的下方设有若干导向辊，带钢与设于水平线上的导向辊水平相切，并与设于下方的各个导向辊连接形成容纳空间，所述容纳空间内设有第二镀膜机构。本申请是针对典型带钢镀膜工艺的真空镀膜设备提出了一个新的设计方案，使设备的各个真空室都安装在同一水平面上，降低了设备安装高度，方便了操作和维修，减少了导向辊的数量，降低了生产成本。
一种新型带钢真空镀膜设备

[发明专利]双真空室大功率电子束蒸发连续镀膜装置-CN202010040956.X在审
发明人：郭锦龙;程云立;马华;付久龙;武金魁 -专利权人： 长钛工程技术研究院（北京）有限公司
申请日： 2020-01-15 - 公布日： 2020-06-05 - 主分类号： C23C14/30 文献下载
摘要：本发明提供一种双真空室大功率电子束蒸发连续镀膜装置，包括多功能室、电子束蒸发室、真空抽气系统及控制系统，所述多功能室与所述电子束蒸发室连通设置，两室之间通过插板阀隔离；所述真空抽气系统对所述多功能室与所述电子束蒸发室进行抽真空，所述多功能室、电子束蒸发室、真空抽气系统与控制系统电性连接。采用本发明提供的双真空室大功率电子束蒸发连续镀膜装置，能够保证电子枪装置及坩埚装置始终处于真空环境，使坩埚中高温熔融状态的金属材料不被空气氧化，减少因等待坩埚冷却所需要的时间及大量的抽气时间，大幅提高生产效率。
真空大功率电子束蒸发连续镀膜装置

[发明专利]一种离子镀膜与电子束蒸发镀膜结合的镀膜装置及其镀膜方法-CN202010041461.9在审
发明人：程云立;马华;付久龙;武金魁 -专利权人： 长钛工程技术研究院（北京）有限公司
申请日： 2020-01-15 - 公布日： 2020-06-05 - 主分类号： C23C14/30 文献下载
摘要：本发明提供一种离子镀膜与电子束蒸发镀膜结合的镀膜装置，包括：离子镀膜组件、电子束蒸发镀膜组件、被镀基材、坩埚和真空室，所述真空室左右两侧设置离子镀膜组件，所述真空室的上方设置电子束蒸发镀膜组件，所述被镀基材设置在所述真空室的中部，所述坩埚设置在所述被镀基材的下方。本发明还提供一种镀膜方法，通过离子镀膜方法在被镀基材表面上用金属离子轰击清洗打底沉积一层薄薄的金属膜层形成金属过渡层，再用大功率电子束蒸发镀膜的方法进行快速沉积形成膜层，由于金属过渡层的存在，增强了膜层组合的多元性以及增加了膜层用途的多功能性，因此，本发明提供的镀膜方法能大幅提高所镀膜层的结合力及沉积速率。
一种离子镀膜电子束蒸发结合装置及其方法

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