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[发明专利]一种晶圆传送控制方法及系统-CN202311041747.7有效
发明人：林坚;王彭;董渠;银春 -专利权人：泓浒（苏州）半导体科技有限公司
申请日： 2023-08-18 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明涉及半导体领域，本发明公开了一种晶圆传送控制方法及系统，包括确定T时段内标记为高负荷的半导体加工设备，以及筛选出T时段内与高负荷的半导体加工设备具备相同职能且标记为低负荷的最优选半导体加工设备；基于低负荷的最优选半导体加工设备和高负荷的半导体加工设备确定最佳转运轨道路线；获取T+n时段内天车轨道中每个搬运天车的运行状态，筛选出W个空闲状态的搬运天车，对每个空闲状态的搬运天车进行分析，以确定转运天车；基于最佳转运轨道路线控制转运天车，将高负荷的半导体加工设备的半导体加工任务传送至低负荷的最优选半导体加工设备。
一种传送控制方法系统

[外观设计]晶圆送料出料综合控制设备（1）-CN202330359697.1有效
发明人：林坚;王彭;董蕖;银春 -专利权人：泓浒(苏州)半导体科技有限公司
申请日： 2023-06-12 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： 10-05 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：晶圆送料出料综合控制设备（1）。2.本外观设计产品的用途：用于晶圆盒的开启与关闭。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图1。
晶圆送料出料综合控制设备

[发明专利]一种半导体晶圆传送过程偏心纠正方法及纠正系统-CN202311136432.0在审
发明人：林坚;王彭;董渠;银春 -专利权人：泓浒（苏州）半导体科技有限公司
申请日： 2023-09-05 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： B25J9/16 文献下载
摘要：本发明公开了一种半导体晶圆传送过程偏心纠正方法及纠正系统，涉及晶圆传送偏心纠正技术领域，通过收集负压训练数据以及偏心训练数据，训练出预测晶圆负压值的第一机器学习模型以及预测偏心速度的第二机器学习模型，收集实时传送数据，并在监测到晶圆发生偏心时，基于晶圆偏心速度、实时传送数据、第一机器学习模型和第二机器学习模型，获得吸附力纠偏值和速度纠偏值；控制生产晶圆传送机械臂上吸盘的吸附力增大吸附力纠偏值，并控制机械臂移动速度降低速度纠偏值；达到及时发现晶圆偏心并进行在安全范围内的处理，保证晶圆的安全性的效果。
一种半导体传送过程偏心纠正方法系统

[发明专利]一种晶圆传送用机械臂及其控制方法-CN202310865271.2有效
发明人：林坚;王彭;董渠;银春 -专利权人：泓浒（苏州）半导体科技有限公司
申请日： 2023-07-14 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本发明提供了一种晶圆传送用机械臂及其控制方法，所述晶圆传送用机械臂包括：机械臂主体，包括旋转基座、驱动部和夹持部，所述驱动部设置于所述旋转基座上，所述驱动部与所述夹持部连接；所述夹持腔内设置有与晶圆形状相同的旋转平台；状态检测模块，包括第一红外发射器和第一红外接收器，所述第一红外发射器和所述第一红外接收器分别对称设置于所述旋转平台的外周；位置检测模块，包括第二红外发射器和第二红外接收器，所述第二红外发射器和所述第二红外接收器分别配置于所述夹持腔的顶面和底面。本发明提供的机械臂可以实现对晶圆的自适应抓取，从而满足不同使用场景下的晶圆传送要求。
一种传送机械及其控制方法

[发明专利]一种晶圆边缘对准方法及系统-CN202311034973.2在审
发明人：林坚;王彭;董渠;银春 -专利权人：泓浒（苏州）半导体科技有限公司
申请日： 2023-08-17 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种晶圆边缘对准方法及系统，方法包括：选取晶圆盒内首片晶圆的缺口和边缘点进行有序标定，建立晶圆坐标系计算边缘点的理论坐标，并用相机拍照采集边缘点及缺口图像，输出为第一像素信息；建立运动平台坐标系和像素坐标系，并通过像素坐标系建立晶圆坐标系与运动平台坐标系之间的转化关系，根据第一像素信息计算晶圆在运动平台坐标轴方向上的第一偏移量；根据第一偏移量确定晶圆圆心和缺口中心的位置，计算晶圆的旋转角度偏差并写入参数复刻模型；根据所述旋转角度偏差补偿旋转角度，计算晶圆在运动平台坐标轴方向的第二偏移量并写入参数复刻模型中，依照参数复刻模型对其它晶圆依次进行校准。
一种边缘对准方法系统

[发明专利]一种面向半导体生产线搬运系统的控制系统及方法-CN202310814068.2有效
发明人：林坚;王彭;董蕖;银春 -专利权人：泓浒（苏州）半导体科技有限公司
申请日： 2023-07-05 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： G06Q10/047 文献下载
摘要：本发明涉及智能天车控制技术领域，本发明公开了一种面向半导体生产线搬运系统的控制系统及方法，包括选定目标新型天车，确定目标新型天车的最优搬运路线和最短搬运路线；计算在预设时间跨度内采用最优搬运路线所需的第一搬运时长，计算在预设时间跨度内采用最短搬运路线所需的第二搬运时长，并将第一搬运时长与第二搬运时长进行比对；若第一搬运时长大于等于第二搬运时长，则基于最短搬运路线控制目标新型天车抵达目的点；若第一搬运时长小于第二搬运时长，则基于最优搬运路线控制目标新型天车抵达目的点；此外，本发明还公开了一种新型天车系统，本发明能够实现天车之间的协同控制，提高天车利用率，进一步提高天车系统的搬运效率。
一种面向半导体生产线搬运系统控制系统方法

[发明专利]一种晶圆搬运机械臂控制系统及方法-CN202310565947.6有效
发明人：林坚;王彭;董蕖;银春 -专利权人：泓浒（苏州）半导体科技有限公司
申请日： 2023-05-19 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： B25J9/16 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆搬运机械臂控制系统及方法，涉及晶圆搬运机械臂智能控制技术领域，通过预先收集晶圆搬运机械臂搬运晶圆的历史训练数据集合，基于历史训练数据集合，训练出预测晶圆搬运机械臂吸盘负压的机器学习模型，晶圆搬运机械臂在搬运晶圆前，晶圆搬运机械臂实时获取晶圆图像和生产数据，在晶圆搬运机械臂的控制后台，基于晶圆图像获取晶圆的几何中心位置和重心位置，基于生产数据、机器学习模型、晶圆的几何中心位置和重心位置，为晶圆搬运机械臂预先生成负压变化曲线；避免了在晶圆搬运机械臂移动过程中，因速度变化导致晶圆因负压过小脱落或因负压太大被挤压变形。
一种搬运机械控制系统方法

[发明专利]一种机器人机械臂移动路径控制系统及控制方法-CN202310518590.6有效
发明人：林坚;王彭;董蕖;银春 -专利权人：泓浒（苏州）半导体科技有限公司
申请日： 2023-05-10 - 公布日： 2023-07-07 - 主分类号： B25J9/16 文献下载
摘要：本发明属于路径规划技术领域，本发明公开了一种机器人机械臂移动路径控制系统及控制方法，获取机械臂初始姿态信息、初始位置以及目标环境图片，目标环境图片包括目标图像；对目标环境图片进行分析，将目标图像在目标环境图片中的位置信息标记为地标信息；建立机械臂导航模型，根据机械臂初始姿态信息、初始位置以及目标环境图片对机械臂导航模型进行初始化分析，生成初始化信息；构建蚁群算法，将初始化信息代入蚁群算法，对蚁群算法的参数初始化设置；根据信息素浓度和路径长度计算期望值，将最大期望值对应的蚂蚁移动的路径作为移动路径；将移动路径通过蚁群算法更新信息素和迭代优化，从而获得最优移动路径。
一种机器人机械移动路径控制系统控制方法

[发明专利]一类多氧孕甾烷化合物及用途-CN201380031642.1有效
发明人：叶阳;林革;姚胜;杜健华;马良;蔡若涓;唐春萍;银春;柯昌强;王亚周 -专利权人：中国科学院上海药物研究所;香港中文大学
申请日： 2013-06-14 - 公布日： 2018-04-13 - 主分类号： C07D493/08 文献下载
摘要：本发明公开了一类多氧孕甾烷化合物及其在制备用于逆转或抑制肿瘤细胞多药耐药性的药物中的用途。
一类多氧孕甾烷化合物用途

[发明专利]多氧孕甾烷皂苷前药化合物或其组合物及其用途-CN201310237924.9在审
发明人：叶阳;林革;杜健华;姚胜;蔡若涓;马良;银春;唐春萍;柯昌强 -专利权人：中国科学院上海药物研究所;香港中文大学
申请日： 2013-06-14 - 公布日： 2014-12-24 - 主分类号： A61K31/7048 文献下载
摘要：本申请涉及一类多氧孕甾烷皂苷前药化合物或其组合物及其用途。具体地，本发明公开了一种通式I所示前药化合物用于制备用于逆转或抑制肿瘤细胞多药耐药性的药物的用途，其中，R¹、R²、n定义如说明书所述。
多氧孕甾烷皂苷化合物组合及其用途

[发明专利]大环内酯类抗生素玻璃酸钠眼用传输系统-CN200510131982.9无效
发明人：涂家生;吴建梅;银春 -专利权人：涂家生;吴建梅;银春
申请日： 2005-12-22 - 公布日： 2006-08-09 - 主分类号： A61K47/36 文献下载
摘要：本发明涉及大环内酯类抗生素玻璃酸钠眼用传输系统，本发明的目的在于，提供一种以玻璃酸或其盐为载体的大环内酯类抗生素的眼用药物制剂，用于治疗细菌性眼部感染，本发明中所涉及的大环内酯类抗生素包括全部具有14元、15元或16元大环结构特征的抗生素，如：由链霉菌产生的天然抗生素，如红霉素、交沙霉素、螺旋霉素、麦迪霉素等，以及对天然抗生素进行结构修饰而半合成的衍生物，如罗红霉素、阿奇霉素、克拉霉素、罗他霉素、泰利霉素等。
内酯抗生素玻璃酸钠眼用传输系统

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