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- [发明专利]电气模块-CN202180090415.0在审
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实方雄平;铃木启悟;井出祐策;松本和生
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株式会社三国
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2021-03-17
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2023-09-15
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G01D5/12
- 一种电动节流阀(10)，包括：阀主体(16)，上述阀主体在内部设置有收容空间(19)，并且具有面向该收容空间(19)的开口部(25)；罩(11)，上述罩固定于阀主体并覆盖开口部(25)；电动马达(12)，上述电动马达设置于收容空间(19)；以及传感器(60)，其中，罩(11)设置有对电动马达(12)或传感器(60)与外部之间的配线进行连接的连接器(30)，连接器(30)相对于罩(11)以期望的朝向设置，并且固定于罩(11)。
- 电气模块
- [发明专利]基板处理装置-CN202211276682.X在审
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芳川典生;山下永二;铃木启悟;秋冈知辉;伊吹征也
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株式会社斯库林集团
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2022-10-18
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2023-04-25
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G03F7/30
- 本发明提供一种基板处理装置，能够减少因搬运辊引起的筋状的处理斑痕，并且还难以产生在基板的上表面形成积液的处理液的一部分向搬运辊的表面流出或者附着于搬运辊的泡上升到基板的上表面的问题。搬运机构(20)具有多个搬运辊(21)。搬运辊通过一边使在外周面上部分地形成的接触部(53)与基板(9)的下表面接触一边旋转，来搬运基板。接触部(53)与基板的下表面的接触位置随着搬运辊的旋转而在宽度方向上变化。由此，能够减少因搬运辊引起的筋状的处理斑痕。另外，由于搬运辊与基板的下表面的接触面积小，因此，还难以产生在基板的上表面形成积液的处理液的一部分向搬运辊的表面流出或者附着于搬运辊的泡上升到基板的上表面的问题。
- 处理装置
- [发明专利]流体控制阀-CN202210253602.2在审
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实方雄平;铃木启悟;井出祐策;田中优太
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株式会社三国
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2022-03-15
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2022-09-27
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F02D9/10
- 一种电动节流阀(10)，在包括连接器(30)的罩(11)与阀主体(16)之间的收纳空间(19)内置有减速机构(20)，阀主体(16)与罩(11)被激光焊接在一起而使收纳空间(19)被密闭，减速机构(20)包括与马达转轴(13)以及阀转轴(35)平行配置的中间转轴(36)、与固定于马达转轴(13)的端部的马达齿轮(37)啮合的第一中间齿轮(41)、与固定于阀转轴(35)的阀齿轮(39)啮合的第二中间齿轮(42)，第一中间齿轮(41)与第二中间齿轮(42)在中间转轴(36)的轴线方向上排列并一体地构成，第一中间齿轮(41)配置于比第二中间齿轮(42)靠电动马达(12)侧，将连接器(30)配置于马达转轴(13)的上方且配置于第二中间齿轮(42)的侧方。
- 流体控制
- [发明专利]变速机构及流体控制阀-CN202210254923.4在审
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实方雄平;铃木启悟;井出祐策;太田浩树
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株式会社三国
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2022-03-15
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2022-09-27
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F02D9/10
- 一种变速机构及流体控制阀。变速机构包括中间转轴(36)及中间齿轮(38)，中间转轴固定在设置于电动节流阀的阀主体的支承部(56)且与马达转轴及阀转轴平行配置，中间齿轮能旋转地配置于中间转轴，中间齿轮(38)具有与固定于马达转轴的马达齿轮啮合的第一中间齿轮(41)、与固定于阀转轴的阀齿轮啮合的第二中间齿轮(42)，第一中间齿轮(41)与第二中间齿轮(42)沿中间转轴(36)的轴线方向排列并一体构成，中间齿轮(38)的下端部形成有以中间转轴(36)的轴心为中心且向上方凹陷的半球状的凹部(55)，支承部(56)的与中间齿轮(38)的凹部(55)相对的相对面形成有以中间转轴(36)的轴心为中心呈半球状向上方突出且支承凹部(55)的凸部(57)。
- 变速机构流体控制
- [发明专利]节流装置-CN201980004920.1有效
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森谷翔;铃木启悟;樋江井雅树
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株式会社三国
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2019-01-10
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2022-07-05
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F02D9/02
- 本发明的节流装置包括主体(10)、阀轴(30)、节流阀(40)、驱动源(100)及将节流阀定位在全关位置与全开位置之间的默认位置的默认机构；默认机构包括：规定部(90)，为了规定默认位置而设置于主体；第一旋转体(50)，与阀轴一体旋转；第二旋转体(60)，能与阀轴相对旋转且卡合于规定部来限制向关阀方向的旋转；第一施力弹簧(70)，介设于第一旋转体与主体之间且使第一旋转体向关阀方向施力；以及第二施力弹簧(80)，介设于第一旋转体与第二旋转体之间，将第一旋转体拉向开阀方向且将第二旋转体拉向关阀方向而使两者卡合，且在驱动源不工作时施力以维持两者的卡合。由此容易设定、调整默认位置，能实现零件集约化、装置小型化。
- 节流装置
- [发明专利]涂布装置及涂布方法-CN201911172486.6有效
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富藤幸雄;大宅宗明;塩田明仁;铃木启悟
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株式会社斯库林集团
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2019-11-26
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2022-06-07
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B05B13/04
- 本发明提供一种抑制涂布不均的涂布装置及涂布方法。本发明的课题在于在通过涂布平台而一边使基板以上浮的状态移动一边对所述基板的上表面供给处理液来进行涂布的涂布装置中抑制涂布不均，所述涂布平台包含朝向上方具有气体的喷出口的多个开口部与具有所述气体的抽吸口的多个开口部。涂布上浮区域、上游侧上浮区域及下游侧上浮区域均在水平面内沿与移动方向正交的列方向排列沿着移动方向排列多个开口部而成的开口行而使基板上浮，在涂布上浮区域、上游侧上浮区域及下游侧上浮区域中的至少一个中，针对每个开口行，构成开口行的多个开口部在列方向上分散配置。
- 装置方法
- [发明专利]基板处理装置和基板处理方法-CN201911074538.6有效
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铃木启悟
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株式会社斯库林集团
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2019-11-06
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2022-04-01
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H01L21/67
- 本发明提供一种适合于多片基板的同时处理和多片基板的个别处理这两种处理的基板处理装置和基板处理方法。基板处理装置包括上游处理部、下游处理部、第一待机部、第二待机部以及搬送机器人。上游处理部对多片基板逐片依次进行处理。下游处理部可对通过上游处理部进行了处理的两片基板同时进行处理。第一待机部使作为被上游处理部处理过的基板的第一基板待机。第二待机部使作为被上游处理部处理过的基板的、且为第一基板的下一基板的第二基板待机。搬送机器人可取出第一基板与第二基板两者、仅第一基板、和仅第二基板的任一种作为搬送对象，且可将所述搬送对象搬送至下游处理部。
- 处理装置方法
- [发明专利]包括界面的阀单元-CN201810133525.0有效
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铃木启悟;V·黑森
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博萨尔排放控制系统公司;株式会社三国
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2018-02-09
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2022-02-11
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F02D9/10
- 本发明涉及一种包括界面的阀单元。用于控制燃烧发动机的进气或排气通过阀通道的流速的模块化阀单元包括具有阀壳体(1)和至少一个阀瓣(2)的阀。阀单元还包括界面(3)和转接器(6)，界面(3)与阀壳体(1)连接并且具有支撑件(32)和接合部分，该接合部分包括从支撑件(32)的远端伸出并且背离阀壳体(1)定向的至少两个接合腿部(31)。转接器(6)具有连接板(62)，该连接板具有用于接纳界面(3)的接合腿部(31)的至少两个接合孔口(61)和用于保持致动器(7)的安装部分。转接器(6)的连接板(62)的至少两个接合孔口(61)各自被配置成接合界面(3)的接合部分的对应的至少两个接合腿部(31)。
- 包括界面单元
- [发明专利]涂覆装置以及涂覆方法-CN201810173071.X有效
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塩田明仁;铃木启悟
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株式会社斯库林集团
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2018-03-02
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2021-02-23
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B05C5/02
- 本发明提供涂覆装置及方法。抑制从涂覆载台的上方向基板的上表面喷出涂覆液进行涂覆后将基板搬运至出口载台时产生涂覆不均。具有：搬运部，保持并搬运基板；喷嘴，向搬运的基板的上表面喷出涂覆液进行涂覆；涂覆载台，配置于喷嘴的下方位置，通过向搬运的基板的下表面喷出第一气体来使基板以水平姿势浮起；出口载台，在搬运基板的搬运方向上，在涂覆载台的下游侧与涂覆载台分离，通过向从涂覆载台搬运的基板的下表面喷出第二气体来使基板以水平姿势浮起；温度控制机构，以与第一气体以及第二气体的温度接近的方式控制夹在缝隙区域和通过缝隙区域的上方搬运的基板的下表面之间的环境的温度，缝隙区域是夹在涂覆载台和出口载台之间的区域。
- 装置以及方法
- [实用新型]载物台测定夹具及涂敷装置-CN201921443391.9有效
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铃木启悟
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株式会社斯库林集团
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2019-08-30
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2020-06-23
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H01L21/67
- 本实用新型提供一种载物台测定夹具及涂敷装置。浮起载物台(3)对由搬运往复装置(5)沿规定的搬运方向(D1)搬运的基板(W)施加浮起力。浮起载物台(3)的各上表面(31S～33S)形成有喷出空气的多个孔。载物台测定夹具(8)具有：五个载物台测定器(81)，在搬运宽度方向D2上配置；架桥结构(83)，作为使各载物台测定器(81)与搬运往复装置(5)连接的连接部。各载物台测定器(81)测定浮起载物台(3)的上表面(31S～33S)的铅垂位置。搬运往复装置(5)与架桥结构(83)一起使各载物台测定器(81)沿搬运方向(D1)移动。
- 载物台测定夹具装置
- [发明专利]旋转角度检测装置-CN201280008204.9有效
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铃木启悟;樋江井雅树
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株式会社三国
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2012-02-14
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2013-11-20
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G01D5/14
- 本发明提供一种在较广的角度范围内可得到高精度检测结果的旋转角度检测装置。旋转角度检测装置（1）具有被检测部（4）与霍尔IC（5），前者通过转子（3）安装在节流阀轴（S）上，后者检测被检测部（4）的磁通量成分。霍尔IC（5）具有与被检测部（4）相对配置并沿着被检测部（4）的旋转面延伸的集磁板（51），和用于检测被检测部（4）的磁通量成分的霍尔元件（52），基于霍尔元件（52）上的检查结果，输出对应节流阀轴（S）旋转位置的信号。霍尔元件（52a）、（52c）用来检测通过节流阀轴（S）旋转轴的X轴方向的磁通量成分，霍尔元件（52b）、（52d）用来检测通过节流阀轴（S）旋转轴的Y轴方向的磁通量成分。被检测部（41）是在半圆环状的磁铁（42）上组合半圆形的磁轭（41）而构成。
- 旋转角度检测装置
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