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- [发明专利]半导体装置结构-CN202210184159.8在审
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庄其毅;钟政庭;陈豪育;程冠伦
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台湾积体电路制造股份有限公司
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2022-02-24
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2022-07-19
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H01L21/8238
- 本公开提供一种半导体装置结构。上述半导体装置结构包括第一及第二源极/漏极外延特征、设置于第一与第二源极/漏极外延特征间的第一栅极电极层、第三及第四源极/漏极外延特征、设置于第三与第四源极/漏极外延特征间的第二栅极电极层、设置于第一及第二源极/漏极外延特征上的第五及第六源极/漏极外延特征以及设置于第五与第六源极/漏极外延特征间的第三栅极电极层。第三栅极电极层电性连接至第二源极/漏极外延特征。上述结构包括设置于第三及第四源极/漏极外延特征上的第七及第八源极/漏极外延特征。第二栅极电极层设置于第七与第八源极/漏极外延特征间。
- 半导体装置结构
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