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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]等离子体导流板、衬底处理装置以及衬底处理方法-CN202211386948.6在审
发明人： 金学泳;金道源;任志洙;卢泳辰;朴哲佑;许敏宁 -专利权人：三星电子株式会社
申请日： 2022-11-07 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：公开的是等离子体导流板、衬底处理装置和衬底处理方法。所述等离子体导流板包括：下环；上环，所述上环在俯视图中位于所述下环外部并且垂直地延伸；以及中间环，所述中间环从所述下环延伸到所述上环以相对于水平方向形成锐角。所述下环包括：下中央孔，所述下中央孔垂直地穿过所述下环的中心；以及多个下狭缝，所述多个下狭缝位于所述下中央孔外部并且垂直地穿透所述下环。所述中间环提供将所述中间环的内侧表面连接到所述中间环的外侧表面的中间狭缝。所述多个下狭缝与所述下环的面积比等于或大于大约59％。
等离子体导流衬底处理装置以及方法

[发明专利]基板处理设备和使用该基板处理设备的基板处理方法-CN202211448674.9在审
发明人： 金学泳;许敏宁;朴秀珉;李大贤 -专利权人：三星电子株式会社
申请日： 2022-11-18 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：公开了基板处理设备和基板处理方法。所述基板处理设备包括：卡盘，所述卡盘支撑基板；绝缘体环，所述绝缘体环围绕所述卡盘；聚焦环，所述聚焦环位于所述绝缘体环上；以及接地环，所述接地环位于所述绝缘体环外部。所述接地环包括接地环主体和位于所述接地环主体上的延伸环。所述延伸环的宽度小于所述接地环主体的宽度。所述延伸环的内侧表面比所述接地环主体的内侧表面更向外。所述延伸环的顶部与所述卡盘的顶表面之间的水平高度差在大约52mm至大约60mm的范围内。
处理设备使用方法

[发明专利]等离子体处理装置-CN201710325905.X有效
发明人： 金学泳;洪定杓;宣钟宇;成德镛;林龙浩;全允珖;郑和俊 -专利权人：三星电子株式会社
申请日： 2017-05-10 - 公布日： 2021-01-12 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明提供一种等离子体处理装置，该等离子体处理装置包括：腔室；窗口板，设置在腔室的上部分中并在其中限定有紧固孔；注入器，具有包括多个喷嘴并构造为被紧固到紧固孔的主体部、和从主体部径向地延伸以在主体部被紧固到紧固孔时部分地覆盖窗口板的底表面的凸缘部；和制动器，构造为在窗口板的上表面上被紧固到主体部以在主体部被紧固到紧固孔时将注入器保持在紧固孔中。
等离子体处理装置

[发明专利]控温装置、测温器和包括该控温装置的等离子体处理设备-CN201910115417.5在审
发明人： 金学泳;申菲儿;尹宝拉;任埈澔 -专利权人：三星电子株式会社
申请日： 2019-02-14 - 公布日： 2019-12-27 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：提供了等离子体处理设备的控温装置、用于等离子体处理设备的测温器以及等离子体处理设备，所述控温装置包括控温器，所述控温器包括：可移动冷却板，被构造成选择性地接触等离子体腔室上的介电窗，冷却板具有用于冷却介电窗的冷却剂可流动穿过其的至少一个冷却槽；至少一个冷却端口，包括连接到所述至少一个冷却槽的冷却通道；以及弹性构件，被构造成朝向冷却板弹性地按压冷却端口，使得冷却板关于介电窗相对可移动。
冷却板等离子体处理设备介电窗冷却控温装置可移动控温器冷却槽冷却剂按压等离子体腔室弹性构件冷却通道测温器可流动穿过

[发明专利]涡旋式压缩机-CN201210369547.X有效
发明人：金哲欢;李康旭;李在祥;金学泳;李丙哲 -专利权人： LG电子株式会社
申请日： 2012-09-28 - 公布日： 2013-05-01 - 主分类号： F04C18/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种涡旋式压缩机。根据本发明，在轴穿透涡旋式压缩机中，转轴的偏心部沿径向与绕动涡盘的绕动涡卷重叠，背压室形成在绕动涡盘的后表面上可从圆形中心绕排放口偏心地形成以与偏心排放口对应，从而有效地防止绕动涡盘由于排放口偏心地形成时所产生的气体力的偏心率而导致的倾斜。
涡旋式压缩机

[发明专利]涡旋式压缩机-CN201210377986.5有效
发明人：成相勋;金学泳;李在祥;李丙哲 -专利权人： LG电子株式会社
申请日： 2012-10-08 - 公布日： 2013-04-17 - 主分类号： F04C18/02 文献下载
摘要：一种涡旋式压缩机，可包括阻挡部，该阻挡部设于该涡旋式压缩机的固定部件中，并被设置成靠近在该压缩机的绕动涡盘中形成的排放孔。当排放操作开始时，该阻挡部可暂时地遮盖该排放孔，从而防止排放到排放空间中的制冷剂回流到压缩室，而不使用单独的止回阀。这种阻挡部可防止因止回阀通常会产生的噪音而使压缩机的整体噪音增大。这种阻挡部还可防止由于阀损坏而引起的压缩机可靠性的降低，并且避免了由于增设阀而增加润滑成本。
涡旋式压缩机

[发明专利]具有旁路孔的涡旋式压缩机-CN201210377425.5有效
发明人：成相勋;金学泳;赵南奎;李丙哲 -专利权人： LG电子株式会社
申请日： 2012-10-08 - 公布日： 2013-04-17 - 主分类号： F04C18/02 文献下载
摘要：一种涡旋式压缩机，包括：固定涡盘，具有固定涡卷和盘部，该固定涡卷的厚度沿着压缩路径而变化，该盘部具有一排放孔用以排放压缩后的制冷剂；绕动涡盘，具有绕动涡卷，该绕动涡卷与固定涡卷共同限定压缩室，并且其厚度沿着压缩路径而变化，该绕动涡盘相对于该固定涡盘执行绕动运动；联接到该绕动涡盘的旋转轴；以及驱动该旋转轴的驱动单元，该驱动单元包括形成在该固定涡盘上的多个旁路孔；以及设置在各旁路孔处的旁通阀，其中每个旁路孔的直径均大于该排放孔的有效直径的三分之一。
具有旁路涡旋式压缩机

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