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[发明专利]处理基板边缘区域的装置与方法-CN201210024293.8无效
发明人：阿希什·沙;加内什·巴拉萨布拉曼尼恩;戴尔·R·杜波依斯;马克·A·福多尔;金义勇;秋·钱;卡希克·贾纳基拉曼;托马斯·诺瓦克;约瑟夫·C·沃纳;维斯韦斯瓦伦·西瓦拉玛克里施南;穆罕默德·阿尤布;阿米尔·阿拉-巴提亚;周建华 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2008-07-09 - 公布日： 2012-07-04 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明包含用以在基板边缘区域进行蚀刻的装置与方法。于一实施例中，该装置包含腔室主体、基板支撑件、等离子体产生器以及气体传送组件，该腔室主体具有处理容积；该基板支撑件设置在该处理容积内侧，且该基板支撑件具有基板支撑表面；该等离子体产生器连接至该腔室，将等离子体相的蚀刻剂提供至该基板支撑表面的周边区域；以及该气体传送组件连接至气体源，以在该基板支撑表面上产生径向气流，所述径向气流从该基板支撑表面的约中央区域朝向该基板支撑表面的周边区域。
处理边缘区域装置方法

[发明专利]用于等离子体增强的化学气相沉积和斜边蚀刻的系统-CN200880024436.7无效
发明人：阿希什·沙;戴尔·R·杜波依斯;加内什·巴拉萨布拉曼尼恩;马克·A·福多尔;金义勇;秋·钱;卡希克·贾纳基拉曼;托马斯·诺瓦克;约瑟夫·C·沃纳;维斯韦斯瓦伦·西瓦拉玛克里施南;穆罕默德·阿尤布;阿米尔·阿拉-巴提亚;周建华 -专利权人：应用材料股份有限公司
申请日： 2008-07-09 - 公布日： 2010-06-16 - 主分类号： C23F1/02 文献下载
摘要：本发明的实施例涉及一种整合基板边缘处理能力的基板处理系统。所述处理系统的实例包括但不限于一制造界面、一加载互锁真空室、一传送腔室以及一或多个双处理腔室，其中该双处理腔室具有两个或多个可彼此相互隔离，且共享同一气体供应件与同一排气泵的处理区域。在每一双处理腔室中的处理区域包含独立的气体分布组件与RF功率源，以在每一处理区域中基板表面上的选择区域提供等离子体。每一双处理腔室因而设置成能于处理区域中的至少两个基板上同时进行多个经隔离的处理。
用于等离子体增强化学沉积斜边蚀刻系统

[实用新型]穿芯型磉板石、鼓磴石钢筋混凝土立柱结构-CN200920118840.2无效
发明人： 金义勇;程建平;顾亦农 -专利权人：浙江八达建设集团有限公司
申请日： 2009-04-30 - 公布日： 2010-05-12 - 主分类号： E04C3/34 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种穿芯型磉板石、鼓磴石钢筋混凝土立柱结构，它包括磉板石、鼓磴石和钢筋混凝土柱体，其特征是在磉板石、鼓磴石上开有串芯通孔，钢筋混凝土柱体贯穿挖芯通孔，并与柱基结合一体，形成柱体与柱基连成整体结构。其施工方法包括对磉板石、鼓磴石开串芯通孔，施工过程是：测量放线、挖芯磉板石、鼓磴石套柱就位及其固定、柱钢筋捆扎、支模、浇筑柱混凝土、拆模、养护，最后将钢筋混凝土柱表面及磉板石、鼓磴石加工修饰。本实用新型柱身与鼓磴石、磉板石连接成一体，增加了仿古建筑大木构架的整体性及其空间美感，具有很大的环境效益。并且加工效率大大提高，节约了材料，保护了环境。
穿芯型磉板石鼓磴石钢筋混凝土立柱结构

[发明专利]处理基板边缘区域的装置与方法-CN200880024240.8有效
发明人：阿希什·沙;加内什·巴拉萨布拉曼尼恩;戴尔·R·杜波依斯;马克·A·福多尔;金义勇;秋·钱;卡希克·贾纳基拉曼;托马斯·诺瓦克;约瑟夫·C·沃纳;维斯韦斯瓦伦·西瓦拉玛克里施南;穆罕默德·阿尤布;阿米尔·阿拉-巴提亚;周建华 -专利权人：应用材料股份有限公司
申请日： 2008-07-09 - 公布日： 2010-03-31 - 主分类号： H01L21/302 文献下载
摘要：本发明包含用以在基板边缘区域进行蚀刻的装置与方法。于一实施例中，该装置包含腔室主体、基板支撑件、等离子体产生器以及气体传送组件，该腔室主体具有处理容积；该基板支撑件设置在该处理容积内侧且具有基板支撑表面；该等离子体产生器连接至该腔室，将等离子体相的蚀刻剂提供至该基板支撑表面的周边区域；以及该气体传送组件连接至气体源，以在该基板支撑表面上产生从该基板支撑表面的约中央区域朝向该基板支撑表面的周边区域的径向气流。
处理边缘区域装置方法

[发明专利]穿芯型磉板石、鼓磴石钢筋混凝土立柱结构及其施工方法-CN200910098202.3在审
发明人： 金义勇;程建平;顾亦农 -专利权人：浙江八达建设集团有限公司
申请日： 2009-04-30 - 公布日： 2009-10-07 - 主分类号： E04B1/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种穿芯型磉板石、鼓磴石钢筋混凝土立柱结构，它包括磉板石、鼓磴石和钢筋混凝土柱体，其特征是在磉板石、鼓磴石上开有串芯通孔，钢筋混凝土柱体贯穿挖芯通孔，并与柱基结合一体，形成柱体与柱基连成整体结构。其施工方法包括对磉板石、鼓磴石开串芯通孔，施工过程是：测量放线、挖芯磉板石、鼓磴石套柱就位及其固定、柱钢筋捆扎、支模、浇筑柱混凝土、拆模、养护，最后将钢筋混凝土柱表面及磉板石、鼓磴石加工修饰。本发明柱身与鼓磴石、磉板石连接成一体，增加了仿古建筑大木构架的整体性及其空间美感，具有很大的环境效益。并且加工效率大大提高，节约了材料，保护了环境。
穿芯型磉板石鼓磴石钢筋混凝土立柱结构及其施工方法

[发明专利]在浸没式平版印刷术中防止图案倒塌的等离子体表面处理-CN200810171681.2无效
发明人： 金义勇;迪内士·帕德希;戴辉尚;梅休尔·B·内克;马丁·杰·西蒙斯;金柏涵 -专利权人：应用材料股份有限公司
申请日： 2008-10-23 - 公布日： 2009-05-13 - 主分类号： H01L21/027 文献下载
摘要：本发明包括一种当在浸没式显影之后干燥光刻胶掩模时减少光刻胶掩模倒塌的方法。由于特征尺寸持续缩小，用于冲洗光刻胶掩模的水的毛细作用力接近大于光刻胶对ARC的粘附力的点。当毛细作用力超过粘附力时，由于当水变干时水将相邻特征拉向彼此，掩模特征可能倒塌。通过在沉积光刻胶之前在ARC之上沉积密封氧化物层，粘附力可超过毛细作用力并且光刻胶掩模的特征可不会倒塌。
浸没平版印刷术防止图案倒塌等离子体表面处理

[发明专利]一种张弦悬臂梁结构及其应用和施工方法-CN200710306989.9无效
发明人：杜文风;金义勇;钟国义 -专利权人：浙江八达建设集团有限公司
申请日： 2007-12-29 - 公布日： 2008-06-18 - 主分类号： E04B1/342 文献下载
摘要：本发明公开了一种张弦悬臂梁结构及其应用和施工方法，它包括悬臂梁和压杆，悬臂梁上设有上弦索和竖杆，在悬臂梁下部设有稳定索，由此构成单榀张弦悬臂梁结构。悬臂梁的端部设有支座，悬臂梁的端部与支座是铰支座连接。本发明提供的一种张弦悬臂梁结构，可将单榀张弦悬臂梁沿环向阵列，并用环梁相连，构成挑蓬结构。将上述张弦悬臂梁结构应用于体育场挑蓬结构中。本发明所提供的张弦悬臂梁结构具有以下优点：可实现一端约束，这样可用于体育场挑蓬结构中；构件以承受轴力为主，充分发挥材料的强度；结构具有自我调节，自我保护的功能。
一种悬臂梁结构及其应用施工方法

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