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[发明专利]一种纳米线压力传感器及传感器阵列-CN201911109189.7有效
发明人：解婧;李超波;邢建鹏;林琳;王欢;郜晨希;郑旭 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2019-11-13 - 公布日： 2022-11-04 - 主分类号： G01L1/18 文献下载
摘要：本发明实施例提供的一种纳米线压力传感器及传感器阵列，包括：基底、纳米线阵列以及至少两个金属电极，所述金属电极和所述纳米线阵列均位于所述基底的同一面；所述纳米线阵列分布在所述金属电极之间，所述纳米线阵列含有两个以上的纳米线单元，每个所述纳米线单元至少与一个所述金属电极连接，所述金属电极用于给所述纳米线阵列施加电压。本发明中的纳米线压力传感器及传感器阵列具备高灵敏度可进行大面积应用。
一种纳米压力传感器传感器阵列

[发明专利]一种纳米线压力传感器制备方法-CN201911109178.9有效
发明人：解婧;李超波;邢建鹏;林琳;刘金虎;刘瑞琪;郜晨希 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2019-11-13 - 公布日： 2022-10-21 - 主分类号： G01L5/00 文献下载
摘要：本发明实施例提供的一种纳米线压力传感器制备方法，所述方法包括：获取有机材料基底；根据需要获取的纳米线阵列结构，在所述基底上制备凹槽阵列；在所述凹槽阵列中填充导电材料，形成纳米线阵列；其中，所述纳米线阵列中包含多个纳米线单元；在所述基底上附着与所述纳米线阵列相连的金属电极，获得纳米线压力传感器；其中，每个所述纳米线单元至少连接一个所述金属电极。本发明提供的方法可制备高感知度的压力传感器，并且适用于大范围的压力传感器的制备。
一种纳米压力传感器制备方法

[发明专利]电容式压力检测装置及传感器-CN201911425737.7有效
发明人：郑旭;林琳;远雁;张心强;王迪;郜晨希;刘瑞琪;靳毅;陈林;李超波 -专利权人：中国科学院微电子研究所;川北真空科技（北京）有限公司
申请日： 2019-12-31 - 公布日： 2022-10-21 - 主分类号： G01L1/14 文献下载
摘要：一种电容式压力检测装置及传感器。所述装置包括：差分电容(1)；检测模块(2)，用于输出检测信号至差分电容(1)，并根据差分电容(1)两端的电压变化计算第一电压；调整模块(3)，用于对第一电压进行线性化调整，得到第二电压；放大模块(4)，用于对第二电压进行放大，得到输出电压；温度补偿模块(5)，连接放大模块(4)的输入端与输出端，以对输出电压进行温度补偿，温度补偿后的输出电压与差分电容(1)所处环境的压力线性相关。实时进行温度补偿，减小检测装置输出电压的温度漂移，提高的输出电压与所处环境压力之间的线性程度，节约温度补偿成本。
电容压力检测装置传感器

[发明专利]差分电容式压力检测装置-CN201911425825.7有效
发明人：郑旭;林琳;远雁;张心强;王迪;郜晨希;刘瑞琪;靳毅;陈林;李超波 -专利权人：中国科学院微电子研究所;川北真空科技（北京）有限公司
申请日： 2019-12-31 - 公布日： 2022-10-21 - 主分类号： G01L1/14 文献下载
摘要：一种差分电容式压力检测装置，该装置包括：高精度检测电路模块，用于将反映压力变化的差分电容值转换成初始电压信号；线性化调整模块，用于对接收自该高精度检测电路模块的初始电压信号进行线性化调整，得到为第一电压信号；放大输出模块，用于对接收自该线性化调整模块的第一电压信号进行运算放大，得到模拟量输出的第二电压信号；模数转换及调整电路模块，用于对接收自该放大输出模块的第二电压信号进行模数转换，将第二电压信号转换成数字量并输出；可编程输出电路模块，用于进行输出方式的选择切换。本发明采用可编程输出电路模块，通过可控模拟开关可以实现输出方式的切换，实现了输出方式的灵活选择。
电容压力检测装置

[发明专利]环形支撑结构及应用其的陶瓷电容式压力传感器-CN201911212383.8有效
发明人：林琳;李超波;郑旭;张心强;郜晨希;王迪;刘瑞琪;靳毅;陈林;远雁 -专利权人：中国科学院微电子研究所;川北真空科技（北京）有限公司
申请日： 2019-11-29 - 公布日： 2022-06-07 - 主分类号： G01L9/12 文献下载
摘要：一种环形支撑结构及应用其的陶瓷电容式压力传感器，所述环形支撑结构包括：壳体；环形凸部，沿所述壳体内周壁凸设置；支撑部，沿所述环形凸部外边缘向上延伸，所述支撑部上设置多个导气槽口。本发明能够在降低加工误差积累的前提下减少零配件数量和零配件接触面积，防止温漂等原因造成的零配件之间的机械迟滞，从而提高测量精度。
环形支撑结构应用陶瓷电容压力传感器

[发明专利]一种薄膜式电容传感器-CN201911212861.5有效
发明人： 郜晨希;王迪;林琳;刘瑞琪;郑旭;远雁;李超波 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2019-11-29 - 公布日： 2022-02-08 - 主分类号： G01L1/14 文献下载
摘要：一种薄膜式电容传感器，包括陶瓷定电极、定电极连接环、外壳、外壳上盖、压紧环、调节环和膜片动电极，其中：陶瓷定电极作为电容极板，与膜片动电极组成可变电容，用于检测和输出被测环境压力变化；定电极连接环用于连接陶瓷定电极和薄膜式电容传感器的外壳；外壳位于传感器的最外侧，起到支持作用；外壳上盖焊接到外壳上，用于密封薄膜式电容传感器和压紧定电极连接环；压紧环用于压紧定电极连接环，防止陶瓷定电极滑动；调节环用于作为膜片动电极与陶瓷定电极之间的电容间距；膜片动电极作为电容极板，和陶瓷定电极组成可变电容，当外界压力变化时，膜片受力变形，导致其于陶瓷定电极间距发生变化，从而产生电容变化。
一种薄膜电容传感器

[发明专利]一种基于金属微观结构的精密模具-CN201910231904.8有效
发明人：解婧;王欢;郜晨希;邢建鹏;李超波 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2019-03-26 - 公布日： 2021-10-08 - 主分类号： B29C33/42 文献下载
摘要：本发明实施例提供的一种基于金属微观结构的精密模具，包括：衬底；牺牲层，所述牺牲层附着于所述衬底上；结构层，所述结构层嵌于所述牺牲层内，且所述结构层的底面位于所述牺牲层内部；三维结构内部腔体，所述三维结构内部腔体位于所述结构层内部；三维结构腔体外部通孔，所述三维结构腔体外部通孔与所述三维结构内部腔体相连通。解决了现有技术中成型技术对金属材料的消耗大、制造成本高，对特殊三维结构的成型精度难以控制的技术问题。达到了高精度的对任意结构微型金属模具的立体三维机械加工，降低加工成本，减小精密微小零件装配带来的对准容差及废品率的技术效果。
一种基于金属微观结构精密模具

[发明专利]柔性电极支撑结构-CN201911188540.6有效
发明人： 郜晨希;林琳;王迪;郑旭;刘瑞琪;远雁;李超波 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2019-11-27 - 公布日： 2021-07-27 - 主分类号： G01L1/14 文献下载
摘要：本发明公开了一种柔性电极支撑结构，该柔性电极支撑结构为圆环方波型结构，置于柔性电极外壳台阶处，用于支撑陶瓷定电极，并调节陶瓷定电极与金属动电极之间的电容距离。本发明提出的柔性电极支撑结构采用圆环方波结构，在高精度薄膜传感器中，柔性电极支撑结构作为连接媒介，在温度变化时，通过弹性形变来吸收和释放陶瓷与金属热膨胀系数不同引起的机械迟滞，可以有效避免金属动电极和陶瓷定电极热膨胀系数不同导致的机械迟滞。
柔性电极支撑结构

[发明专利]一种旋涂装置-CN201910780809.3有效
发明人：杨进;郜晨希;刘金虎 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2019-08-22 - 公布日： 2020-12-29 - 主分类号： B05B3/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种旋涂装置，属于表面涂覆技术领域，通过电机，所述电机具有一竖直方向上设置的转动轴；样片托盘，所述样片托盘位于所述转动轴的顶端；转盘，所述转盘设置在所述样片托盘的下方，且所述转盘与所述样片托盘之间具有第一预设距离；腔室，所述腔室设置在所述转盘的下方，且所述腔室与所述转盘之间具有第二预设距离；弹性件，所述弹性件设置在所述腔室的底端，且所述弹性件套设在所述转动轴外部，从而解决了现有技术中旋涂设备的密封性随着电机的高速旋转，经常有漏气情况发生的技术问题，达到了提高旋涂设备的密封能力和可靠性，提高整机气路的畅通，提高样片在设备中的吸附能力，延长设备使用寿命的技术效果。
一种装置

[实用新型]一种传感器用微小电流信号传输连接器-CN202021438379.1有效
发明人：徐亚辉;张心强;靳毅;齐英;蔺宇;马现刚;陈林;王迪;林琳;郜晨希;刘瑞琪;远雁;郑旭;邢建鹏;李超波 -专利权人：川北真空科技（北京）有限公司
申请日： 2020-07-20 - 公布日： 2020-12-29 - 主分类号： H01R13/11 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种传感器用微小电流信号传输连接器，属于高精密传感器技术领域，包括支撑脚，底端固定连接在固定极板的导电层上；限位环；弹片，多个所述弹片的延伸段围合构成的最小圆周的直径小于所述限位环的圆周的直径；本实用新型提供的微小电流信号传输连接器，微小电流信号传输连接器与导电柱芯为插接配合，在导电柱芯安装过程中不会发生微小电流信号传输连接器脱离导电柱芯，同时连接器通过支撑脚固定连接在母元器件上，对导电柱芯进行限位，使与固定极板的相对位置固定，不会虚接或断路。
一种传感器用微小电流信号传输连接器

[发明专利]一种微观零件批量精密加工仪器-CN201910231902.9有效
发明人：解婧;王欢;郜晨希;邢建鹏;李超波 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2019-03-26 - 公布日： 2020-09-29 - 主分类号： B23P23/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种微观零件批量精密加工仪器，所述仪器包括：本体，所述本体具有一内部容置空间；原料及靶材装配模块，所述原料及靶材装配模块设置在所述本体外侧的一端，与所述内部容置空间连通；表面处理模块、选择性电铸模块、飞刀切削模块、填充电铸模块、平坦化模块及剥离释放模块依次设置在所述容置空间内的底部，其中，所述表面处理模块靠近所述原料及靶材装配模块的一端，所述剥离释放模块位于所述容置空间的另一端。实现了任意精密三维结构的一次性直接制造，减少对准、装配等后续步骤，避免了精密微小零件装配带来的对准容差及成平率低，大幅提升了零件制造精度、可靠性，进而降低加工成本的技术效果。
一种微观零件批量精密加工仪器

[发明专利]一种传感器用微小电流信号传输连接器-CN202010702581.9在审
发明人：徐亚辉;张心强;靳毅;齐英;蔺宇;马现刚;陈林;王迪;林琳;郜晨希;刘瑞琪;远雁;郑旭;邢建鹏;李超波 -专利权人：川北真空科技（北京）有限公司
申请日： 2020-07-20 - 公布日： 2020-09-25 - 主分类号： H01R13/11 文献下载
摘要：本发明提供了一种传感器用微小电流信号传输连接器，属于高精密传感器技术领域，包括支撑脚，底端固定连接在固定极板的导电层上；限位环；弹片，多个所述弹片的延伸段围合构成的最小圆周的直径小于所述限位环的圆周的直径；本发明提供的微小电流信号传输连接器，微小电流信号传输连接器与导电柱芯为插接配合，在导电柱芯安装过程中不会发生微小电流信号传输连接器脱离导电柱芯，同时连接器通过支撑脚固定连接在母元器件上，对导电柱芯进行限位，使与固定极板的相对位置固定，不会虚接或断路。
一种传感器用微小电流信号传输连接器

[发明专利]压力传感器-CN202010057137.6在审
发明人：刘瑞琪;李超波;林琳;郜晨希;远雁;王迪;郑旭;张心强;靳毅;陈林 -专利权人：中国科学院微电子研究所;川北真空科技（北京）有限公司
申请日： 2020-01-17 - 公布日： 2020-05-29 - 主分类号： G01L19/14 文献下载
摘要：一种压力传感器，应用于传感器技术领域，包括：电路板、膜盒及膜盒温包、屏蔽板、加热罩，屏蔽板固定在膜盒温包上，膜盒位于膜盒温包内，电路板位于屏蔽板上，且与屏蔽板固定，加热罩固定于屏蔽板的表面上，并罩盖电路板。通过屏蔽板和加热罩将电路板与膜盒温包隔离，避免电路板的热量传递至膜盒温包，可避免电路板产生的热量影响膜盒温包对膜盒的整体温度控制，最终影响传感器的测量精度，同时保证电路板的正常工作。
压力传感器

[发明专利]压力传感器-CN202010056915.X在审
发明人：刘瑞琪;李超波;郜晨希;王迪;郑旭;林琳;远雁;张心强;靳毅;陈林 -专利权人：中国科学院微电子研究所;川北真空科技（北京）有限公司
申请日： 2020-01-17 - 公布日： 2020-05-29 - 主分类号： G01L19/14 文献下载
摘要：一种压力传感器，应用于压力传感器技术领域，包括：膜盒设置于壳体内，多个膜盒加热器分别贴附在壳体的外表面上，至少三个温度传感器均匀设置在壳体的内表面上，且每个膜盒加热器对应有至少一个温度传感器。通过将多个膜盒加热器分别贴附在壳体的外表面上，同时每个膜盒加热器对应有至少一个温度传感器，可实现对膜盒温度的分区控制，获得更加均匀的温度场分布，使膜盒膜片各方向的温度根据实际热负载、热损失、距离等需要各自调整控制，增加压力传感器零点的稳定性，使得压力传感器的测量精度更高和扩展测量下线值。
压力传感器

[发明专利]具有USB输出的高精度差分电容式压力检测装置-CN201911425841.6在审
发明人：郑旭;林琳;王迪;郜晨希;远雁;刘瑞琪;李超波 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2019-12-31 - 公布日： 2020-05-22 - 主分类号： G01L1/14 文献下载
摘要：本发明公开了一种具有USB输出的高精度差分电容式压力检测装置，通过在传统检测装置的基础上，增加USB开关按钮的USB模块电路，实现为用户提供便利的实时数据存储，尤其是在压力检测装置调零或由于使用时间过长后装置准确性下降或出现故障后的数据检测。
具有 usb 输出高精度电容压力检测装置

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