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- [实用新型]一种单晶炉用新型电极-CN202120143381.4有效
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郑伟扬
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宁夏协鑫晶体科技发展有限公司
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2021-01-19
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2021-11-23
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C30B35/00
- 本实用新型公开了一种单晶炉用新型电极,包括对称设置于底加热器底部两侧的两个升降电极组件;每个升降电极组件包括铜电极、波纹管、丝杆以及驱动电机;所述铜电极的底部固定于丝杆顶部,丝杆的底部穿过单晶炉炉底后与单晶炉外部的驱动电机驱动连接,丝杆与单晶炉炉底贯穿部位相互啮合,通过驱动电机驱动丝杆转动,实现上部的铜电极升降动作;铜电极的底部与单晶炉炉底之间通过波纹管连接,并在波纹管内形成隔离空间,用于容纳所述的丝杆;所述铜电极的顶部与底加热器底部对应的石墨电极相互卡接。该单晶炉用新型电极通过升降设计,能够实现底加热器与坩埚可同步升降,从而底加热器对坩埚进行近距离持续加热进而实现加快化料速度提升产能的目的。
- 一种单晶炉用新型电极
- [实用新型]一种单晶炉用中轴护盘-CN202121149668.4有效
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郑伟扬;王思锋;周宇;李莎;焦岳卫
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宁夏协鑫晶体科技发展有限公司
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2021-05-26
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2021-11-12
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C30B15/00
- 本实用新型公开了一种单晶炉用中轴护盘,其为一底部开口的盘状结构,包括环形的护盘侧壁、顶部用于承托石墨锅底的护盘顶座;通过底部的开口扣合在中轴盘上,护盘侧壁包合于中轴盘外壁上;所述护盘顶座的中心处,设有与上部石墨锅底适配的安装沉孔;所述的护盘侧壁的底部向外延伸,形成环形导流盘。该中轴护盘采用环形侧壁结合凸台及沉孔设计,保证匹配安装稳定性实现对中轴的无死角防护。采用外延式导流设计,避免硅液沿中轴进入下轴,损坏设备。该单晶炉用中轴护盘安装便捷,使用时只需将该部件放置于石墨埚底与中轴盘之间即可。一旦发生漏硅硅液沿埚底流经护盘不会对中轴盘及中轴造成损伤,可避免热场部件损失降低事故损失。
- 一种单晶炉用中轴
- [发明专利]一种直拉单晶装料方法-CN202110709832.0在审
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郑伟扬
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宁夏协鑫晶体科技发展有限公司
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2021-06-25
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2021-09-24
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C30B29/06
- 本发明公开了一种直拉单晶装料方法,首先在石英坩埚底部先装填小料,形成80‑120mm厚度的小料底层;然后在小料底层上部,依次堆叠大料,并每堆叠一层大料时,再用小料填充大料的间隙,直至填充至坩埚高度的2/3,形成大小料复合层;随后在大小料复合层的上方外围,紧贴坩埚内壁铺设大料,形成大料围合层,同时在大料围合层中间填充小料,形成小料填充层,直至距离石英坩埚顶部50‑60mm;最后在大料围合层和小料填充层上部平铺两层以上的片状原料,形成片状料覆盖层。本发明直拉单晶装料方法采用区域化原料配置实现快速化料及避免事故的目的。引入片状硅料封堵坩埚顶部减少热量损失避免低温氩气进入硅料间隙带走热量实现加快化料速度的目的。
- 一种直拉单晶装料方法
- [发明专利]一种单晶炉用双底加热器-CN202110608579.X在审
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郑伟扬
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宁夏协鑫晶体科技发展有限公司
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2021-06-01
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2021-08-24
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C30B15/14
- 本发明公开了一种单晶炉用双底加热器,包括两个结构相同的上部底加热器和下部底加热器,以及一组陶瓷支架;上部底加热器倒扣在下部底加热器的上方,二者之间通过一组陶瓷支架架设在一起,使得上部底加热器和下部底加热器彼此之间不相互接触。上、下部底加热器结构相同,均包括两端的凸台式加热器脚板以及连接于两端凸台式加热器脚板并联的发热体;凸台式加热器脚板的底部和发热体的底部持平,顶部凸起高于发热体;当上部底加热器倒扣在下部底加热器的上方时,上部底加热器的两端凸台式加热器脚板底部与下部底加热器的底部持平。该双底加热器的配合使用将实现功率供给热量翻倍,加快化料速度的目的,可避免单个底加断裂而导致的焖炉事故。
- 一种单晶炉用双底加热器
- [实用新型]一种大尺寸热场埚底提升装置-CN202021522793.0有效
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郑伟扬
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宁夏协鑫晶体科技发展有限公司
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2020-07-28
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2021-03-30
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B66C1/22
- 本实用新型公开了一种大尺寸热场埚底提升装置,包括框架、提升架、吊钩、限位块以及提升臂;框架的底部开口,包括顶部环形横梁、底部环形横梁以及纵向加强筋;框架从待提升的大尺寸热场埚底上方放下,从而罩住该大尺寸热场埚底;提升架交叉地设置在顶部环形横梁上,其中部交叉点与吊钩连接,通过吊钩提升该框架整体上下移动;限位块平均地分布在顶部环形横梁上;所述提升臂纵向设置,自上而下依次贯穿限位块、顶部环形横梁和底部环形横梁,并能够水平转动;提升臂的底端设有一卡块,顶端设有一横杆,且卡块与横杆与提升臂同步转动;通过限位块限制横杆的位置,从而使得卡块能够卡入或脱离待提升的大尺寸热场埚底下方。
- 一种尺寸热场埚底提升装置
- [实用新型]一种单晶炉炉底加热器-CN202021521810.9有效
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郑伟扬;王思锋
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宁夏协鑫晶体科技发展有限公司
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2020-07-28
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2021-03-16
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C30B35/00
- 本实用新型公开了一种单晶炉炉底加热器,包括发热体、加热器脚板以及电极固定板;所述发热体为环形,其两侧与加热器脚板一体成型;所述加热器脚板为一对,分别位于发热体相对的两侧;所述电极固定板为一对,分别与发热体两侧的加热器脚板可拆卸地连接。该单晶炉炉底加热器通过电极固定板在加热器脚板上的远近安装,实现电极距可调,从而满足不同电极距炉型的使用需求;通过电极固定板与加热器脚板的可拆卸安装方式,实现电极固定板与发热区分离,部件损坏后可仅更换损坏部件降低石墨件成本;加热器的发热体整体为圆形设计,可满足主加与底加任意角度匹配安装。
- 一种单晶炉炉底加热器
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