“邹义涛”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果12个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]阀控制方法、压力控制方法和装置、半导体加工设备-CN202310919922.1在审
发明人：杜传正;郑文宁;邹义涛 -专利权人：北京七星华创流量计有限公司
申请日： 2023-07-25 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： G05D16/20 文献下载
摘要：本发明提供一种阀控制方法、压力控制方法和装置、半导体加工设备以及计算机可读存储介质，该方法中，在自学习模式运行的情况下，进入探测状态，控制压力调节阀的运动部件自第一极限位置移动至第二极限位置，并控制运动部件分步移动，且获取和存储第一极限位置和第二极限位置对应的腔室压力、每个第一记录点对应的运动部件位置和腔室压力；进入记录状态，将实际压力范围与学习压力范围进行对比，获取范围较小的一者的两个端值；获取范围较小的一者的两个端值分别对应的第一端值位置和第二端值位置；控制运动部件分步移动，且获取和存储每个第二记录点对应的运动部件位置和腔室压力。本方案既可以提高压力控制精度，又不需要过多的压力采集数量。
控制方法压力装置半导体加工设备

[发明专利]工艺腔室控压设备标定方法、标定装置及半导体工艺设备-CN202310644216.0在审
发明人：杜传正;郑文宁;邹义涛 -专利权人：北京七星华创流量计有限公司
申请日： 2023-06-01 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： C23C16/52 文献下载
摘要：本发明提供一种工艺腔室控压设备标定方法、标定装置及半导体工艺设备，用于标定基准位置，标定方法包括：在所述控压设备断电后重新上电时，获取所述阀门在上电前的停机开度数据；根据所述停机开度数据，确定所述阀门的当前开度；计算所述阀门的开度由所述当前开度达到预设开度对应的所述驱动电机的运转参数的目标调节值；控制所述驱动电机的运转参数达到所述目标调节值，使得所述阀板移动至预设开度对应的基准位置。采用本发明的标定方法来标定基准位置时，无需设置光电开关，从根本上解决了因光电开关损坏而导致无法标定的问题，该标定方法的可靠性高。
工艺腔室控压设备标定方法装置半导体工艺设备

[发明专利]质量流量控制器及其流量控制方法-CN202110973465.5在审
发明人：王振东;邹义涛 -专利权人：北京七星华创流量计有限公司
申请日： 2021-08-24 - 公布日： 2023-02-28 - 主分类号： G05D7/06 文献下载
摘要：本发明提供一种质量流量控制器的流量控制方法，质量流量控制器中设置有流体通路，流体通路的入口与出口之间连接有调节阀，其特征在于，该方法包括：获取流体通路入口处的流体压力；判断流体压力是否高于第一预设压力阈值，若流体压力不高于第一预设压力阈值，则重新确定预设算法的调节系数；基于调节后的预设算法，根据流体流量与目标流量之间的差值调节调节阀的开度。本发明提供的流量控制方法能够根据流体压力确定反馈控制的调节系数，从而适应超低压差工况，提高剧毒特殊工艺气体的利用率以及半导体工艺设备的安全性。本发明还提供一种质量流量控制器。
质量流量控制器及其控制方法

[发明专利]一种用于质量流量控制器的标定系统及其标定方法-CN202110829761.8在审
发明人： 邹义涛;赵迪 -专利权人：北京七星华创流量计有限公司
申请日： 2021-07-22 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： G05B23/02 文献下载
摘要：本发明提供一种质量流量控制器的标定方法，包括：获取质量流量控制器的多个设定流量值，并通过标准流量检测设备检测质量流量控制器对应于多个流量设定值的多个第一标准流量值；根据质量流量控制器当前存储的流量控制曲线计算多个设定流量值对应的多个第一理论流量值；计算多个第一标准流量值与对应的设定流量值之间的偏差值，并将多个偏差值补偿至多个第一理论流量值，得到新的流量控制曲线；将新的流量控制曲线作为质量流量传感器当前存储的流量控制曲线来进行标定。本发明提供的标定方法能够基于标准流量检测设备对之前确定的流量控制曲线进行调整，提高了质量流量控制器控制流量的精确性。本发明还提供一种质量流量控制器的标定系统。
一种用于质量流量控制器标定系统及其方法

[发明专利]一种质量流量控制器和流量控制方法-CN202110594358.1有效
发明人：邓博文;牟昌华;邹义涛 -专利权人：北京七星华创流量计有限公司
申请日： 2021-05-28 - 公布日： 2022-12-13 - 主分类号： G05D7/06 文献下载
摘要：本发明提供一种质量流量控制器，包括控制模块、流体通路、连接在流体通路的入口与出口之间的阀门、设置在入口与阀门之间的流量传感器和设置于出口处的压力传感器，控制模块用于在目标流量的变化量超出预设阈值时，进入压力反馈调节模式，并在流量传感器检测到的流体流量满足第一稳定条件后，进入流量反馈调节模式。控制模块用于在压力反馈调节模式中，根据流体压力与目标流量对应的目标压力之间的差值调节阀门的开度；在流量反馈调节模式中，根据流体流量与目标流量之间的差值调节阀门的开度。本发明提供的质量流量控制器能够在保证流体流量调节精度的同时提高流体流量的调节速度。本发明还提供一种质量流量控制器的流量控制方法。
一种质量流量控制器控制方法

[发明专利]质量流量控制器及其流量控制方法-CN202211318232.2在审
发明人： 邹义涛;赵迪 -专利权人：北京七星华创流量计有限公司
申请日： 2022-10-26 - 公布日： 2022-12-09 - 主分类号： G05D7/06 文献下载
摘要：本发明提供一种质量流量控制器及其流量控制方法，包括流体通道和设置在流体通道上的流量传感器和流量调节阀，还包括压力测量模块和控制模块，其中，压力测量模块设置于流体通道的入口处，用于检测流体通道的入口压力值；控制模块用于在当前的入口压力值相对于上一入口压力值的变化量超出预设阈值时，根据变化量和预设关系式，计算获得阀电压补偿量，并计算阀电压输出值，阀电压输出值等于流量调节阀的当前的阀电压值与阀电压补偿量之和；控制模块还用于向流量调节阀输出阀电压输出值。本发明提供的质量流量控制器及其流量控制方法，可以在入口压力波动时，实现出口处流量波动满足控制要求。
质量流量控制器及其控制方法

[发明专利]流体质量流量控制器的标定方法及标定装置-CN202010730611.7有效
发明人：张海洋;邹义涛;叶建 -专利权人：北京七星华创流量计有限公司
申请日： 2020-07-27 - 公布日： 2022-09-23 - 主分类号： G01M13/00 文献下载
摘要：本发明提供一种流体质量流量控制器的标定方法及标定装置，其中，流体质量流量控制器的标定方法包括：向流体质量流量控制器的相应功能单元发送第一参数的参数值，并获取相应的功能单元反馈的与各参数值对应的第二参数的参数值，其中，第二参数与第一参数相关联；根据第一参数的参数值和对应的第二参数的参数值，确定第一参数和第二参数的对应关系；根据对应关系对相应的功能单元进行标定，以实现对流体质量流量控制器的标定。本发明提供的流体质量流量控制器的标定方法及标定装置，能够提高标定的一致性和可靠性，并提高标定效率，从而提高流体质量流量控制器的质量。
流体质量流量控制器标定方法装置

[实用新型]流体控制装置-CN202121483761.9有效
发明人：武旭东;苏乾益;邹义涛 -专利权人：北京七星华创流量计有限公司
申请日： 2021-06-30 - 公布日： 2022-04-19 - 主分类号： G05D7/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种流体控制装置，包括：安装底座，内设有气体通道，安装底座的一端为气体通道入口端，安装底座的另一端为气体通道出口端；前端压力传感器、流量传感器、控制阀和后端压力传感器沿气体通道入口端至气体通道出口端方向依次设置在安装底座上；前端压力传感器用于检测气体通道入口端的第一气体压力值，流量传感器用于检测气体通道内的气体流量值，控制阀用于控制流过气体通道的气体流量，后端压力传感器用于检测气体通道出口端的第二气体压力值；控制板与前端压力传感器、流量传感器、控制阀和后端压力传感器连接。实现提高对气体压力的控制精度和测控准确度。
流体控制装置

[发明专利]质量流量控制器的标定系统及其标定方法-CN202111484558.8在审
发明人：郭芳;邹义涛 -专利权人：北京七星华创流量计有限公司
申请日： 2021-12-07 - 公布日： 2022-03-11 - 主分类号： G01F25/17 文献下载
摘要：本发明提供一种质量流量控制器的标定方法，包括：控制质量流量控制器上游的流体压力依次达到多个检测点，并获取质量流量控制器上游的流体压力达到各检测点时质量流量控制器的上游流体压力值及其对应的压力传感器的压力检测值；根据每相邻两个检测点对应的两个上游流体压力值和两个压力检测值，得到与各检测点区间对应的上游理论流体压力值与压力检测值之间对应关系的计算式；将各检测点区间对应的计算式写入质量流量控制器中。本发明提供的标定方法能够自动确定压力传感器的压力检测值与质量流量控制器的上游理论流体压力值之间的计算式，完成压力传感器的标定，提高传感器标定结果的一致性和可靠性。本发明还提供一种质量流量控制器的标定系统。
质量流量控制器标定系统及其方法

[发明专利]半导体工艺设备及其质量流量控制器、流体流量控制方法-CN202111319334.1在审
发明人：车艳霞;邹义涛 -专利权人：北京七星华创流量计有限公司
申请日： 2021-11-09 - 公布日： 2022-01-07 - 主分类号： G05D7/06 文献下载
摘要：本发明提供一种流体流量控制方法，包括：确定目标流量所在的流量区间；在流量差值小于预设流量差值时，根据流量差值确定目标流量对应的控制参数，并基于确定的控制参数控制流体流量；其中，确定的控制参数随着流量差值增大，由前一个流量区间对应的预设控制参数至目标流量所在的流量区间对应的预设控制参数连续单调变化。在本发明中，质量流量控制器能够在目标流量靠近流量区间的边界值时，根据流量差值确定目标流量对应的控制参数，且确定的控制参数随着流量差值增大而在前后两预设控制参数之间连续单调变化，从而避免控制参数发生突变，消除流量超调风险，有助于更加精确地控制气体流量。本发明还提供一种质量流量控制器和半导体工艺设备。
半导体工艺设备及其质量流量控制器流体控制方法

[发明专利]气体质量流量控制器及故障自检方法-CN202010939170.1在审
发明人： 邹义涛;赵迪 -专利权人：北京七星华创流量计有限公司
申请日： 2020-09-09 - 公布日： 2020-11-27 - 主分类号： G05D7/06 文献下载
摘要：本实施例提供一种气体质量流量控制器及故障自检方法，该气体质量流量控制器包括电磁阀、用于调节电磁阀的开度的电磁阀控制模块、用于向电磁阀控制模块提供驱动电能的电磁阀驱动电路、故障自检模块和控制模块，控制模块用于根据预设的流量设定值，控制电磁阀控制模块将电磁阀的开度调节至与流量设定值对应的开度值，且接收由电磁阀控制模块反馈的与该开度值对应的电磁阀的当前驱动参数值，并发送至故障自检模块；故障自检模块用于基于当前驱动参数值和与开度值对应的预设的标准驱动参数值，计算获得气体质量流量控制器的故障发生率。本实施例提供的气体质量流量控制器及故障自检方法的技术方案，可以实时进行流量精度和设备故障等的自检测。
气体质量流量控制器故障自检方法

[发明专利]一种用于自动门控制的虚拟按键和多区域保护方法及装置-CN201810431284.8在审
发明人：德伯克;苏丹;邹义涛 -专利权人：比业电子(北京)有限公司
申请日： 2018-05-08 - 公布日： 2019-11-15 - 主分类号： E05F15/73 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于自动门控制的虚拟按键和多区域保护方法及装置。该方法包括：设置自动门的虚拟按键区的相关参数；设置自动门的保护区的相关参数；对所述虚拟按键区进行检测，如果所述虚拟按键区处有符合所述相关参数的物体进入，则触发开门操作；对所述保护区进行检测，如果在门动作过程期间所述保护区处有符合所述相关参数的物体进入，则触发相应保护操作。本发明同样公开了一种用以实现该方法的虚拟按键和多区域保护装置。
相关参数虚拟按键自动门虚拟按键区保护区多区域触发保护装置动作过程开门操作检测

1
共 12 条