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[实用新型]校准治具及量测系统-CN202321246619.1有效
发明人：李晗;邓必文 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2023-05-22 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种校准治具及量测系统，所述校准治具配置为确定晶圆在钳块上的目标位置，以便于根据该目标位置将所述晶圆放置在所述钳块上；所述校准治具包括治具本体，所述治具本体上设置有与所述钳块相对应的定位结构，所述定位结构配置为定位所述校准治具在所述钳块上的位置。本实用新型提供的校准治具及量测系统，通过在治具本体上设置有与所述钳块相对应的定位结构，能够使得所述定位结构更加便捷地定位所述校准治具在所述钳块上的位置；通过所述校准治具校准所述晶圆的位置，为将所述晶圆准确地传送至所述钳块上奠定了基础。
校准系统

[发明专利]载入载出腔及刻蚀设备系统-CN202210101345.0在审
发明人： 邓必文 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2022-01-27 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种载入载出腔及刻蚀设备系统，载入载出腔包括腔本体、承载结构及管路结构；腔本体设有进气口和出气口；承载结构位于腔本体的内部，承载结构可形成沿竖向间隔布置的至少一层放置层，放置层用于承载晶圆；管路结构包括进气管段、分气管段和至少一个出气管段；进气管段的一端位于进气口的范围之内；进气管段的另一端与分气管段连通，分气管段与出气管段连通；放置层的范围之内设置至少一个出气管段。如上配置，通过增加管路结构，可以使得每层放置层均设有至少一个出气管段，从而使得每层放置层上的晶圆可被出气管段出来的氮气对准吹扫，进而提高晶圆上残留气体的排出效率，降低晶圆缺陷率。
载入载出腔刻蚀设备系统

[发明专利]一种拆装工具和拆装方法-CN202111629446.7在审
发明人：董海平;邓必文;张钱 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2021-12-28 - 公布日： 2022-04-01 - 主分类号： B25B27/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种拆装工具和拆装方法，用于将安装基座拆装于一底座上。其中，所述拆装工具包括相交固定的第一连接板和第二连接板，所述第一连接板的两端部各设置有至少一个固定螺丝，所述固定螺丝用于伸入至所述安装基座上位置对应的两个安装孔，以固定所述安装基座；所述第二连接板的两端部各设置有至少一个升降螺丝，所述升降螺丝用于抵接至所述底座，并通过升降所述升降螺丝的高度，以使所述安装基座相对于所述底座升降而拆装于所述底座上。在使用本发明提供的拆装工具拆除安装基座时，固定螺丝上受力均匀，则安装基座上的安装孔内的螺牙受力均匀，从而有效避免螺牙损坏，保护安装基座不被损坏。
一种拆装工具方法

[发明专利]一种无尘车间设备用门板组件-CN202111438962.1在审
发明人： 邓必文;刘东升;潘无忌 -专利权人：上海华力集成电路制造有限公司
申请日： 2021-11-29 - 公布日： 2022-03-04 - 主分类号： E06B3/70 文献下载
摘要：本发明公开了一种无尘车间设备用门板组件，包括横梁和压敏传感器，横梁的固定部通过紧固件固定于门板，横梁将压敏传感器压紧于门板，设定压力警报值，当压敏传感器感知的压力小于压力警报值时，警报系统发出报警。本发明的门板组件，横梁通过固定部直接安装于门板上，简化了门板组件的组成部分，减少了颗粒可能的来源；在横梁和门板之间加装压敏传感器并连接至设备的警报系统，设定压力警报值，实现了对紧固件的实时监控，当紧固件松动时，横梁与门板之间产生的挤压力减小，当挤压力小于压力警报值时，设备的警报系统发出警报提醒，以使作业人员及时对松动的紧固件重新紧固，减少了排查时间，防止产能的损失。
一种无尘车间备用门板组件

[发明专利]应用于刻蚀机台分气盘安装的安装件及分气盘的安装方法-CN201910788114.X有效
发明人： 邓必文 -专利权人：上海华力集成电路制造有限公司
申请日： 2019-08-26 - 公布日： 2022-02-01 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明涉及应用于刻蚀机台分气盘安装的安装件及分气盘的安装方法，涉及半导体生产设备，通过设计一安装件，安装件的上环部的内侧壁上包括多个定位部件，安装时将定位部分与分气盘上靠近分气盘外围的螺丝孔一一对应，并与分气盘固定盘上的螺丝孔一一对应，而将分气盘上的螺丝孔精确对准分气盘固定盘上的螺丝孔，并在安装分气盘之前先放好安装件，然后根据定位部件直接放入分气盘可快速安装，预计时间可以节省50分钟；并安装分气盘时，分气盘与外围环形结构之间的间隙已经被安装件填满，因此分气盘不会上下左右移动，确保螺丝孔对齐，成功率可高达100％，并能节约保养时间，提高保养效率，并可减少晶圆的缺陷，延长腔体维护周期，增加FAB产能。
应用于刻蚀机台分气盘安装方法

[实用新型]螺丝组件、螺丝的缓冲部件及等离子体刻蚀机台-CN201920387668.4有效
发明人：李健鹏;邓必文 -专利权人：上海华力集成电路制造有限公司
申请日： 2019-03-26 - 公布日： 2020-04-07 - 主分类号： F16B35/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种螺丝组件、螺丝的缓冲部件及一等离子体刻蚀机台，涉及集成电路生产设备，弹片被夹板部夹在中间的缓冲部件构成一夹层弹片，将缓冲部件组装于螺丝本体柱状部上，然后将螺丝本体与螺孔锁固连接，能够避免工艺反应过程中的电弧问题(arcing)，增加工艺选择方案和工艺配方窗口，提高射频(RF)的性能，并消除减少不稳定性和腔体的异常，另由于弹片与夹板部材质不同，可增加弹片与夹板部的组合性能，延长了螺丝组件的寿命，以及延长腔体维护周期，提升刻蚀机台的开机工作时间，增加工厂产能。
螺丝组件缓冲部件等离子体刻蚀机台

[发明专利]预真空锁腔室的晶圆加载手指-CN201911132866.7在审
发明人：董海平;邓必文;张钱 -专利权人：上海华力集成电路制造有限公司
申请日： 2019-11-19 - 公布日： 2020-02-28 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开了一种预真空锁腔室的晶圆加载手指，主体结构由陶瓷材质组成。在主体结构的前端部上设置有晶圆点接触部。晶圆点接触部的顶部表面凸出于主体结构的顶部表面之上，使晶圆和晶圆加载手指呈点接触，以减少晶圆的接触面积。晶圆点接触部的组成材料为硬度小于陶瓷材质的软材质，以减少晶圆震动。晶圆点接触部为可拆卸式设置在主体结构上，以方便对晶圆点接触部进行清洗和更换。本发明能减少或消除由手指和晶圆之间摩擦所产生的颗粒缺陷的数量，能提高工艺稳定性和工艺窗口，能延长腔体维护周期和提高设备的正常运行时间。
真空锁腔室加载手指

[实用新型]一种聚焦圆环及刻蚀反应腔-CN201420503058.3有效
发明人： 邓必文;吕煜坤;朱骏;张旭升 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2014-09-02 - 公布日： 2015-04-01 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种结构简单的聚焦圆环及刻蚀反应腔，在圆环下表面设置有至少一个凹槽，用以放置导热胶。有益效果是，由于聚焦圆环本身设置有凹槽，导热胶可直接放置在凹槽中，从而省去了专门的导热胶治具，节约了成本，而且，安装也变得非常简单快捷。
一种聚焦圆环刻蚀反应

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