“轩景泉”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果46个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]一种蒸镀方法及蒸镀装置-CN202310075152.7在审
发明人：裴泳镇;文炯敦;轩景泉;尹恩心;彭勃;池元圭;崔晶植;冯利凯 -专利权人：上海升翕光电科技有限公司
申请日： 2023-01-18 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供了一种蒸镀方法及蒸镀装置，涉及真空蒸发镀膜技术领域。蒸镀方法包括以下步骤：S1：将多个蒸发源排成一列，并分别调节每个蒸发源距基板的距离；以使每个蒸发源内的镀膜材料在基板上形成对应的镀膜时，相邻的两个镀膜存在重叠区域；S2：加热多个蒸发源，并根据每个蒸发源至基板的距离，分别调节每个蒸发源内镀膜材料的蒸镀速率；进而控制重叠区域内的膜层厚度；S3：当基板上的膜层厚度达到目标值时，停止蒸镀。本申请的蒸镀方法，可以有效解决多个蒸发源同时对同一块基板蒸镀时，镀膜厚度不均的问题。
一种方法装置

[实用新型]一种蒸镀坩埚及蒸镀装置-CN202223552023.2有效
发明人：崔晶植;冯利凯;文炯敦;尹恩心;轩景泉;裴泳镇;彭勃;池元圭;吕海超;陈浩 -专利权人：上海升翕光电科技有限公司
申请日： 2022-12-29 - 公布日： 2023-06-09 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本申请涉及蒸镀设备技术领域，提供了一种蒸镀坩埚及蒸镀装置。所述蒸镀坩埚包括围设形成容腔的坩埚本体，在所述坩埚本体的外侧面上设有多个第一防呆槽与多个第二防呆槽，多个所述第一防呆槽仅能与预设蒸发源上的多个第一防呆件连接；多个所述第二防呆槽仅能与所述蒸发源上预设位置的多个第二防呆件连接。所述蒸镀坩埚具有防呆作用，可以防止蒸镀坩埚被错误安装，确保蒸镀坩埚中容纳的材料能按既定的工艺顺序进行蒸镀。
一种坩埚装置

[实用新型]一种线性蒸发源端子及其导热结构、线性蒸发源系统-CN202320226502.0有效
发明人：吕海超;赵军;文炯敦;陈浩;崔晶植;冯利凯;彭勃;轩景泉;尹恩心 -专利权人：上海升翕光电科技有限公司
申请日： 2023-02-14 - 公布日： 2023-06-09 - 主分类号： H01R13/02 文献下载
摘要：本申请提供了一种线性蒸发源端子及其导热结构、线性蒸发源系统，涉及导热结构领域，线性蒸发源端子的导热结构包括设置于线性蒸发源端子与冷却结构之间的第一导热组件，所述第一导热组件包括：第一导热片及第一弹性导热件，所述第一导热片为相对设置的两个，所述第一弹性导热件连接两所述第一导热片，以使其中一个所述第一导热片抵接于所述线性蒸发源端子上，另一个所述第一导热片抵接于所述冷却结构上，能适用于真空环境中较小空间的热传导，在所述线性蒸发源端子的升温过程中，两所述第一导热片及所述第一弹性导热件将所述线性蒸发源端子的热量传导至所述冷却结构，以达到降低所述线性蒸发源端子的温度的效果，减少了安全隐患。
一种线性蒸发端子及其导热结构系统

[发明专利]一种共蒸方法及共蒸设备-CN202310115529.7在审
发明人：裴泳镇;文炯敦;轩景泉;尹恩心;彭勃;池元圭;崔晶植;冯利凯 -专利权人：上海升翕光电科技有限公司
申请日： 2023-02-14 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供了一种共蒸方法及共蒸设备，涉及真空蒸发镀膜技术领域。共蒸方法包括以下步骤：S1：分别向至少两列蒸发组件内注入不同的蒸镀材料；S2：分别调节每列蒸发组件内多个蒸发源与X方向的夹角，以使每个蒸发源均朝向基板中心，并使每个蒸发源在基板上形成对应的镀膜时，相邻的两个镀膜存在重叠部分；S3：分别调节每列蒸发组件内多个蒸发源与Y方向的夹角，以使每列蒸发组件均朝向基板的中心；S4：加热每列蒸发组件内的多个蒸发源，以使至少两种蒸镀材料在基板上凝聚成参杂层，当参杂层的厚度达到目标值时，停止加热并关闭挡板。本申请的共蒸方法可以有效提高蒸镀材料的使用效率，并且提高了参杂层的膜层厚度的均匀性。
一种方法设备

[发明专利]蒸镀坩埚及蒸镀装置-CN202110023715.9在审
发明人：林文晶;轩景泉;赵军;崔建勇 -专利权人：上海升翕光电科技有限公司
申请日： 2021-01-08 - 公布日： 2022-07-15 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本申请涉及蒸镀设备技术领域，提供了一种蒸镀坩埚及蒸镀装置，前者包括坩埚本体和加热装置；坩埚本体具有用于盛装蒸镀材料的容腔，且容腔的顶部开设有开口；加热装置设置于坩埚本体外部；其中，开口所在的平面与水平方向倾斜设置。该蒸镀坩埚将容腔中的蒸镀材料加热到熔化挥发时，蒸镀材料便可从开口逸散出去，而且由于开口朝向基材的中部倾斜设置，这样蒸镀材料的蒸镀角也会相应的朝向基材的中部倾斜，从而使蒸镀材料能够更充分地蒸镀到基材的边角部、能够减少蒸镀材料浪费、降低蒸镀成本。
坩埚装置

[发明专利]蒸镀坩埚及蒸镀装置-CN202110023734.1在审
发明人：林文晶;轩景泉;赵军;崔建勇 -专利权人：上海升翕光电科技有限公司
申请日： 2021-01-08 - 公布日： 2022-07-15 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本申请涉及蒸镀设备技术领域，提供了一种蒸镀坩埚及蒸镀装置，前者包括坩埚本体和加热装置；坩埚本体具有多个用于盛装蒸镀材料的容腔，且每个容腔的顶部开设有开口；加热装置设置于坩埚本体外部，能够分别加热各个容腔；其中，容腔共用一个开口。与现有技术中点蒸镀工艺中的圆桶装蒸镀坩埚相比，本申请实施提供的蒸镀坩埚能够使不同种类的蒸镀材料以相同受热消耗速率来对基材进行同时蒸镀，提高了不同蒸镀材料同时蒸镀时的蒸镀品质。
坩埚装置

[发明专利]蒸镀坩埚及蒸镀装置-CN202011628590.4在审
发明人：林文晶;轩景泉;钱海涛;刘萍;吕海超 -专利权人：上海升翕光电科技有限公司
申请日： 2020-12-31 - 公布日： 2022-07-01 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本申请涉及蒸镀设备技术领域，提供了一种蒸镀坩埚及蒸镀装置，前者包括坩埚本体和加热装置；坩埚本体的顶部设置有开口；加热装置设置于坩埚本体的外周壁，具有第一加热部和第二加热部；其中，第一加热部与第二加热部依次交错串联设置多个；第一加热部与坩埚本体的整体外周壁对应设置；第二加热部与坩埚本体的靠近开口的局部外周壁对应设置。后者包括前者。第一加热部对坩埚本体的整体外周壁进行加热，第二加热部对坩埚本体的靠近开口的局部外周壁进行额外的加热，以确保坩埚本体的开口周壁处的温度高于坩埚本体其他部位的温度，而且一个供电系统即可对多个第一加热部及多个第二加热部同时供电加热，具有能够简化加热系统的优点。
坩埚装置

[发明专利]蒸镀坩埚及蒸镀装置-CN202011634757.8在审
发明人：林文晶;轩景泉;王辉;马晓宇 -专利权人：上海升翕光电科技有限公司
申请日： 2020-12-31 - 公布日： 2022-07-01 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本申请涉及蒸镀设备技术领域，提供了一种蒸镀坩埚及蒸镀装置，前者包括坩埚本体和颈筒；坩埚本体为顶部开口的桶状结构；颈筒的一端与坩埚本体的顶部开口对接，另一端作为供蒸镀材料逸散的出口；其中，沿远离坩埚本体的方向，颈筒的口径先减小后增大。后者包括前者。由于坩埚本体的顶部开口处设置有颈筒，且沿远离坩埚本体1的方向颈筒的口径设置成先减小后增大，这样沙漏状的颈筒可以对坩埚本体的喷溅出来热融化状态下的蒸镀材料进行较好的阻挡，从而解决了现有的蒸镀坩埚在使用时存在的蒸镀材料易喷溅到基材、影响蒸镀品质的问题。
坩埚装置

[发明专利]蒸镀盖板及蒸镀装置-CN202011384380.5在审
发明人：林文晶;轩景泉;赵军;钱海涛;毕岩;刘萍 -专利权人：上海升翕光电科技有限公司
申请日： 2020-11-30 - 公布日： 2022-06-03 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本申请涉及蒸镀设备技术领域，提供了一种蒸镀盖板及蒸镀装置，前者包括盖板本体；盖板本体至少设置有三个同心设置的遮盖区，且遮盖区中开设有均匀间隔的蒸镀口；盖板本体朝向待蒸镀基材的一侧还设置有喷嘴，喷嘴与蒸镀口一一对应设置；其中，沿盖板本体的径向，位于盖板本体的中心部的喷嘴竖直向上设置；位于盖板本体的中间部的喷嘴向上倾斜并朝向盖板本体的中心设置；位于盖板本体的外周部的喷嘴向上倾斜并背离盖板本体的中心设置。后者包括前者。该蒸镀盖板能够在蒸镀材料从喷嘴通过掩膜板的开口蒸镀到基材的过程中，将蒸镀材料均匀逸散混合，使基材的各个待蒸镀部位都能够被均匀等厚地蒸镀。
盖板装置

[发明专利]蒸镀坩埚及蒸镀装置-CN202011380594.5在审
发明人：林文晶;轩景泉;赵军;钱海涛;毕岩;刘萍 -专利权人：上海升翕光电科技有限公司
申请日： 2020-11-30 - 公布日： 2022-06-03 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本申请涉及蒸镀设备技术领域，提供了一种蒸镀坩埚及蒸镀装置，前者包括坩埚本体和加热装置；坩埚本体具有用于盛装蒸镀材料的容腔；加热装置设置于坩埚本体的外底壁；其中，坩埚本体的内底壁设有多个第一凹陷部，且相邻的两个第一凹陷部之间围成分隔部；坩埚本体与分隔部对应的外底壁处还设置有朝向分隔部凹陷的第二凹陷部；加热装置至少部分的插装于第二凹陷部。后者包括前者。该蒸镀坩埚的加热装置产生的热量，既可以通过坩埚本体的外底壁进行传导，又可以通过坩埚本体的分隔部进行传导，从而解决了现有技术中蒸镀坩埚的加热速度慢、加热效率低的问题。
坩埚装置

[实用新型]蒸镀坩埚及蒸镀装置-CN202023343090.4有效
发明人：林文晶;轩景泉;钱海涛;刘萍;吕海超 -专利权人：上海升翕光电科技有限公司
申请日： 2020-12-31 - 公布日： 2022-01-14 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本申请涉及蒸镀设备技术领域，提供了一种蒸镀坩埚及蒸镀装置，前者包括坩埚本体和加热装置；坩埚本体的顶部设置有开口；加热装置设置于坩埚本体的外周壁，具有第一加热部和第二加热部；其中，第一加热部与第二加热部依次交错串联设置多个；第一加热部与坩埚本体的整体外周壁对应设置；第二加热部与坩埚本体的靠近开口的局部外周壁对应设置。后者包括前者。第一加热部对坩埚本体的整体外周壁进行加热，第二加热部对坩埚本体的靠近开口的局部外周壁进行额外的加热，以确保坩埚本体的开口周壁处的温度高于坩埚本体其他部位的温度，而且一个供电系统即可对多个第一加热部及多个第二加热部同时供电加热，具有能够简化加热系统的优点。
坩埚装置

[实用新型]蒸镀坩埚及蒸镀装置-CN202120052787.1有效
发明人：林文晶;轩景泉;赵军;崔建勇 -专利权人：上海升翕光电科技有限公司
申请日： 2021-01-08 - 公布日： 2021-11-26 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本申请涉及蒸镀设备技术领域，提供了一种蒸镀坩埚及蒸镀装置，前者包括坩埚本体和加热装置；坩埚本体具有用于盛装蒸镀材料的容腔，且容腔的顶部开设有开口；加热装置设置于坩埚本体外部；其中，开口所在的平面与水平方向倾斜设置。该蒸镀坩埚将容腔中的蒸镀材料加热到熔化挥发时，蒸镀材料便可从开口逸散出去，而且由于开口朝向基材的中部倾斜设置，这样蒸镀材料的蒸镀角也会相应的朝向基材的中部倾斜，从而使蒸镀材料能够更充分地蒸镀到基材的边角部、能够减少蒸镀材料浪费、降低蒸镀成本。
坩埚装置

[实用新型]蒸镀坩埚及蒸镀装置-CN202120056058.3有效
发明人：林文晶;轩景泉;赵军;崔建勇 -专利权人：上海升翕光电科技有限公司
申请日： 2021-01-08 - 公布日： 2021-11-26 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本申请涉及蒸镀设备技术领域，提供了一种蒸镀坩埚及蒸镀装置，前者包括坩埚本体和加热装置；坩埚本体具有多个用于盛装蒸镀材料的容腔，且每个容腔的顶部开设有开口；加热装置设置于坩埚本体外部，能够分别加热各个容腔；其中，容腔共用一个开口。与现有技术中点蒸镀工艺中的圆桶装蒸镀坩埚相比，本申请实施提供的蒸镀坩埚能够使不同种类的蒸镀材料以相同受热消耗速率来对基材进行同时蒸镀，提高了不同蒸镀材料同时蒸镀时的蒸镀品质。
坩埚装置

[实用新型]蒸镀坩埚及蒸镀装置-CN202022844931.3有效
发明人：林文晶;轩景泉;赵军;钱海涛;毕岩;刘萍 -专利权人：上海升翕光电科技有限公司
申请日： 2020-11-30 - 公布日： 2021-11-26 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本申请涉及蒸镀设备技术领域，提供了一种蒸镀坩埚及蒸镀装置，前者包括坩埚本体和加热装置；坩埚本体具有用于盛装蒸镀材料的容腔；加热装置设置于坩埚本体的外底壁；其中，坩埚本体的内底壁设有多个第一凹陷部，且相邻的两个第一凹陷部之间围成分隔部；坩埚本体与分隔部对应的外底壁处还设置有朝向分隔部凹陷的第二凹陷部；加热装置至少部分的插装于第二凹陷部。后者包括前者。该蒸镀坩埚的加热装置产生的热量，既可以通过坩埚本体的外底壁进行传导，又可以通过坩埚本体的分隔部进行传导，从而解决了现有技术中蒸镀坩埚的加热速度慢、加热效率低的问题。
坩埚装置

[实用新型]蒸镀盖板及蒸镀装置-CN202022845534.8有效
发明人：林文晶;轩景泉;赵军;钱海涛;毕岩;刘萍 -专利权人：上海升翕光电科技有限公司
申请日： 2020-11-30 - 公布日： 2021-11-26 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本申请涉及蒸镀设备技术领域，提供了一种蒸镀盖板及蒸镀装置，前者包括盖板本体；盖板本体至少设置有三个同心设置的遮盖区，且遮盖区中开设有均匀间隔的蒸镀口；盖板本体朝向待蒸镀基材的一侧还设置有喷嘴，喷嘴与蒸镀口一一对应设置；其中，沿盖板本体的径向，位于盖板本体的中心部的喷嘴竖直向上设置；位于盖板本体的中间部的喷嘴向上倾斜并朝向盖板本体的中心设置；位于盖板本体的外周部的喷嘴向上倾斜并背离盖板本体的中心设置。后者包括前者。该蒸镀盖板能够在蒸镀材料从喷嘴通过掩膜板的开口蒸镀到基材的过程中，将蒸镀材料均匀逸散混合，使基材的各个待蒸镀部位都能够被均匀等厚地蒸镀。
盖板装置

1
2
3
4
下一页»
尾页
共 46 条