专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]利用多层基板固定器的批量生产型薄膜蒸镀装置-CN200710305715.8有效
  • 赵相振;李彰熙;金学鲁 - 韩国原子力研究院
  • 2007-12-28 - 2009-04-08 - C23C14/24
  • 本发明的目的在于,提供利用多层基板固定器的批量生产型薄膜蒸镀装置,其能够通过一次工序对大量的大型基板进行蒸镀,容易大量生产。该装置包括:多层基板固定器安装室(MSSHR),其安装有用于真空的薄膜的蒸镀的多个基板;多层基板固定器(MSSH),其固定从上述多层基板固定器安装室安装的上述基板;直线移送驱动部(MUML),其配备在上述多层基板固定器(MSSH)的一侧,以向蒸镀移送驱动部(SHMU)装载上述基板固定器,所述蒸镀移送驱动部(SHMU)用于从上述多层基板固定器(MSSH)抽出基板固定器,向用于进行薄膜蒸镀的基板蒸镀待机室(LSCS)移送;以及薄膜蒸镀腔室(CMS),其对装载在上述蒸镀移送驱动部(SHMU)的上述基板进行蒸镀作业。
  • 利用多层固定器批量生产薄膜装置

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