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- [发明专利]一种颗粒硅除尘系统-CN202310631688.2在审
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陈其国;苏芳芳;赵彦清;张森;陈辉;兰天石
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江苏中能硅业科技发展有限公司
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2023-05-31
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2023-08-18
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B03C7/02
- 本发明公开了一种颗粒硅除尘系统,包括颗粒硅进料管、氮气进气管、离子发生器、除尘室、筛网和颗粒硅出料管;颗粒硅进料管与除尘室连接,用于输送颗粒硅入除尘室;离子发生器安装在氮气进气管上,氮气进气管与除尘室连接,用于电离高纯氮气产生等离子风对除尘室内颗粒硅进行除尘;筛网设置在除尘室中,用于分选除尘后不同粒径的颗粒硅;颗粒硅出料管与除尘室连接,用于输送不同粒径的颗粒硅出除尘室。本发明通过离子发生器电离高纯氮气形成电离氮气,适用于高粉尘含量的颗粒硅除尘环境,打破了技术上和常规上的偏见,提升颗粒硅产品除尘效果并保证产品纯度,实现对不同粒径颗粒硅产品的分级,分级所用筛网也便于清理更换。
- 一种颗粒除尘系统
- [发明专利]一种甲硅烷回收系统及方法-CN202310407168.3在审
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陈其国;赵彦清;张森;陈辉;兰天石
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江苏中能硅业科技发展有限公司
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2023-04-17
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2023-07-04
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C01B33/04
- 本发明公开了一种甲硅烷回收系统及方法,属于高纯多晶硅制备技术领域。系统包括:用于储存含硅烷尾气的第一储罐的进气口与第一流体管相连,第一储罐的出气口与冷凝器的进口连接,冷凝器的出液口与第二储罐的进口连接,冷凝器的出气口与除雾器的进气口连接,除雾器的出液口与第二储罐的进口连接;回收的硅烷存储在第二储罐中;除雾器的出气口通过第一管道与第一吸附器、第二吸附器、第三吸附器的吸附进口连接;第一吸附器、第二吸附器、第三吸附器中设置有用于去除甲烷的吸附剂,在第一吸附器、第二吸附器、第三吸附器中吸附除去甲烷处理得到不含甲烷的硅烷。硅烷回收和甲烷选择性吸附组合,回收硅烷的同时,提高了产品纯度,避免了甲烷富集。
- 一种硅烷回收系统方法
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