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- [发明专利]曲面弯晶制备方法-CN202211173148.6在审
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贡志锋;张雪娜;洪峰;骆荣辉;王翠焕;张贝
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深圳市埃芯半导体科技有限公司
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2022-09-26
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2023-01-10
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B28D5/04
- 本发明适用于曲面弯晶制备技术领域,提供了一种曲面弯晶制备方法,包括以下步骤:提供凹模和待加工的晶片,凹模具有与目标曲面弯晶的曲面相适配的第一曲面;获取目标曲面弯晶的曲面参数,曲面参数包括曲面半径和曲面弧度;对晶片沿第一方向延伸的两个第一边沿施加第一压力,以使第一边沿与第一曲面相贴合,直至第一边沿形成与第一曲面中相应区域形状相适配的曲面结构;第一压力与晶片之间具有沿子午方向分布的多个接触点,第一方向为与目标曲面弯晶的子午方向对应的方向;对晶片施加第二压力,以使晶片靠近第一曲面的一面与第一曲面紧密贴合,直至晶片形成与第一曲面相适配的目标曲面结构。本发明提供的曲面弯晶制备方法,可有效提高成品率。
- 曲面制备方法
- [实用新型]一种切换装置-CN202222198760.0有效
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李卓;贡志锋;张雪娜;洪峰;张贝;陈治均
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深圳市埃芯半导体科技有限公司
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2022-08-19
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2023-01-03
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G01N23/223
- 本申请提供了一种切换装置,供于配装于工作台,该工作台适用于X射线晶圆量测的探测器的标定与对位,切换装置包括旋转电机、转盘结构、探测器和至少一个定位镜头;转盘结构包括转盘本体和至少两个支撑悬臂,转盘本体连接于旋转电机的旋转轴,供于在旋转轴的驱动下相对工作台转动;支撑悬臂的一端连接于转盘本体、与一端相对的另一端沿转盘本体的径向向外辐射延伸,探测器和定位镜头分别设于不同的支撑悬臂的另一端,探测器和定位镜头供于在转盘本体的带动下切换至工作台的设定工作位上。本申请提供的切换装置用于X射线晶圆量测的探测器标定与对位的工作台,具有标定精度高、可满足于工作台在线量测和图案晶圆量测的优势。
- 一种切换装置
- [发明专利]X射线分析装置及方法-CN202210947215.9在审
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贡志锋;洪峰;张雪娜;张贝;陈治均
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深圳市埃芯半导体科技有限公司
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2022-08-09
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2022-11-25
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G01N23/207
- 本发明适用于X射线分析技术领域,提供了一种X射线分析装置及方法。X射线分析装置,包括沿光线传播方向依次设置的光线产生组件、毛细管透镜以及探测组件,光线产生组件包括X射线源以及可见光光源,X射线源用于发出X射线,可见光光源用于发出可见光;毛细管透镜包括透镜主体、以及设置于透镜主体内的光纤,透镜主体用于将X射线会聚或平行输出,光纤用于将可见光会聚或平行输出;探测组件包括可见光及X射线探测装置,可见光探测装置用于观测可见光是否照射至样品待测点,X射线探测装置用于接收样品与X射线作用后发出的信号。本发明提供的X射线分析装置及方法,广泛适用于利用X射线毛细管透镜进行分析的装置,可有效缩短光路校准时长。
- 射线分析装置方法
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