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- [发明专利]基板翻转装置-CN201811610652.1有效
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西尾仁孝;高松生芳;上野勉
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三星钻石工业股份有限公司
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2018-12-27
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2022-05-24
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B65G47/248
- 技术问题：提供一种能够高效地且在更小的空间进行基板的翻转的基板翻转装置。解决方案：基板翻转装置(1)具备能够吸附基板的一对吸附部(100)、以及驱动一对吸附部(100)的驱动部(200)。其特征在于，驱动部(200)在第一位置与第二位置之间驱动一对吸附部(100)，所述第一位置是一对吸附部(100)以在其与基板(F)的载置面(2c及2d)之间能够交接基板(F)的方式与载置面(2c及2d)相对的位置，所述第二位置是一对吸附部(100)以在垂直于载置面(2c及2d)的状态下能够交接基板(F)的方式彼此相对的位置。
- 翻转装置
- [发明专利]输送体、输送装置以及划线系统-CN201710800226.3有效
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西尾仁孝;高松生芳
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三星钻石工业股份有限公司
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2017-09-06
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2021-11-30
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B65G45/18
- 本发明涉及输送体、输送装置以及划线系统，其能够以简单的构成顺畅地对工作台的上表面进行清扫。输送体(300)保持基板(10)并从第一工作台(110)向第二工作台(410)输送该基板(10)。输送体(300)包括第一清扫单元(240)，该第一清扫单元(240)配置于基板(10)的输送方向后方，在从第一工作台(110)向第二工作台(410)输送基板(10)的工序中，该第一清扫单元(240)与第一工作台(110)的上表面接触，对第一工作台(110)的上表面进行清扫。第一清扫单元(240)包括作为清扫工具的刷(241)，刷(241)边与第一工作台(110)的上表面接触，边进行移动，从而对第一工作台(110)的上表面进行清扫。
- 输送装置以及划线系统
- [发明专利]定位装置及定位运送系统-CN202011332160.8在审
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西尾仁孝
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三星钻石工业株式会社
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2020-11-24
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2021-08-27
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B26D3/08
- 本发明提供一种能够通过简单的结构高效地进行基板定位的定位装置以及定位运送系统。本发明涉及的定位装置(10)具有：至少一对移动部(100A、100C)，其以能够在与基板(F)平行的方向接近及远离的方式被支承；销(110)，其分别配置在一对移动部(100A、100C)，将基板(F)的外周卡定；支承构件(120)，其配置在一对移动部(100A、100C)之间，被与基板(F)垂直的轴构件(124)轴支承；一对连杆(130A、130C)，其分别连结支承构件(120)和移动部(100A、100C)；驱动部(140)，其使支承构件(120)相对于轴构件(124)转动。
- 定位装置运送系统
- [发明专利]划线头及划线装置-CN202110164300.3在审
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西尾仁孝
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三星钻石工业股份有限公司
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2021-02-05
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2021-08-17
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C03B33/023
- 本发明提供一种划线头及划线装置，能够高精度地调节刀轮对基板的载荷，在基板上形成划分线。划线头具备：刀轮、移动机构、压力赋予部，移动机构包括：第一移动件；第二移动件；支撑部；筒部，其收纳第一移动件、第二移动件、支撑部，并具有开口；以及传递部，其将第一移动件和第二移动件的移动向刀轮传递，在第一移动件及第二移动件与筒部的内侧面之间设置间隙，压力赋予部分别向内部空间的相对第一移动件与支撑部相反的第一空间和相对第二移动件与支撑部相反的第二空间供给气压。
- 线头划线装置
- [发明专利]刻划头及刻划装置-CN202110184554.1在审
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西尾仁孝
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三星钻石工业株式会社
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2021-02-10
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2021-08-17
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B28D1/22
- 本发明的目的在于提供能够抑制刀轮对基板的负荷的变动的刻划头和刻划装置。刻划头(10)具有：刀轮(101)，其用于在基板(F)的表面(F1)形成刻划线；驱动机构(600)，其使刀轮(101)抵接于基板(F)的表面(F1)，驱动机构(600)包括：伺服电机(610)；丝杠轴(631)，其通过伺服电机(610)绕轴旋转；螺母(632)，其与丝杠轴(631)旋合，通过丝杠轴(631)的旋转使刀轮(101)接近和离开基板(F)的表面(F1)，丝杠轴(631)和所述螺母(632)的正效率与逆效率相同。
- 刻划装置
- [发明专利]基板翻转装置及分割系统-CN202011357103.5在审
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西尾仁孝
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三星钻石工业株式会社
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2020-11-27
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2021-07-30
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B65G47/248
- 本发明提供一种能够高效地且在更小的空间进行基板翻转的基板翻转装置及分割系统。基板翻转装置(11)具有：第一吸附部(30)，其吸附第一载置面(4a)上的基板(F)；第二吸附部(30)，其将基板(F)载置于第二载置面(6a)；第一联动机构(40)，其利用直线方向的第一驱动力使第一吸附部(30)移动；第二联动机构(40)，其利用直线方向的第二驱动力使第二吸附部(30)移动；以及，驱动部(20)，其对第一联动机构(40)和第二联动机构(40)分别赋予第一驱动力和第二驱动力；第一联动机构(40)在送入位置和交接位置之间使第一吸附部(30)移动，该交接位置是第一吸附部(30)和第二吸附部(30)在与第一载置面(4a)垂直的状态下彼此相向的位置，第二联动机构(40)在交接位置和送出位置之间使第二吸附部(30)移动。
- 翻转装置分割系统
- [发明专利]分割头及分割装置-CN202011109215.9在审
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西尾仁孝
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三星钻石工业株式会社
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2020-10-16
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2021-06-29
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B28D1/22
- 本发明提供一种分割头及分割装置，其能够容易地进行基板的对位，并且能够良好地分割基板。分割头(10)将以形成有刻划线(L)的面朝下的方式载置于载置台(2)的基板(F)沿刻划线(L)分割，该分割头(10)具有：推压构件(220)，其压住基板(F)的上表面并将基板(F)推压在载置台(2)；顶起构件(230)，其将被推压构件(220)以端部从载置台(2)向侧方突出的方式推压在载置台(2)的状态的基板(F)的端部从下表面侧顶起。
- 分割装置
- [发明专利]分割装置和分割方法-CN202011130648.2在审
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西尾仁孝;留井直子
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三星钻石工业株式会社
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2020-10-21
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2021-05-14
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B28D1/22
- 本发明提供一种能够容易且良好地分割基板的分割装置和分割方法。本发明的分割装置(1)，将第一面(101)形成有规定的刻划线(L1、L2)、第二面(102)被粘贴在膜片(110)的基板(100)沿着刻划线分割，具有：腔体(20)，其具有盖部(300)和主体部(200)，以隔着膜片(110)形成第一面(101)侧的第一室(21)和第二面(102)侧的第二室(22)的方式，用盖部(300)和主体部(200)保持基板(100)；压力调节部(400)，其分别单独地调节第一室(21)和第二室(22)的压力，将基板(100)维持成规定的姿态；分割机构(30)，其沿着刻划线(L1、L2)分割基板(100)，分割机构(30)配置在第二室(22)，一边沿着基板(100)的第二面(102)移动一边向第一室(21)侧上推基板(100)。
- 分割装置方法
- [发明专利]基板分割装置及基板分割方法-CN201610329130.9有效
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西尾仁孝;高松生芳;上野勉
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三星钻石工业株式会社
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2016-05-18
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2021-04-02
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C03B33/02
- 本发明涉及基板分割装置及基板分割方法。其课题在于在分割贴合基板时，压入量的最适合范围宽，能够可靠地形成良好的裂纹，并且特别能够容易地除去端材。基板分割装置是具有第1基板(G1)和第2基板(G2)的贴合基板(G)的分割装置，所述第1基板(G1)的表面形成有用于切掉端部的刻划线(S)，所述第2基板(G2)贴合在第1基板(G1)的背面。该分割装置具有按压部(11)和吸附部(12)。按压部(11)从第1基板(G1)侧按压成为端材的端部(GL)而沿着刻划线(S)分割端部(GL)。吸附部(12)对利用按压部(11)分割后的端部(GL)进行吸附而从第1基板(G1)取掉端部(GL)。
- 分割装置方法
- [发明专利]定位装置、以及划线装置-CN202010213746.6在审
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西尾仁孝
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三星钻石工业股份有限公司
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2020-03-24
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2020-10-27
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B28D7/04
- 定位装置(1)具备：保持基板(S)的基板保持工作台(11)、第一棒状部件(12)、第二棒状部件(13)、第一轴承部件(11a)、第二轴承部件(11b)、第一驱动机构(14)、第二驱动机构(15)。第一轴承部件在第一棒状部件与第二棒状部件交叉的位置固定于基板保持工作台，并在第一棒状部件的表面上滑动。第二轴承部件在第一棒状部件与第二棒状部件交叉的位置固定于基板保持工作台，并在第二棒状部件的表面上滑动。第一驱动机构使第一棒状部件的端部独立地沿Y方向移动。第二驱动机构使第二棒状部件的端部独立地沿X方向移动。在各驱动机构上设置有使第一棒状部件及第二棒状部件绕Z轴转动的转动机构(25d)。
- 定位装置以及划线
- [发明专利]刻划头及刻划装置-CN202010237577.X在审
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西尾仁孝
-
三星钻石工业股份有限公司
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2020-03-30
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2020-10-27
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B28D1/22
- 在刻划头及刻划装置中，通过充分减小刻划负载可安全且精度良好地刻划较薄的基板。在刻划头(1)中，第一及第二切割保持件(21、22)支承为在上下方向上能够滑动，第一切割保持件(21)保持第一切割机构(23)。第一及第二气缸机构(25、27)分别对第一及第二切割保持件(21、22)施加朝向基板(W)侧的负载。天平机构(41)配置在切割保持件(21、22)与气缸机构(25、27)之间。天平机构(41)当使第一切割保持件(21)向基板(W)侧移动时，使第一气缸机构(25)的负载作用于第一切割保持件(21)，并且以抵消第一气缸机构(25)的负载的方式使第二气缸机构(27)的负载作用于第一气缸机构(25)。
- 刻划装置
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