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[发明专利]一种模具用抗高温氧化纳米ZrO_xN_1-x薄膜及其制备工艺-CN201110054867.1有效
发明人：宋忠孝;徐可为;田增瑞 -专利权人： 西安宇杰表面工程有限公司
申请日： 2011-03-08 - 公布日： 2011-08-24 - 主分类号： C23C14/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种模具用抗高温氧化纳米ZrOxN1-x薄膜及其制备工艺，所述模具用抗高温氧化纳米ZrOxN1-x薄膜是由纳米晶ZrN和ZrO2组成的纳米薄膜。所述模具用抗高温氧化纳米ZrOxN1-x薄膜的氧化温度为1000℃以上。其制备工艺是采用脉冲电源溅射Zr靶，在N2/O2/Ar混合气体中用反应磁控溅射沉积在高速钢基体上。本发明的制备工艺沉积的薄膜，具有ZrN和ZrO2组成的纳米双相复合结构，提高了薄膜抗氧化温度，薄膜的氧化温度在1000℃以上。
一种模具高温氧化纳米 zro sub 薄膜及其制备工艺

[发明专利]一种AlN/ZrN纳米多层膜制备工艺-CN201110054870.3有效
发明人：宋忠孝;徐可为;田增瑞 -专利权人： 西安宇杰表面工程有限公司
申请日： 2011-03-08 - 公布日： 2011-08-03 - 主分类号： C23C14/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种AlN/ZrN纳米多层膜制备工艺，采用脉冲电源溅射Zr靶与Al靶，在N2/Ar混合气体中反应溅射获得AlN层与ZrN层，通过改变各靶溅射功率和基体在靶前停留时间获得AlN/ZrN纳米多层膜。本发明采用脉冲发应磁控溅射，通过调整AlN层与ZrN层单层厚度改变薄膜硬度与抗氧化性，本发明所沉积的AlN/ZrN纳米多层膜具有高的硬度和抗氧化温度。
一种 aln zrn 纳米多层制备工艺

[发明专利]霍尔源激励磁控溅射增强型磁过滤多弧离子复合镀膜方法-CN200610042978.X有效
发明人：田增瑞;徐可为 -专利权人： 西安宇杰表面工程有限公司
申请日： 2006-06-15 - 公布日： 2007-10-24 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：一种霍尔源激励磁控溅射增强型磁过滤多弧离子复合镀膜方法，本方法包括以下步骤：抽真空及加热；离子轰击；镀膜。通过该方法突破了传统的技术难题，通过弧电流大小的控制、靶的合理设计及完善的工艺过程实现膜层的高硬度、高致密性，实现并保证薄膜材料与基体良好的结合强度。同时，在薄膜沉积过程后期引入磁控溅射技术，可获得致密完整的高质量薄膜体系，以满足苛刻服役环境下的各种工模具表面处理的工业化需要。因此，该方法具有高效率、强化效果显著的技术优势。
霍尔激励磁控溅射增强过滤离子复合镀膜方法

[发明专利]汽车变速箱齿轮刀具表面制备TiNx膜层的工艺-CN200610042812.8有效
发明人：田增瑞;宿森 -专利权人： 西安宇杰表面工程有限公司
申请日： 2006-05-15 - 公布日： 2006-10-18 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明公开了一种汽车变速箱齿轮刀具表面制备TiNx膜层的工艺，该工艺采用霍尔源激励磁控溅射增强型磁过滤多弧离子镀膜设备，在汽车变速箱齿轮刀具表面制备TiNx膜层，采用本发明的工艺在汽车变速箱齿轮刀具表面获得的TiNx薄膜，经检测，薄膜厚度2微米，膜层致密，其显维硬度Hv在30－40GPa之间，膜基结合力较好，能够大幅度提高汽车变速箱齿轮刀具的使用寿命。具有高效率、强化效果显著、成本低廉的技术优势。
汽车变速箱齿轮刀具表面制备 tinx 工艺

[发明专利]精密叶片热锻模具PCVD等离子体渗镀复合强化方法-CN02114481.8无效
发明人：马胜利;徐可为 -专利权人：西安交通大学;西安宇杰表面工程有限公司
申请日： 2002-03-25 - 公布日： 2004-07-07 - 主分类号： C23C8/36 文献下载
摘要：本发明公开了一种精密叶片热锻模具的PCVD等离子体渗镀复合强化方法，将经1070℃淬火，530℃回火后的叶片模具(HRC＝43-50)经表面除油、抛光后浸入丙酮中超声波清洗，酒精脱水；然后放入工业型PCVD真空炉内进行等离子体渗氮和PCVD镀膜(TiN或TiCN)处理。经上述渗氮和PCVD镀膜处理后模具表层组织为基体—扩散层—TiN或TiCN膜层，其中，扩散层为氮在α-Fe中的固溶体，无化合物出现，渗氮层约150-180μm，TiN薄膜厚度约为2.0μm，TiCN薄膜厚度约为1.5μm。经过这种复合处理后的表面硬度为Hv1800-2200，高于TiN直接沉积在H13模具基材的表面硬度Hv1500，这归因于渗层较高的支撑能力。同时，渗氮层较强的载荷支撑作用使得薄膜的附着强度有较大幅度提高，适合于更加苛刻的摩擦磨损条件。
精密叶片锻模 pcvd 等离子体复合强化方法