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[发明专利]全悬浮绝对差压传感器-CN201711325909.4有效
发明人：孙晓茜;孙英春;董先柱;段磊 -专利权人：沈阳市传感技术研究所
申请日： 2017-12-13 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： G01L13/06 文献下载
摘要：一种全悬浮绝对差压传感器，解决了用两个绝对压力传感器测量存在的误差大、造价高、安全系数小、两机不同步、信号需再处理等问题，两个电极单端悬浮的电容压力传感器相对布置，与同一环形高真空腔室相连通封接成绝对差压测量体，在高真空下形成抽真空焊口后，构成电容式绝对差压结构体，下夹持悬浮座的引压口端分别与拼接式悬浮壳体壁板上的通孔封接在一起，形成全悬浮结构体，并通过薄壁端刃口焊口与带差压引口的支撑座封接，使支撑座的差压引口的腔体与下夹持悬浮座的引压口腔体连通，利用支撑座两端的差压引口来导压实现差压测量。其结构设计合理，信号稳定，性能可靠，外界影响很小，适应性强，实现了高稳定、高精度测量真空下的微小差压。
悬浮绝对传感器

[发明专利]电极单端悬浮的电容压力传感器-CN201711325669.8有效
发明人：孙英春;段磊;董先柱;孙晓茜 -专利权人：沈阳市传感技术研究所
申请日： 2017-12-13 - 公布日： 2023-06-16 - 主分类号： G01L9/12 文献下载
摘要：一种电极单端悬浮电容压力传感器，解决了动、定电极的材料膨胀系数不同引起的测量误差的问题。其技术要点是：动电极采用恒弹性金属制作的双面镀贵金属层的薄膜动电极；定电极绝缘体采用蓝宝石单晶制作的蓝宝石绝缘体，下夹持悬浮座、上夹持焊环、双面镀贵金属层的薄膜动电极和动电极刃口焊口相互结合构成动电极单端悬浮结构体；管式电极、蓝宝石绝缘体、钎焊层、连体屏蔽环和定电极悬浮外壳相互固定构成定电极单端悬浮结构体，动、定电极单端悬浮结构体通过刃口焊接在一起。其结构简单，设计合理，使温度漂移大幅减小，显著提高测量精度，与同样量程及用途的同类产品相比，完全避免测量介质温度变化及机械冲击对动、定电极的膨胀系数不匹配的影响。
电极悬浮电容压力传感器

[实用新型]波纹形动电极的电容压力传感器-CN201721729708.6有效
发明人：段磊;董先柱;孙晓茜;孙英春 -专利权人：沈阳市传感技术研究所
申请日： 2017-12-13 - 公布日： 2018-06-19 - 主分类号： G01L9/00 文献下载
摘要：一种波纹形动电极的电容压力传感器，解决了现有电容压力传感器的陶瓷绝缘体内气体容易附着，影响真空度，产生的寄生电容和边缘效应影响测量稳定性等问题，包括外壳，组装在外壳内的定电极绝缘体和外电极以及动电极，其技术要点是：外壳由匹配熔封有定电极绝缘体的恒弹性支撑套和带引压口的支撑座构成，将波纹弹性膜片制作的恒弹性的波纹形动电极，以恒弹性支撑套和支撑座夹持压紧固定，定电极绝缘体表面的波纹形凹槽镀有金属薄膜导电层和绝缘膜层。其结构设计合理，制作工艺步骤简单，好制作，生产效率高，有利于膜片的加工和减少扩散性漏气率，与同类产品相比，制成品耐腐蚀，使用可靠，长时间不用调零点，显著提高测量的稳定性和测量精度。
动电极电容压力传感器波纹形定电极恒弹性绝缘体支撑套支撑座膜片测量波纹形凹槽陶瓷绝缘体边缘效应波纹弹性技术要点寄生电容金属薄膜绝缘膜层生产效率压紧固定影响测量影响真空制作工艺导电层扩散性漏气率耐腐蚀外电极引压口制成品附着夹持绝缘熔封制作匹配组装加工

[实用新型]电极单端悬浮的电容压力传感器-CN201721729667.0有效
发明人：孙英春;段磊;董先柱;孙晓茜 -专利权人：沈阳市传感技术研究所
申请日： 2017-12-13 - 公布日： 2018-06-19 - 主分类号： G01L9/12 文献下载
摘要：一种电极单端悬浮电容压力传感器，解决了动、定电极的材料膨胀系数不同引起的测量误差的问题。其技术要点是：动电极采用恒弹性金属制作的双面镀贵金属层的薄膜动电极；定电极绝缘体采用蓝宝石单晶制作的蓝宝石绝缘体，下夹持悬浮座、上夹持焊环、双面镀贵金属层的薄膜动电极和动电极刃口焊口相互结合构成动电极单端悬浮结构体；管式电极、蓝宝石绝缘体、钎焊层、连体屏蔽环和定电极悬浮外壳相互固定构成定电极单端悬浮结构体，动、定电极单端悬浮结构体通过刃口焊接在一起。其结构简单，设计合理，使温度漂移大幅减小，显著提高测量精度，与同样量程及用途的同类产品相比，完全避免测量介质温度变化及机械冲击对动、定电极的膨胀系数不匹配的影响。
定电极动电极单端绝缘体悬浮结构贵金属层蓝宝石双面镀电极刃口薄膜悬浮测量电容压力传感器材料膨胀系数蓝宝石单晶压力传感器测量介质管式电极机械冲击技术要点金属制作膨胀系数温度漂移悬浮电容恒弹性屏蔽环钎焊层悬浮座焊环焊口减小连体量程上夹下夹焊接匹配制作

[实用新型]全悬浮绝对差压传感器-CN201721729690.X有效
发明人：孙晓茜;孙英春;董先柱;段磊 -专利权人：沈阳市传感技术研究所
申请日： 2017-12-13 - 公布日： 2018-06-19 - 主分类号： G01L13/06 文献下载
摘要：一种全悬浮绝对差压传感器，解决了用两个绝对压力传感器测量存在的误差大、造价高、安全系数小、两机不同步、信号需再处理等问题，两个电极单端悬浮的电容压力传感器相对布置，与同一环形高真空腔室相连通封接成绝对差压测量体，在高真空下形成抽真空焊口后，构成电容式绝对差压结构体，下夹持悬浮座的引压口端分别与拼接式悬浮壳体壁板上的通孔封接在一起，形成全悬浮结构体，并通过薄壁端刃口焊口与带差压引口的支撑座封接，使支撑座的差压引口的腔体与下夹持悬浮座的引压口腔体连通，利用支撑座两端的差压引口来导压实现差压测量。其结构设计合理，信号稳定，性能可靠，外界影响很小，适应性强，实现了高稳定、高精度测量真空下的微小差压。
绝对差支撑座封接全悬浮悬浮座传感器焊口下夹悬浮电容压力传感器绝对压力传感器高精度测量安全系数差压测量高真空腔壳体壁板外界影响相对布置信号稳定悬浮结构薄壁端测量体抽真空电容式高稳定高真空结构体拼接式引压口再处理电极单端导压腔体刃口通孔连通口腔测量

[发明专利]波纹形动电极的电容压力传感器-CN201711325707.X在审
发明人：段磊;董先柱;孙晓茜;孙英春 -专利权人：沈阳市传感技术研究所
申请日： 2017-12-13 - 公布日： 2018-04-24 - 主分类号： G01L9/00 文献下载
摘要：一种波纹形动电极的电容压力传感器，解决了现有电容压力传感器的陶瓷绝缘体内气体容易附着，影响真空度，产生的寄生电容和边缘效应影响测量稳定性等问题，包括外壳，组装在外壳内的定电极绝缘体和外电极以及动电极，其技术要点是外壳由匹配熔封有定电极绝缘体的恒弹性支撑套和带引压口的支撑座构成，将波纹弹性膜片制作的恒弹性的波纹形动电极，以恒弹性支撑套和支撑座夹持压紧固定，定电极绝缘体表面的波纹形凹槽镀有金属薄膜导电层和绝缘膜层。其结构设计合理，制作工艺步骤简单，好制作，生产效率高，有利于膜片的加工和减少扩散性漏气率，与同类产品相比，制成品耐腐蚀，使用可靠，长时间不用调零点，显著提高测量的稳定性和测量精度。
波纹电极电容压力传感器

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