专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]机电系统的处理和用于机电系统处理的装备-CN201280065740.2无效
  • 笹川照夫;莱昂纳德·尤金·芬内尔 - 高通MEMS科技公司
  • 2012-11-19 - 2014-09-10 - H01L21/67
  • 本发明提供用于在批次群集工具中处理多个衬底的系统、方法和设备。批次群集工具可包含转移腔室、蚀刻处理腔室和原子层沉积ALD处理腔室与自组装单层SAM处理腔室中的一或两者。所述批次处理腔室中的每一者可为其中所述衬底彼此敞开的共同腔室,或可包含在操作中彼此隔离的多个处理子腔室。多个衬底被转移到蚀刻腔室中。所述衬底暴露于气相蚀刻剂。接着,所述衬底可转移到原子层沉积ALD腔室且暴露于气相反应剂以形成薄膜。所述衬底可从所述蚀刻处理腔室或所述ALD腔室转移到第三腔室且暴露于气相反应剂以形成自组装单层SAM。
  • 机电系统处理用于装备

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