专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]提供硫属元素的方法和装置-CN200880013112.3无效
  • 迪特尔·施密德;莱因哈德·伦兹;罗伯特·迈克尔·阿通 - 森托塞姆光伏股份有限公司
  • 2008-09-11 - 2010-03-03 - C23C14/06
  • 本发明涉及在基板上,尤其是在用母体层制备并由任何期望材料组成的平面基板上,优选地在由浮法玻璃组成的基板上产生薄层形状的硫属元素的方法和装置。本发明旨在提供很快速、成本有效的用于在平面基板上涂布硫属元素的方法,特别是用于涂敷100nm-10μm范围薄层的硫属元素,或者这些材料的混合物,以及适于进行这样的方法的装置。这可以通过以下步骤实现:形成防氧关闭气相沉积头(11)中的运输通道(6)的进气侧和出气侧的气幕,向运输通道(6)中导入惰性气体用于置换空气中的氧,将要被涂层的一种或多种基板(3)—所述基板的温度被调节到预定的温度—导入到处理室(1)的运输通道(6)中,将硫属元素气/载气混合物从源引入到基板(3)上方的气相沉积头的运输通道(6)中,以预定的压力通过PVD方法在基板上形成硒层,经过预定的处理时间后移去基板(3)。
  • 提供元素方法装置

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