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[实用新型]真空内磁场约束装置及真空镀膜系统-CN202320438120.4有效
发明人：冯火群;彭孝龙;莫超超 -专利权人：苏州迈为科技股份有限公司
申请日： 2023-03-09 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： C23C14/22 文献下载
摘要：本实用新型涉及真空内磁场约束技术领域，尤其涉及一种真空内磁场约束装置及真空镀膜系统，旨在缓解现有磁场约束装置安全性能低的技术问题。该真空内磁场约束装置包括固定外壳、电磁线圈、永磁铁、电极馈入和水接头；固定外壳具有容纳腔；电磁线圈设置在永磁铁的至少一个侧面，并同永磁铁一起设置于容纳腔内；电极馈入固定于固定外壳的外壁，并与电磁线圈电连接；水接头设有至少两个，固定于固定外壳的外壁，并与容纳腔连通。该真空镀膜系统包括真空内磁场约束装置。通过该真空内磁场约束装置，可以产生约束磁场实现对等离子体的约束，同时循环的冷却水可带走电磁线圈产生的热量，提高了安全性能。
真空磁场约束装置真空镀膜系统

[实用新型]一种磁棒组件及磁控溅射设备-CN202320737013.1有效
发明人：常新新;莫超超;周振国;解传佳;王晨 -专利权人：苏州迈为科技股份有限公司
申请日： 2023-04-06 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型涉及磁控溅射镀膜技术领域，尤其涉及一种磁棒组件及磁控溅射设备。该磁棒组件包括主磁轭基板、主磁体件及辅助磁体件，主磁体件设置于主磁轭基板的朝向待镀膜基片的一面，主磁体件包括中部磁体和两个边部磁体，两个边部磁体对称设置于中部磁体的两侧，并且边部磁体靠近待镀膜基片一侧的磁极与中部磁体靠近待镀膜基片一侧的磁极相反，辅助磁体件位于主磁体件的侧部，并且辅助磁体件位于主磁轭基板背离主磁体件的一侧，辅助磁体件靠近待镀膜基片一侧的磁极与边部磁体靠近待镀膜基片一侧的磁极相同。磁控溅射设备通过应用上述磁棒组件，在维持较高磁场强度的基础上减小了溅射角，削弱了靶材的侧边溅射，提高了对靶材的利用率。
一种组件磁控溅射设备

[发明专利]一种磁控溅射阴极装置及磁控溅射设备-CN202211351999.5在审
发明人：张永胜;解传佳;周振国;武瑞军;彭孝龙;莫超超 -专利权人：苏州迈为科技股份有限公司
申请日： 2022-10-31 - 公布日： 2022-12-30 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明涉及真空溅射镀膜技术领域，尤其涉及一种磁控溅射阴极装置及磁控溅射设备。磁控溅射阴极装置包括靶材筒组件、磁棒组件及汇聚磁铁组件，靶材筒组件位于真空腔室内，磁棒组件位于靶材筒组件的内部，汇聚磁铁组件设置在靶材筒组件靠近真空腔室侧壁的一侧，汇聚磁铁组件产生的磁力线能够朝靠近待镀膜基片的方向挤压磁棒组件产生的磁力线，避免溅射的原子沉积到真空腔室的侧壁上，使更多的原子沉积到待镀膜基片上。磁控溅射设备通过应用上述磁控溅射阴极装置，减少了靶材的损耗，降低了生产成本，提升了产品良率，延长了磁控溅射设备的维护周期，提高了设备的开机效率。
一种磁控溅射阴极装置设备

[实用新型]磁轭组件及磁控溅射设备-CN202222426065.5有效
发明人：周振国;彭孝龙;莫超超;董刚强 -专利权人：苏州迈为科技股份有限公司
申请日： 2022-09-14 - 公布日： 2022-12-30 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型属于磁控溅射设备技术领域，公开了一种磁轭组件及磁控溅射设备。磁轭组件包括磁轭、第一永磁体和第二永磁体；第一永磁体设置于所述磁轭的顶面，所述第一永磁体的两个磁级上下排布；所述磁轭的相对两侧均设置有所述第二永磁体，所述第二永磁体的下方形成非导磁区域，所述第二永磁体的两个磁级的排布方向与竖直方向呈非零夹角设置。该种设置能够减小磁轭形成的非必要的导磁区域，有利于最大程度将永磁体的磁能释放到靶材表面，避免磁能被多余的导磁区域吸收，从而提高磁轭组件提供的磁场强度。
组件磁控溅射设备

[实用新型]用于磁控溅射的磁场结构及阴极机构-CN202222455429.2有效
发明人：周振国;张永胜;莫超超;解传佳;董刚强 -专利权人：苏州迈为科技股份有限公司
申请日： 2022-09-16 - 公布日： 2022-12-20 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型涉及磁控溅射镀膜技术领域，尤其涉及一种用于磁控溅射的磁场结构及阴极机构，旨在解决如何在较低的溅射电压下获得较高的溅射速率的问题。本实用新型提供的用于磁控溅射的磁场结构包括中间列磁铁、边部磁铁和辅助列磁铁；中间列磁铁竖直设置，磁化方向竖直且垂直于靶表面；两个边部磁铁对称设置于中间列磁铁两侧，边部磁铁的磁化方向垂直于中间列磁铁的磁化方向；两个辅助列磁铁对称设置于中间列磁铁两侧，辅助列磁铁设置于边部磁铁和中间列磁铁之间。本实用新型通过增加辅助列磁铁以及磁铁的磁化方向、磁铁位置的设计来阻止磁场收窄，避免因磁场强度增加导致磁场分布峰形尖锐，致使有效束缚电子的磁场区域易变窄，进而引发溅射速率下降。
用于磁控溅射磁场结构阴极机构

[实用新型]磁控溅射用的旋转阴极磁棒及磁控管-CN202220619986.0有效
发明人：周振国;杨肸曦;彭孝龙;张永胜;董刚强;莫超超;解传佳;梁得刚 -专利权人：苏州迈为科技股份有限公司
申请日： 2022-03-21 - 公布日： 2022-09-20 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种磁控溅射用的旋转阴极磁棒，包括承载组件以及固定在承载组件上的工作组件，所述工作组件沿承载组件的长度方向设置，所述工作组件包括多条并列设置的永磁铁，多条并列设置的永磁铁包括位于中间的两条永磁铁以及位于其两侧的多条永磁铁，其中，中间的两条永磁铁的充磁方向为向内并相对的倾斜充磁，并与承载组件的水平安装方向形成夹角。通过上述方式，本实用新型不改变调整磁铁的自身尺寸和相对位置尺寸，在多条永磁铁的相互作用下达到整体磁场形成减小溅射角的效果，在保证溅射角的同时尽量不损失到达靶材表面的磁场强度，以保证较高的溅射速率。
磁控溅射旋转阴极磁控管

[发明专利]一种异质结电池效率提升方法-CN202210466722.0在审
发明人：张永胜;解传佳;武瑞军;彭孝龙;莫超超 -专利权人：苏州迈为科技股份有限公司
申请日： 2022-04-29 - 公布日： 2022-07-29 - 主分类号： H01L31/20 文献下载
摘要：本发明提供了一种异质结电池效率提升方法，涉及异质结电池技术领域，能够同步解决硅片表面污染、氧化和水汽吸附问题，不影响PVD设备的工作节拍。该方法步骤包括制绒清洗、非晶硅沉积、TCO膜制备和栅线制备，在TCO膜制备步骤之前增加非晶硅表面处理，用于改善异质结电池制备过程中非晶硅表面可能存在的污染和氧化问题，并去除托盘表面吸附水汽；非晶硅表面处理采用面状ICP等离子源来实现；具体地，在真空侧的顶部设置若干线圈；线圈与外部RF匹配器连接，用于产生射频磁通，射频磁通沿轴向感应出的射频电场对其中的电子进行加速，从而产生等离子体；待表面处理的沉积了非晶硅的硅片位于线圈下方且按预设速度依次通过等离子体区域。
一种异质结电池效率提升方法

[发明专利]一种提高旋转靶材利用率的溅射方法及溅射设备-CN202210506190.9在审
发明人：张永胜;解传佳;武瑞军;莫超超;杨肸曦;彭孝龙;周振国 -专利权人：苏州迈为科技股份有限公司
申请日： 2022-05-10 - 公布日： 2022-07-22 - 主分类号： C23C14/54 文献下载
摘要：本发明属于溅射镀膜技术领域，公开了一种提高旋转靶材利用率的溅射方法及溅射设备。该提高旋转靶材利用率的溅射方法中，在线获取位于真空室内的所述靶材的形貌信息；根据所述靶材的形貌信息自动生成所述靶材的外径形貌拟合图；根据所述外径形貌拟合图，自动控制所述靶材轴向各处的磁场强度，以使所述靶材均匀消耗。在线获取靶材刻蚀情况并自动调整磁场强度，不需要对真空室破除真空后取出靶材调整更方便，且有利于提高调整频率，从而能够及时调整靶材轴向各处的磁场强度，有利于增大靶材利用率的调整幅度。本发明提供的溅射设备能够在线获取靶材表面刻蚀情况并调整对应位置磁场强度，不需人工操作，效率高，调整及时，能明显改善靶材的利用率。
一种提高旋转利用率溅射方法设备

[实用新型]一种具有辅助抽气功能的抽气系统-CN202220362781.9有效
发明人： 莫超超;刘浏;董刚强;彭孝龙;张永胜 -专利权人：苏州迈为科技股份有限公司
申请日： 2022-02-22 - 公布日： 2022-06-28 - 主分类号： F04B37/14 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种具有辅助抽气功能的抽气系统，涉及镀膜设备技术领域，能够进行前后两个阶段的抽气，在保证硅片无损伤的情况下，显著缩短抽气时间。该系统包括加载互锁腔体、主抽气管路、辅助抽气管路和主控单元；主抽气管路的第一端和辅助抽气管路的第一端均与加载互锁腔体连通，主抽气管路的第二端和辅助抽气管路的第二端均与同一抽真空动力设备连接或分别与不同的抽真空动力设备连接；主抽气管路包括匀气板、主抽气管道和第一开关；主抽气管道的第一端与匀气板连接，第一开关设于主抽气管道上；辅助抽气管路包括辅助抽气管道和第二开关；第二开关设于辅助抽气管道上；第一开关和第二开关均与主控单元连接。
一种具有辅助功能系统

[实用新型]一种电池片成膜用气体发生装置和成膜系统-CN202220181400.7有效
发明人：解传佳;董刚强;张永胜;武瑞军;莫超超;刘浏 -专利权人：苏州迈为科技股份有限公司
申请日： 2022-01-24 - 公布日： 2022-06-28 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种电池片成膜用气体发生装置和成膜系统，属于电池成膜技术领域。它包括储液箱、送气管路和抽气管路，送气管路和抽气管路上均设有阀门；所述送气管路的一端与储液箱连通，另一端与成膜腔体连通，送气管路上设有质量流量控制器；所述抽气管路的一端与质量流量控制器的进气端连通，另一端与质量流量控制器的出气端连通。本实用新型在常温条件下即可完成向真空腔体中稳定通入水汽，能够提高装置的适用性并降低控制难度，避免产生冷凝水，从而提升电池片的性能。
一种电池片成膜用气体发生装置系统

[发明专利]一种电池片成膜气氛控制方法、成膜系统和成膜方法-CN202111644533.X在审
发明人：张永胜;解传佳;武瑞军;刘浏;莫超超;陆晓星;常新新 -专利权人：苏州迈为科技股份有限公司
申请日： 2021-12-29 - 公布日： 2022-04-12 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本发明公开了一种电池片成膜气氛控制方法、成膜系统和成膜方法，属于电池成膜技术领域。它包括预先设定电池片成膜气氛中所需的标准水汽分压P标＝P1±P2，其中P1‑P2为标准水汽分压的最低值，P1+P2为标准水气分压的最高值；将待成膜电池片置于成膜腔体中，成膜腔体中设有温度可调的冷阱盘管，冷阱盘管的温度调节范围为‑180℃～‑100℃；电池片成膜气氛中的实际水汽分压为P实，若P实＞P1+P2，则通过降低冷阱盘管的温度来降低P实并使其在P1±P2范围内；若P实＜P1‑P2，则通过增加冷阱盘管的温度来增加P实并使其在P1±P2范围内。本发明能有效控制电池片成膜气氛中的水汽含量，进而提升成膜电池片的转换效率Eta等性能。
一种电池片成膜气氛控制方法系统

[实用新型]一种真空镀膜机的光学监控装置-CN201821021868.X有效
发明人：刘悦洲;金学峰;周义飞;莫超超;孙阳 -专利权人：爱发科商贸（上海）有限公司
申请日： 2018-06-29 - 公布日： 2019-02-12 - 主分类号： C23C14/54 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种真空镀膜机的光学监控装置，包括放置块，所述放置块的顶部开设有第一放置槽，第一放置槽的底部内壁上开设有第二放置槽，第一放置槽和第二放置槽内活动安装有同一个监控装置本体，监控装置本体的底部固定安装有底座，底座滑动安装于第二放置槽内，监控装置本体的两侧均固定安装有固定块，两个固定块相互远离的一侧均开设有第一卡槽，放置块的两侧均开设有转动孔，第一放置槽的两侧内壁上均开设有第一滑槽，两个转动孔分别与对应的第一滑槽连通，第一滑槽内滑动安装有第一卡块，转动孔内转动安装有丝杆。本实用新型能够有效的对监控装置本体进行固定，方便人员操作，结构简单，使用方便。
放置槽监控装置本体转动孔滑槽光学监控装置本实用新型真空镀膜机滑动安装固定块底座底部内壁活动安装两侧内壁人员操作转动安装卡槽卡块丝杆连通

[实用新型]一种玻璃板真空镀膜生产用低温泵的固定机构-CN201821022640.2有效
发明人： 莫超超;沈琪;金学峰;周义飞;陆庆 -专利权人：爱发科商贸（上海）有限公司
申请日： 2018-06-29 - 公布日： 2019-02-05 - 主分类号： F04D29/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种玻璃板真空镀膜生产用低温泵的固定机构，包括固定机构本体，所述固定机构本体的顶部开设有放置槽，放置槽内放置有低温泵，放置槽内设有第一缓冲板，第一缓冲板的第焊接有转动块，转动块的底部焊接有第一铰链，第一铰链上铰接有滑动杆，放置槽的底部内壁上开设有第一滑槽，滑动杆的底部延伸至第一滑槽内，滑动杆的底部焊接有第一弹簧的一端，第一弹簧的另一端焊接于第一滑槽的内壁上，第一缓冲板的底部转动安装有两个连接杆，转动块位于两个连接杆之间，放置槽的底部内壁上开设有两个第二滑槽。本实用新型能够有效的对低温泵进行固定，同时也能够对低温泵进行缓冲保护，结构简单，使用方便。
低温泵放置槽固定机构滑槽焊接滑动杆缓冲板转动本实用新型玻璃板真空底部内壁镀膜生产连接杆弹簧铰链缓冲保护转动安装铰接内壁延伸

[实用新型]一种真空镀膜机的电控柜-CN201821030084.3有效
发明人：陈志龙;莫超超;周义飞;金学峰;孙阳 -专利权人：爱发科商贸（上海）有限公司
申请日： 2018-06-29 - 公布日： 2019-01-22 - 主分类号： H02B1/30 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种真空镀膜机的电控柜，包括电控柜本体，所述电控柜本体的一侧内壁上开设有第一孔，第一孔内设有散热扇，散热扇的外侧设有防尘罩，防尘罩的顶部和底部均固定安装有固定座，固定座的一侧固定安装有连接杆，连接杆的底部固定安装有定位销，电控柜本体的一侧开设有两个放置槽，且第一孔位于两个放置槽之间，连接杆活动安装在放置槽内，放置槽的底部内壁上开设有定位槽，且定位销与定位槽相适配，两个连接杆中的一个连接杆的顶部开设有卡槽，两个放置槽中的一个放置槽的顶部内壁上开设有第一凹槽，第一凹槽内滑动安装有卡销。本实用新型便于对防尘罩进行安装，结构简单，操作方便。
放置槽电控柜连接杆防尘罩本实用新型真空镀膜机定位槽定位销固定座散热扇底部内壁顶部内壁滑动安装活动安装卡槽卡销内壁适配

[实用新型]一种真空镀膜机的加热腔结构-CN201821022636.6有效
发明人：李游;金学峰;周义飞;陈志龙;莫超超 -专利权人：爱发科商贸（上海）有限公司
申请日： 2018-06-29 - 公布日： 2019-01-22 - 主分类号： C23C14/22 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种真空镀膜机的加热腔结构，包括安装座，所述安装座的顶部两侧均固定安装有立柱，两个立柱的顶部固定安装有同一个加热腔本体，加热腔本体的两侧均开设有第一通孔，第一通孔内滑动安装有同一个转动柱，两个转动柱相互靠近的一端均开设有螺纹凹槽，螺纹凹槽内螺纹连接有螺杆，加热腔本体的顶部内壁上开设有第一滑槽，两个螺杆的顶部均固定安装有第一滑块，且两个第一滑块分别与相对应的第一滑槽滑动连接。本实用新型结构简单，操作方便，可以快速方便的对加热灯进行移动，使加热灯的照射面积更大，对加热腔本体内的物料加热更加全面和均匀，减少了人力物力成本，满足了人们的需求。
加热腔本实用新型真空镀膜机第一滑块螺纹凹槽安装座加热灯转动柱滑槽立柱螺杆通孔内螺纹连接顶部内壁滑动安装滑动连接人力物力物料加热照射体内移动

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